Elektrostatische Greifer für die Mikromontage:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI Verl.
1998
|
| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 8]
702 Berichte der Institute für Automatisierungstechnik |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | X, 120 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3183702088 |
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INHALTSVERZEICHNIS
V
ELEKTROSTATISCHE
GREIFER
FUER
DIE
MIKROMONTAGE
INHALTSVERZEICHNIS
SYMBOLVERZEICHNIS
---------------------------------------------------------------------IX
1
EINLEITUNG
UND
ZIELE
DER
ARBEIT
--------------------------------------------------
1
1.1
EINFUEHRUNG
---------------------------------------------------------------------------------------------
1
1.1.1
SCHLUESSELTECHNOLOGIE
MIKROSYSTEMTECHNIK
------------------------------------------
1
1.1.2
DER
SCHWIERIGE
WEG
ZUR MIKROSYSTEMTECHNIK
--------------------------------------
2
1.2
AUSGANGSLAGE
UND
DEFIZITE
BEI
DER
MIKROMONTAGE
-------------------------------------
3
1.2.1
BEDEUTUNG
DER
MONTAGE
BEI
DER
MIKROSYSTEMHERSTELLUNG
---------------------
3
1.2.2
PROBLEMSTELLUNG
BEI
DER
MIKROMONTAGE
---------------------------------------------
4
1.3
OBERFLAECHENEFFEKTE
IM
MIKROBEREICH
---------------------------------------------------------
7
1.3.1
MIKROBEREICH
----------------------------------------------------------------------------------
7
1.3.2
VERHALTEN
VON
MIKROTEILEN
----------------------------------------------------------------
8
1.3.3
ELEKTROSTATISCHE
KRAEFTE
--------------------------------------------------------------------
8
1.3.3.1
ELEKTRONENAUSTRITTSENERGIE
---------------------------------------------------------
8
1.3.3.2
KRAFT
ZWISCHEN
ZWEI
ELEKTRISCHEN
LADUNGEN
---------------------------------
9
1.3.3.3
ELEKTROSTATISCHE
KRAFT
BEI
ELEKTRISCHEN
LEITERN
UND
ISOLATOREN
------
10
1.3.4
VAN-DER-WAALS-KRAEFTE
--------------------------------------------------------------------
11
1.3.4.1
MIKROSKOPISCHE
BERECHNUNG
----------------------------------------------------
11
1.3.4.2
MAKROSKOPISCHE
BERECHNUNG
---------------------------------------------------
12
1.3.4.3
EINFLUSS
DER
OBERFLAECHENRAUHEIT
-------------------------------------------------
13
1.3.5
OBERFLAECHENSPANNUNGSEFFEKTE
(KAPILLARKRAFT)
------------------------------------
14
1.3.5.1
OBERFLAECHENSPANNUNG
------------------------------------------------------------
14
1.3.5.2
FLUESSIGKEITSBRUECKE
-----------------------------------------------------------------
15
1.3.5.3
EINFLUSS
DER
OBERFLAECHENRAUHEIT
-------------------------------------------------
17
1.3.6
VERLAUF
DER
HAFTKRAEFTE
IN
ABHAENGIGKEIT
VON
DER
OBJEKTGROESSE
---------------
18
1.3.7
VERLAUF
DER
HAFTKRAEFTE
IN
ABHAENGIGKEIT
VOM
ABSTAND
--------------------------
21
1.3.8
VERLAUF
DER
HAFTKRAEFTE
IN
ABHAENGIGKEIT
VON
DER
OBERFLAECHENRAUHEIT
----------------------------------------------------------------
21
VI
ELEKTROSTATISCHE
GREIFER
FUER
DIE
MIKROMONTAOE
1.3.9
ZUSAMMENFASSUNG
DER
OBERFLAECHENKRAEFTE
---------------------------------------
23
1.4
EINFLUESSE
VON
OBERFLAECHENEFFEKTEN
AUF
DIE
MIKROMONTAGE
------------------------
24
1.5
