MEMS in der Mikrosystemtechnik: Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme ; mit 6 Tabellen
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
---|---|
Format: | Buch |
Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
Wiesbaden
Teubner
2005
|
Ausgabe: | 1. Aufl. |
Schriftenreihe: | Lehrbuch Elektrotechnik
|
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
Beschreibung: | Literaturverzeichnis Seite 201 - 205 |
Beschreibung: | 212 S. Ill., graph. Darst. |
ISBN: | 3519005204 |
Internformat
MARC
LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
---|---|---|---|
001 | BV019873269 | ||
003 | DE-604 | ||
005 | 20230607 | ||
007 | t | ||
008 | 050706s2005 gw ad|| |||| 00||| ger d | ||
016 | 7 | |a 975283596 |2 DE-101 | |
020 | |a 3519005204 |c Pb. : EUR 24.90 |9 3-519-00520-4 | ||
035 | |a (OCoLC)76768525 | ||
035 | |a (DE-599)BVBBV019873269 | ||
040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
041 | 0 | |a ger | |
044 | |a gw |c XA-DE-HE | ||
049 | |a DE-859 |a DE-1050 |a DE-1043 |a DE-91 |a DE-703 |a DE-92 |a DE-573 |a DE-898 |a DE-29T |a DE-91G |a DE-1051 |a DE-M347 |a DE-523 |a DE-83 |a DE-634 | ||
082 | 0 | |a 620 | |
084 | |a ZN 3750 |0 (DE-625)157334: |2 rvk | ||
084 | |a ZN 4980 |0 (DE-625)157428: |2 rvk | ||
084 | |a ZQ 7050 |0 (DE-625)158189: |2 rvk | ||
084 | |a MSR 055f |2 stub | ||
084 | |a 620 |2 sdnb | ||
084 | |a TEC 025f |2 stub | ||
100 | 1 | |a Glück, Markus |d 1987- |e Verfasser |0 (DE-588)156769506 |4 aut | |
245 | 1 | 0 | |a MEMS in der Mikrosystemtechnik |b Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme ; mit 6 Tabellen |c Markus Glück |
250 | |a 1. Aufl. | ||
264 | 1 | |a Wiesbaden |b Teubner |c 2005 | |
300 | |a 212 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
336 | |b txt |2 rdacontent | ||
337 | |b n |2 rdamedia | ||
338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
490 | 0 | |a Lehrbuch Elektrotechnik | |
500 | |a Literaturverzeichnis Seite 201 - 205 | ||
650 | 0 | 7 | |a Sensorsystem |0 (DE-588)4307964-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Mikrosystemtechnik |0 (DE-588)4221617-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a MEMS |0 (DE-588)4824724-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
655 | 7 | |0 (DE-588)4123623-3 |a Lehrbuch |2 gnd-content | |
689 | 0 | 0 | |a MEMS |0 (DE-588)4824724-8 |D s |
689 | 0 | 1 | |a Sensorsystem |0 (DE-588)4307964-7 |D s |
689 | 0 | |5 DE-604 | |
689 | 1 | 0 | |a Mikrosystemtechnik |0 (DE-588)4221617-5 |D s |
689 | 1 | 1 | |a MEMS |0 (DE-588)4824724-8 |D s |
689 | 1 | |5 DE-604 | |
856 | 4 | 2 | |m HEBIS Datenaustausch Darmstadt |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=013197527&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-013197527 |
Datensatz im Suchindex
_version_ | 1804133399133159424 |
---|---|
adam_text | MARKUS GLUECK MEMS IN DER MIKROSYSTEMTECHNIK AUFBAU, WIRKPRINZIPIEN,
HERSTELLUNG UND PRAXISEINSATZ MIKRPELEKTROMECHANISCHER SCHALTUNGEN UND
SENSORSYSTEME MIT 92 ABBILDUNGEN UND 6 TABELLEN TEUBNER
INHALTSVERZEICHNIS 1 EINFUEHRUNG 11 1.1 HISTORISCHE ENTWICKLUNG DER MEMS
12 1.2 RASANT WACHSENDE MAERKTE MIT ENORMEN POTENZIALEN 15 1.2.1
MIKROSYSTEME FUER DIE MOBILITAET 17 1.2.2 PROZESS- UND ANLAGENSICHERHEIT
IM MASCHINENBAU 18 1.2.3 MEDIZINTECHNIK UND PHARMAZIE 18 1.2.4 UMWELT-
UND KLIMATECHNIK 19 1.2.5 HAUSHALTSANWENDUNGEN, FACILITY MANAGEMENT 20 2
GRUNDLAGEN 21 2.1 GRUNDLAGEN DER SENSORIK 21 2.1.1 MESSWERTERFASSUNG UND
DYNAMISCHES SCHALTVERHALTEN 23 2.1.2 FEHLERANGABEN UND FEHLERKENNGROESSEN
26 2.2 GRUNDLAGEN DER WERKSTOFFTECHNIK 27 2.2.1 AGGREGATSZUSTAENDE 27
2.2.2 CHEMISCHE BINDUNGEN 27 2.2.3 ELEKTRISCHE EIGENSCHAFTEN DER
