Holdings: Mikrosystemtechnik Chemnitz '97

Mikrosystemtechnik Chemnitz '97: Mikromechanik & Mikroelektronik, [3. Chemnitzer Fachtagung] 13. - 14. Oktober 1997, Chemnitz

Saved in:

Bibliographic Details
Format:	Conference Proceeding Book
Language:	German English
Published:	Chemnitz Techn. Univ. 1997
Subjects:	Mikroelektronik Mikrosystemtechnik Konferenzschrift > 1997 > Chemnitz
Online Access:	Inhaltsverzeichnis
Physical Description:	V, 273 S. Ill., graph. Darst.

Staff View

MARC


LEADER	00000nam a2200000zc 4500
001	BV023771525
003	DE-604
005	20150930
007	t
008	980313s1997 ad\|\| \|\|\|\| 00\|\|\| ger d
035			\|a (OCoLC)915840692
035			\|a (DE-599)BVBBV023771525
040			\|a DE-604 \|b ger
041	0		\|a ger \|a eng
049			\|a DE-634 \|a DE-83
245	1	0	\|a Mikrosystemtechnik Chemnitz '97 \|b Mikromechanik & Mikroelektronik, [3. Chemnitzer Fachtagung] 13. - 14. Oktober 1997, Chemnitz \|c [Programmkomitee: W. Dötzel ...]
264		1	\|a Chemnitz \|b Techn. Univ. \|c 1997
300			\|a V, 273 S. \|b Ill., graph. Darst.
336			\|b txt \|2 rdacontent
337			\|b n \|2 rdamedia
338			\|b nc \|2 rdacarrier
546			\|a Beitr. teilw. dt., teilw. engl.
650	0	7	\|a Mikroelektronik \|0 (DE-588)4039207-7 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a Mikrosystemtechnik \|0 (DE-588)4221617-5 \|2 gnd \|9 rswk-swf
655		7	\|0 (DE-588)1071861417 \|a Konferenzschrift \|y 1997 \|z Chemnitz \|2 gnd-content
689	0	0	\|a Mikrosystemtechnik \|0 (DE-588)4221617-5 \|D s
689	0	1	\|a Mikroelektronik \|0 (DE-588)4039207-7 \|D s
689	0		\|5 DE-604
700	1		\|a Dötzel, Wolfram \|d 1941-2023 \|e Sonstige \|0 (DE-588)108263193 \|4 oth
710	2		\|a Technische Universität Chemnitz \|e Sonstige \|0 (DE-588)5018951-7 \|4 oth
711	2		\|a Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik \|n 3 \|d 1997 \|c Chemnitz \|j Sonstige \|0 (DE-588)1077049676 \|4 oth
856	4	2	\|m GBV Datenaustausch \|q application/pdf \|u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=017413761&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA \|3 Inhaltsverzeichnis
999			\|a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-017413761

