MEMS in der Mikrosystemtechnik: Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme ; mit 6 Tabellen
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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Glück, Markus 1987- (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: Wiesbaden Teubner 2005
Ausgabe:1. Aufl.
Schriftenreihe:Lehrbuch Elektrotechnik
Schlagworte:
Online-Zugang:Inhaltsverzeichnis
Beschreibung:Literaturverzeichnis Seite 201 - 205
Beschreibung:212 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:3519005204

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