STAND
DER
TECHNIK
ZUR
REDUZIERUNG
VON
OBERFLAECHENEFFEKTEN
-------------------
27
1.6
ZUSAMMENFASSUNG
UND
ZIELSETZUNG
-------------------------------------------------------
29
2
STAND
DER
GREIFERTECHNIK
---------------------------------------------------------
31
2.1
BEDEUTUNG
DES
GREIFERS
-----------------------------------------------------------------------
31
2.2
DEFINITIONEN
-----------------------------------------------------------------------------------------
31
2.3
GLIEDERUNG
DER
GREIFER
-------------------------------------------------------------------------
32
2.4
TEILSYSTEME
VON
GREIFERN
---------------------------------------------------------------------
32
2.4.1
HALTESYSTEM
---------------------------------------------------------------------------------
33
2.4.2
KINEMATISCHE
STRUKTUR
---------------------------------------------------------------------
34
2.4.3
ANTRIEB
-----------------------------------------------------------------------------------------
35
2.4.4
FLANSCH
UND
GEHAEUSE
--------------------------------------------------------------------
36
2.4.5
STEUERUNG
-----------------------------------------------------------------------------------
37
2.5
ANFORDERUNGEN
AN
MIKROGREIFER
-------------------------------------------------------------
37
2.6
STAND
DER
MIKROGREIFERTECHNIK
---------------------------------------------------------------
40
2.6.1
MECHANISCHE
GREIFER
--------------------------------------------------------------------
40
2.6.2
ADHAESIONSGREIFER
---------------------------------------------------------------------------
44
2.6.3
SAUGGREIFER
----------------------------------------------------------------------------------
49
2.7
DEFIZITE
DES
STANDES
DER
TECHNIK
----------------------------------------------------------
51
3
HALTEMECHANISMUS
DES
ELEKTROSTATISCHEN
MIKROGREIFERS
-----------54
3.1
UNTERSUCHUNGSBEREICHE
EINES
NEUEN
ELEKTROSTATISCHEN
MIKROGREIFERS
----------
54
3.2
HAFTSTRUKTUR
DES
ELEKTROSTATISCHEN
MIKROGREIFERS
--------------------------------------
55
3.2.1
STRUKTUR
1:
FORM
DES
PLATTENKONDENSATORS
---------------------------------------
55
3.2.2
STRUKTUR
2
UND
3:
EINZELELEKTRODE
FORM
--------------------------------------------
57
3.2.2.1
INFLUENZWIRKUNG
----------------------------------------------------------------------
57
3.2.2.2
LEITER
IM
ELEKTRISCHEN
FELD
-------------------------------------------------------
58
3.2.2.3
DIELEKTRIKA
IM
ELEKTRISCHEN
FELD
------------------------------------------------
58
3.2.3
ZUSAMMENFASSUNG
DER
ANZIEHUNGSKRAEFTE
IN
DREI
HAFTSTRUKTUREN
----------
60
3.2.4
NEUER
HALTEMECHANISMUS
DES
ELEKTROSTATISCHEN
GREIFERS
------------------
63
INHALTSVERZEICHNIS
VII
4
KONZENTRISCHER
ELEKTROSTATISCHER
MIKROGREIFER
-------------------------
65
4.1
DEFINITION
DER
ZENTRIERUNG
DES
OBJEKTS
---------------------------------------------------
65
4.2
ZENTRIERUNGSEFFEKT
EINES
KONZENTRISCHEN
ELEKTROSTATISCHEN
GREIFERS
-----------
65
4.3
ANALYSE
DES
OBJEKTZENTRIERUNGSEFFEKTS
MIT
HILFE
DER
FINITE
DIFFERENZEN-METHODE
-----------------------------------------------------------------------
67
4.3.1
DIFFERENZENVERFAHREN
--------------------------------------------------------------------
