Verfügbarkeit: Atomic layer deposition and characterization of metal oxide thin films

Atomic layer deposition and characterization of metal oxide thin films:

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Mahmoodinezhad, Ali (VerfasserIn)
Format:	Abschlussarbeit Buch
Sprache:	English
Veröffentlicht:	Cottbus ; Senftenberg 2022
Schlagworte:	Aluminiumoxide Tieftemperatur Beschichtung Ceroxide Metallschicht Atomlagenabscheidung Indiumoxide Dünne Schicht Hochschulschrift
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