FESTKOERPER 29 2.2.4 HALBLEITERMATERIALIEN UND BAENDERMODELLE 30 2.3
KRISTALLINE FESTKOERPER 38 2.3.1 ELEMENTARZELLEN UND GITTER 39 2.3.2
KRISTALLRICHTUNGEN UND EBENEN 41 2.3.3 KRISTALLSTRUKTUREN 43 2.4
GRUNDLAGEN DER HALBLEITERPHYSIK 48 2.4.1 ELEKTRISCHE LEITFAEHIGKEIT UND
STROMFLUSS IN HALBLEITERN 48 2.4.2 PN UEBERGANG 57 2.5 SILIZIUM -
WICHTIGSTER BASIS WERKSTOFF DER MIKROSYSTEMTECHNIK 62 3
HERSTELLUNGSVERFAHREN DER MEMS FERTIGUNG 65 3.1 HERSTELLUNG VON
SILIZIUMSCHEIBEN 66 3.1.1 KRISTALLZIEHEN - CZROCHALSKI
TIEGELZIEHVERFAHREN 67 3.1.2 ZONENREINIGUNG UND SCHEIBENHERSTELLUNG 68
3.2 HERSTELLUNG VON MEMS UND MIKROELEKTRONISCHEN SCHALTUNGEN 69 3.2.1
STRUKTURIERUNG MITTELS FOTOLITHOGRAPHIE 69 3.2.2 DOTIERUNG UND
IONENIMPLANTATION 72 3.2.3 OXIDATION UND PASSIVIERUNG 74 3.2.4
AETZTECHNIK 77 8 INHALTSVERZEICHNIS 3.2.5 REINIGUNGSPROZESSE 80 3.2.6
METALLISIERUNG 82 3.2.7 LIGA VERFAHREN UND MIKROGALVANIK 84 3.2.8
AUFBAU- UND VERBINDUNGSTECHNIK, PACKAGING 87 4 TEMPERATURSENSOREN 93 4.1
THERMOELEMENTE 93 4.2 THERMOWIDERSTAENDE 95 4.2.1 OHMSCHE
TEMPERATURSENSOREN AUS METALLISCHEN LEITERN 95 4.2.2 HALBLEITER
TEMPERATURSENSOREN 98 4.2.3 HEISSLEITER (NTC WIDERSTAENDE) : 102 4.2.4
KALTLEITER (PTC WIDERSTAENDE) 102 4.3 THERMODIODEN 103 4.4 OHMSCHE
WIDERSTANDSMESSUNGEN DER MATERIALMESSTECHNIK 104 5 MAGNETFELDSENSOREN
107 5.1 HALL-EFFEKT, MAGNETOWIDERSTANDSEFFEKT, FELD- UND RASTERPLATTE
108 5.2 EINFACHE MIKROSENSOREN ZUR MAGNETFELDBESTIMMUNG 115 5.2.1
HALL-SPANNUNGSBETRIEB 115 5.2.2 HALL-STROMBETRIEB 116 5.2.3
DOPPELELEKTRODENANORDNUNGEN ALS MAGNETFELDSENSOR 117 5.2.4 CORBINO
SCHEIBE 118 6 STRAHLUNGSSENSOREN UND FOTODETEKTOREN 119 6.1 GRUNDLAGEN
DER STRAHLUNGSMESSUNG 121 6.2 FOTODIODEN 122 6.2.1 AUFBAU UND
WIRKUNGSWEISE VON FOTODIODEN 122 6.2.2 VERBESSERUNG DER QUANTENAUSBEUTE,
PIN DIODE 125 6.2.3 LAWINENFOTODIODEN (APD) 128 6.2.4 MOS DIODE ALS
FOTODETEKTOR 129 6.3 INFRAROTMESSTECHNIK 131 6.4 FOTOLEITER 133 6.5
MATERIALIEN FUER DIE DETEKTION VON LICHT 136 7 MIKRO-ELEKTRO-MECHANISCHE
SENSORSYSTEME 139 7.1 PIEZOWIDERSTANDSEFFEKT, DEHNUNGSMESSSTREIFEN 141
7.2 PIEZOELEKTRISCHER EFFEKT 144 7.3 DRUCKMESSTECHNIK 145 7.4
BESCHLEUNIGUNGSSENSOREN 149 7.5 MIKROFONE 152 7.6 STROEMUNGS- UND
FLUSSSENSOREN 153 INHALTSVERZEICHNIS 7.7 MIKROMECHANISCHE AKTUATOREN 156
7.7.1 GRUNDPRINZIPIEN MIKROELEKTROMECHANISCHER AKTUATOREN 156 7.7.2
LICHTMODULATOREN UND SPIEGEL 157 7.7.3 MIKROMOTOREN 160 8 CHEMISCHE
SENSOREN 163 9 SYSTEMINTEGRATION UND DATENUEBERTRAGUNG 169 9.1 BUSSYSTEME
IN SENSORIK UND AUTOMATISIERUNGSTECHNIK 169 9.2 INNOVATIVE FUNKSENSORIK
172 9.3 RFID TECHNIK (RADIO FREQUENCY IDENTIFICATION) 179 10
ENERGIEVERSORGUNG 185 10.1 BATTERIEN 185 10.2 SOLARZELLEN 188 10.3
ENERGIEAUTARKE SENSORSYSTEME 192 ANHANG SYMBOLVERZEICHNIS 195 LITERATUR-
UND QUELLENVERZEICHNIS 201 STICHWORTVERZEICHNIS 207
|
any_adam_object | 1 |
author | Glück, Markus 1987- |
author_GND | (DE-588)156769506 |
author_facet | Glück, Markus 1987- |
author_role | aut |
author_sort | Glück, Markus 1987- |
author_variant | m g mg |
building | Verbundindex |
bvnumber | BV019873269 |
classification_rvk | ZN 3750 ZN 4980 ZQ 7050 |
classification_tum | MSR 055f TEC 025f |
ctrlnum | (OCoLC)76768525 (DE-599)BVBBV019873269 |
dewey-full | 620 |
dewey-hundreds | 600 - Technology (Applied sciences) |
dewey-ones | 620 - Engineering and allied operations |
dewey-raw | 620 |
dewey-search | 620 |
dewey-sort | 3620 |
dewey-tens | 620 - Engineering and allied operations |
discipline | Maschinenbau / Maschinenwesen Technik Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik Mess-/Steuerungs-/Regelungs-/Automatisierungstechnik Mess-/Steuerungs-/Regelungs-/Automatisierungstechnik / Mechatronik |
