Montage mikrooptischer Systeme: Abschlußbericht ; Verbundprojekt 1996 - 1999
Gespeichert in:
| Format: | Buch |
|---|---|
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Teltow
VDI-VDE-Technologiezentrum Informationstechnik
1999
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| Schriftenreihe: | Reihe: Innovationen in der Mikrosystemtechnik
61 |
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| Beschreibung: | 137 S. Ill., graph. Darst. |
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