67
4.3.2
MODELLBILDUNG
FUER
DEN
KONZENTRISCHEN
ELEKTROSTATISCHEN
MIKROGREIFER
-
-69
4.3.2.1
BERECHNUNG
DES
ELEKTROSTATISCHEN
FELDES
----------------------------------
69
4.3.2.2
MODELLBILDUNG
FUER
DEN
KONZENTRISCHEN
ELEKTROSTATISCHEN
MIKROGREIFER
----------------------------------------------------------------
71
4.3.2.3
BERECHNUNG
DER
POTENTIALVERTEILUNG
IN
EINEM
KONZENTRISCHEN
ELEKTROSTATISCHEN
GREIFER
---------------------------------------------------------
72
4.3.2.4
ERGEBNISSE
DER
ANALYSE
----------------------------------------------------------
72
4.4
VERIFIZIERUNG
DER
FUNKTIONSWEISE
-----------------------------------------------------------
78
4.5
VERSUCHSERGEBNISSE
----------------------------------------------------------------------------
80
4.6
KONZENTRISCHE
ELEKTROSTATISCHE
GREIFER
MIT
MEHREREN
ELEKTRODEN
---------------
83
4.7
BEWAHRUNG
DER
HAFTKRAEFTE
--------------------------------------------------------------------
85
5
ZUR
ENTWICKLUNG
EINES
ABLOESEMECHANISMUS
VON
MIKROTEILCHEN
-------------------------------------------------------------
86
5.1
EINLEITUNG
------------------------------------------------------------------------------------------
86
5.2
BESCHREIBUNG
DES
ABLOESEMECHANISMUS
-------------------------------------------------
87
6
NAHTLOSER
ELEKTROSTATISCHER
MIKROAKTOR
FUER
DEN
ABLOESEMECHANISMUS
-----------------------------------------------93
6.1
ANFORDERUNGEN
AN
DEN
MIKROAKTOR
---------------------------------------------------------
93
6.2
KONZEPT
EINES
NEUEN
ELEKTROSTATISCHEN
AKTORS
----------------------------------------
96
6.3
UMSETZUNG
DES
KONZEPTS
--------------------------------------------------------------------
97
6.4
KONZEPT
DES
MIKROAKTORS
---------------------------------------------------------------------
98
6.5
FALTVERFAHREN
DES
MIKROAKTORS
--------------------------------------------------------------
99
6.6
AUFBAU
UND
FUNKTIONSPRINZIP
DES
MIKROAKTORS
----------------------------------------
100
6.7
VARIANTEN
DES
MIKROAKTORS
------------------------------------------------------------------
101
6.8
BEWERTUNG
DER
VARIANTEN
---------------------------------------------------------------------103
VIII
ELEKTROSTATISCHE
GREIFER
FUER
DIE
MIKROMONTAAE
6.9
ZUSAMMENFASSUNG
DES
ELEKTROSTATISCHEN
AKTORS
-----------------------------------
104
7
INTEGRATION
DES
ABLOESEMECHANISMUS
IN
DEN
KONZENTRISCHEN
ELEKTROSTATISCHEN
MIKROGREIFER
-------------------
105
7.1
EINSATZ
DES
ABLOESEMECHANISMUS
IM
MIKROGREIFER
-----------------------------------
105
7.2
GREIFPHASEN
VON
KONZENTRISCHEN
ELEKTROSTATISCHEN
MIKROGREIFERN
--------------
106
7.3
MERKMALE
DES
ELEKTROSTATISCHEN
MIKROGREIFERS
MIT
NAHTLOSEM
ELEKTROSTATISCHEN
AKTOR
-------------------------------------------------------------------109
8
ANWENDUNGSMOEGLICHKEITEN
IN
DER
MIKROMONTAGE
--------------------110
9
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
------------------------------------------
111
LITERATUR
--------------------------------------------------------------------------------
114 |
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| author | Oh, Hyeon-Seok |
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