edition | 1. Aufl. |
format | Book |
fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02146nam a2200529 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV019873269</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20230607 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">050706s2005 gw ad|| |||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">975283596</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3519005204</subfield><subfield code="c">Pb. : EUR 24.90</subfield><subfield code="9">3-519-00520-4</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)76768525</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV019873269</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">XA-DE-HE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-859</subfield><subfield code="a">DE-1050</subfield><subfield code="a">DE-1043</subfield><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-703</subfield><subfield code="a">DE-92</subfield><subfield code="a">DE-573</subfield><subfield code="a">DE-898</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-91G</subfield><subfield code="a">DE-1051</subfield><subfield code="a">DE-M347</subfield><subfield code="a">DE-523</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield></datafield><datafield tag="082" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">620</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 3750</subfield><subfield code="0">(DE-625)157334:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 4980</subfield><subfield code="0">(DE-625)157428:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZQ 7050</subfield><subfield code="0">(DE-625)158189:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">MSR 055f</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">620</subfield><subfield code="2">sdnb</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">TEC 025f</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Glück, Markus</subfield><subfield code="d">1987-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)156769506</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">MEMS in der Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="b">Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme ; mit 6 Tabellen</subfield><subfield code="c">Markus Glück</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">1. Aufl.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Wiesbaden</subfield><subfield code="b">Teubner</subfield><subfield code="c">2005</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">212 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">Lehrbuch Elektrotechnik</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Literaturverzeichnis Seite 201 - 205</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Sensorsystem</subfield><subfield code="0">(DE-588)4307964-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4221617-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">MEMS</subfield><subfield code="0">(DE-588)4824724-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4123623-3</subfield><subfield code="a">Lehrbuch</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">MEMS</subfield><subfield code="0">(DE-588)4824724-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Sensorsystem</subfield><subfield code="0">(DE-588)4307964-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4221617-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">MEMS</subfield><subfield code="0">(DE-588)4824724-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">HEBIS Datenaustausch Darmstadt</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=013197527&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-013197527</subfield></datafield></record></collection> |
