Introduction to spectroscopic ellipsometry of thin film materials: instrumentation, data analysis, and applications
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Wee, Andrew T. S. (VerfasserIn), Yin, Xinmao (VerfasserIn), Tang, Chi Sin (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Weinheim, Germany Wiley-VCH [2022]
Schlagworte:
Online-Zugang:http://www.wiley-vch.de/publish/dt/books/ISBN978-3-527-34951-7/
Inhaltsverzeichnis
Beschreibung:x, 187 Seiten Illustrationen, Diagramme 24.4 cm x 17 cm
ISBN:3527349510
9783527349517

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