Laserstrahlmikroumformen: neues Justageverfahren in der Mikrotechnik
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2003
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| Schriftenreihe: | Berichte aus der Lasertechnik
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| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2002 |
| Beschreibung: | II, 175 S. Ill., graph. Darst. : 21 cm |
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INHALT
1
EINLEITUNG
1
2
ANWENDUNGEN
DER
PRAEZISIONSMONTAGE
5
2.1
TECHNOLOGIEN
ZUR
PRAEZISIONSMONTAGE
6
2.2
STAND
DER
TECHNIK
ZUM
LASERSTRAHLUMFORMEN
11
2.3
EINORDNUNG
DES
LASERSTRAHLUMFORMENS
14
3
LASERSTRAHLJUSTAGE
17
3.1
JUSTAGE
ALS
MONTAGESCHRITT
17
3.2
THERMISCHES
UMFORMEN
DURCH
LASERSTRAHLUNG
20
3.2.1
PROZESSMODELLE
20
3.2.2
EINFLUSSFAKTOREN
22
3.3
MECHANISMEN
DES
LASERSTRAHLUMFORMENS
24
3.3.1
EIGENSPANNUNGSPUNKT-MECHANISMUS
24
3.3.2
TEMPERATUR-GRADIENTEN-MECHANISMUS
25
3.3.3
STAUCH-MECHANISMUS
27
3.4
NUMERISCHE
SIMULATION
DES
TEMPERATUR-GRADIENTEN
MECHANISMUS
29
3.5
THERMISCHE
AKTUATOREN
35
4
JUSTAGEPRINZIPIEN
37
4.1
FUNKTIONSSIGNALBEZOGENES
JUSTIEREN
37
4.2
GEOMETRIEBEZOGENES
JUSTIEREN
38
4.3
VERWENDETE
MESSTECHNIK
FUER
DAS
LASERSTRAHLMIKROUMFORMEN
38
4.3.1
OPTISCHE
ABSTANDSSENSOREN
39
4.3.2
TAKTILE
ABSTANDSSENSOREN
48
4.3.3
KAPAZITIVE
ABSTANDSSENSOREN
49
4.3.4
HERKOEMMLICHE
WINKELMESSGERAETE
50
4.3
5
MOBIL
52
4.3.6
PROFILMESSUNG
53
4.3.7
WEISSLICHTINTERFERENZMIKROSKOP
55
5
EXPERIMENTELLE
ERGEBNISSE
59
5.1
WELLENLAENGE
60
5.2
LASERSTRAHLQUELLEN
63
5.3
WERKSTOFF
76
5.3.1
STAHL
77
5.3.2
KUPFERWERKSTOFFE
80
5.4
PULSDAUER
UND
LASERLEISTUNG
83
5.5
EINSTRAHLPOSITION
84
5.6
ZEITAUFGELOESTE
DARSTELLUNG
DES
BIEGEVERLAUFS
86
5.7
STABILITAET
93
5.8
REGELUNGSKONZEPT
95
5.8.1
UEBERGANG
VOM
UMFORMEN
ZUR
JUSTAGE
95
5.8.2
REGELSTRATEGIEN
97
6
BEISPIELAPPLIKATIONEN
101
6.1
ANWENDUNGSBEISPIELE
FUER
AKTUATOREN
101
6.2
OUT-OF-PLANE-AKTUATOREN
102
6.3
IN-PLANE-AKTUATOREN
113
6.3.1
FACHWERK-AKTUATOR
113
6.3.2
DOPPELBRUECKEN-AKTUATOR
115
6.3.3
MULTI-AKTUATOR
117
6.4
LINSENJUSTAGE
FUER
DIODENLASER
119
6.5
ROHRAKTUATOR
122
6.5.1
AUSLEGUNG
DER
ROHRAKTUATOREN
125
6.5.2
MESSAUFBAU
129
6.5.3
4-BRUECKEN-ROHRAKTUATOR
132
6.5.4
3-BRUECKEN-ROHRAKTUATOR
138
7
ZUSAMMENFASSUNG
147
8
LITERATUR
151
9
ANHANG
161
9.1
ABBILDUNGEN
161
9.2
ABKUERZUNGEN
UND
FORMELZEICHEN
166
9.3
ZWEI-SCHICHT-MODELL
DES
LASERSTRAHLUMFORMENS
167
9.4
LEISTUNGSKURVEN
DER
VERWENDETEN
LASERSTRAHLQUELLEN
169
9.5
MESSVERFAHREN
ZUR
BIEGEWINKELBESTIMMUNG
170
II |
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