genre | (DE-588)4123623-3 Lehrbuch gnd-content |
genre_facet | Lehrbuch |
id | DE-604.BV019873269 |
illustrated | Illustrated |
indexdate | 2024-07-09T20:08:06Z |
institution | BVB |
isbn | 3519005204 |
language | German |
oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-013197527 |
oclc_num | 76768525 |
open_access_boolean | |
owner | DE-859 DE-1050 DE-1043 DE-91 DE-BY-TUM DE-703 DE-92 DE-573 DE-898 DE-BY-UBR DE-29T DE-91G DE-BY-TUM DE-1051 DE-M347 DE-523 DE-83 DE-634 |
owner_facet | DE-859 DE-1050 DE-1043 DE-91 DE-BY-TUM DE-703 DE-92 DE-573 DE-898 DE-BY-UBR DE-29T DE-91G DE-BY-TUM DE-1051 DE-M347 DE-523 DE-83 DE-634 |
physical | 212 S. Ill., graph. Darst. |
publishDate | 2005 |
publishDateSearch | 2005 |
publishDateSort | 2005 |
publisher | Teubner |
record_format | marc |
series2 | Lehrbuch Elektrotechnik |
spelling | Glück, Markus 1987- Verfasser (DE-588)156769506 aut MEMS in der Mikrosystemtechnik Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme ; mit 6 Tabellen Markus Glück 1. Aufl. Wiesbaden Teubner 2005 212 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Lehrbuch Elektrotechnik Literaturverzeichnis Seite 201 - 205 Sensorsystem (DE-588)4307964-7 gnd rswk-swf Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd rswk-swf MEMS (DE-588)4824724-8 gnd rswk-swf (DE-588)4123623-3 Lehrbuch gnd-content MEMS (DE-588)4824724-8 s Sensorsystem (DE-588)4307964-7 s DE-604 Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 s HEBIS Datenaustausch Darmstadt application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=013197527&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
spellingShingle | Glück, Markus 1987- MEMS in der Mikrosystemtechnik Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme ; mit 6 Tabellen Sensorsystem (DE-588)4307964-7 gnd Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd MEMS (DE-588)4824724-8 gnd |
subject_GND | (DE-588)4307964-7 (DE-588)4221617-5 (DE-588)4824724-8 (DE-588)4123623-3 |
title | MEMS in der Mikrosystemtechnik Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme ; mit 6 Tabellen |
title_auth | MEMS in der Mikrosystemtechnik Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme ; mit 6 Tabellen |
title_exact_search | MEMS in der Mikrosystemtechnik Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme ; mit 6 Tabellen |
title_full | MEMS in der Mikrosystemtechnik Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme ; mit 6 Tabellen Markus Glück |
title_fullStr | MEMS in der Mikrosystemtechnik Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme ; mit 6 Tabellen Markus Glück |
title_full_unstemmed | MEMS in der Mikrosystemtechnik Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme ; mit 6 Tabellen Markus Glück |
title_short | MEMS in der Mikrosystemtechnik |
title_sort | mems in der mikrosystemtechnik aufbau wirkprinzipien herstellung und praxiseinsatz mikroelektromechanischer schaltungen und sensorsysteme mit 6 tabellen |
title_sub | Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme ; mit 6 Tabellen |
topic | Sensorsystem (DE-588)4307964-7 gnd Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd MEMS (DE-588)4824724-8 gnd |
topic_facet | Sensorsystem Mikrosystemtechnik MEMS Lehrbuch |
url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=013197527&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
work_keys_str_mv | AT gluckmarkus memsindermikrosystemtechnikaufbauwirkprinzipienherstellungundpraxiseinsatzmikroelektromechanischerschaltungenundsensorsystememit6tabellen |