Record in the Search Index

_version_	1804138959617392640
adam_text	TECHNISCHE UNIVERSITAT CHEMNITZ * MI NUN MI * * III *** HI I * III *** III I I I III IL I SYSTEM MIKROMECHANIK & MIKROELEKTRONIK 13.-14. OKTOBER 1997 CHEMNITZ UB/TIB HANNOVER 89 117 227 65X INHALTSVERZEICHNIS SESSION 1 - ENTWURF, SIMULATION, M ODELLIERUNG LEITUNG: P. SCHWARZ 1-1 MIKROMECHANISCHER NEIGUNGSSENSOR MIT MINIMALEM PLATZBEDARF 1 ZIELKE, D. GEMAC MBH, CHEMNITZ 1-2 SIMULATION VON QUARZ-DICKENSCHERRESONATOREN MIT DER FINITE-ELEMENT-METHODE 9 SCHRANZ, S.; HAUPTMANN, P. OTTO-VON-GUERICKE-UNIVERSITAT MAGDEBURG, FAKULTAT FUR ELEKTROTECHNIK, INSTITUT FUR PROZEBMEBTECHNIK UND ELEKTRONIK 1-3 ERSTELLUNG UND VERIFIKATION VON VERHALTENSMODELLEN FUR MIKROSYSTEME DURCH 19 OPTIMIERUNG HOFMANN, K.; GLESNER, M. TH DARMSTADT, FACHGEBIET MIKROELEKTRONISCHE SYSTEME 1 -4 DOKUMENTATIONSGEFIIHRTER ENTWURF VON MIKROSYSTEMEN 3 3 BARTHEL, T.; MULLER, D.; PAULIUK, J. TU CHEMNITZ, FAKULTAT FIIR ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK, LEHRSTUHL SCHALTUNGS- UND SYSTEMENTWURF 1-5 SIMULATION VON SYSTEMEN AUS HETEROGENER KOMPONENTEN MIT UNISIM 41 REINERT, D. HOCHSCHULE FUR TECHNIK UND WIRTSCHAFT MITTWEIDA 1-6 VERHALTENS- UND STRUKTURORIENTIERTE MODELLIERUNG EINER MIKROEJEKTIONSPUMPE 50 KLEIN, A.; HUCK, E.; GERLACH, G.; SCHWARZ, P. TU DRESDEN, INSTITUT FUR FESTKORPERELEKTRONIK; FRAUNHOFER-INSTITUT FIIR INTEGRIERTE SCHALTUNGEN DRESDEN 1-7 MODELLIERUNG UND SIMULATION VON SYSTEMEN ZUR LASERSTRAHLABLENKUNG MIT 60 MIKROSPIEGELARRAYS UNTER BERUCKSICHTIGUNG IHRES DYNAMISCHEN VERHALTENS SEIDEL, R.; ALBRECHT, J.; NEUMANN, S.; MULLER, D. TU CHEMNITZ, FAKULTAT FIIR ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK, LEHRSTUHL SCHALTUNGS- UND SYSTEMENTWURF; LEHRSTUHL SYSTEMTHEORIE SESSION 2 - TECHNOLOGIE LEITUNG: T. GEBNER 2-1 FERTIGUNG VON MIKROSPIEGELN IN OBERFLDCHENMIKROMECHANIK 73 WOLLMANN. U.; KRUJATZ, J.; GREBNER, W.; HAHN, R.; KAUFMANN, C; GEBNER, T. TU CHEMNITZ, FAKULTAT FUR ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK, ZENTRUM FUR MIKROTECHNOLOGIEN 2-2 MIKROBAUTEILE AUFDER BASIS VON FOTOSTRUKTURIERBAREN GLDSERN 11 HARNISCH, A.; FEIND, K.; EHRHARDT, A.; HIILSENBERG, D.; KALLENBACH, E. TU ILMENAU, FACHGEBIET FUR GLAS/KERAMIK-TECHNOLOGIE; FACHGEBIET FUR ANTRIEBSTECHNIK 2-3 HOCHTEMPERATURSTABILE METALLISIERUNGSSYSTEME FUR BRENNRAUMSENSOREN 83 GOTTFRIED, K.; KRIZ, J.; LEIBELT, J.; KAUFMANN, C; GEBNER, T. TU CHEMNITZ, FAKULTAT FUR ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK, ZENTRUM FUR MIKROTECHNOLOGIEN 2-4 MIKROMECHANISCHE UND OPTISCHE FUNKTIONSELEMENTE HERGESTELLT DURCH ANISOTROPES 88 ATZEN VON SILIZIUM FRUHAUF, J.; HANNEMANN, B. TU CHEMNITZ, FAKULTAT FIIR ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK, FACHGRUPPE WERKSTOFFE DER ELEKTROTECHNIK/ELEKTRONIK SESSION 3 - MEFTTECHNIK LEITUNG: B. MICHEL 3-1 ANALYSE DES DDMPFUNGSVERHALTENS AN BEWEGTEN MIKROSTRUKTUREN DER BULK- UND 99 OBERFLDCHENTECHNOLOGIE KURTH, S.; MEHNER, J.; RAUCH, M. TU CHEMNITZ, FAKULTAT FIIR ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK, LEHRSTUHL MIKROSYSTEM- UND GERATETECHNIK; CMS GMBH CHEMNITZ 3-2 MIKROOPTISCHE 3D-MEFITECHNIK MIT STREIFENPROJEKTION UND KONFOKALER 107 MIKROSKOPIE FRANKOWSKI, G.; MAIER, P. OMECA MESSTECHNIK GMBH, BERLIN 3-3 MOGLICHKEITEN UND ERGEBNISSE DER MIKRODEFORMATIONSMESSUNG 111 FAUST, W.; BOMBACH, CH.; GOLDENBOGEN, S.; MICHEL, B. FHG IZM BERLIN UND CHEMNITZ 3-4 FUNKTIONELLE INTEGRATION VON SENSOREN/AKTOREN MIT MICROCONTROLLER!! FUR 126 ANWENDUNGEN IN TECHNISCHEN BUSSYSTEMEN BORMANN, F.; GRIMM, J. WESTSACHSISCHE HOCHSCHULE ZWICKAU, ARBEITSGRUPPE MIKROSYSTEME SESSION 4 - KOMPONENTEN LEITUNG: C. DETER 4-1 NEUARTIGER BESCHLEUNIGUNGSSENSOR MIT SYMMETRISCHEM DESIGN 131 SCHROPFER,.G.; DE LABACHELERIE, M.; BALLANDRAS, S.; ELFLEIN, W.; ANSEL, Y. LABORATOIRE DE PHYSIQUE ET METROLOGIE DES OSCILLATEURS; INST. DES MICROTECHNIQUES DE FRANCHE-COMTE, BESAN9ON; INST. DES MICROSYSTEMES, LAUSANNE II 4-2 DREHRATESENSOR IN SI-BULKMIKROMECHANIK - ENTWURF, TECHNOLOGIE UND 141 MEFITECHNISCHE CHARAKTERISIERUNG BILLEP, D.; GEBNER, T.; HILLER, K.; HUHNERFURST, A.; KEHR, K.; WIEMER, M. TU CHEMNITZ, FAKULTAT FIIR ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK, ZENTRUM FUR MIKROTECHNOLOGIEN, LEHRSTUHL MIKROSYSTEM- UND GERATETECHNIK 4-3 MICROFABRICATED DEVICES AND SYSTEMS FOR HANDLING LIQUIDS AND GASES 150 MESSNER, S.; MULLER, M.; HEY, N.; GRUHLER, H.; FREYGANG, M.; STEHR, M.; ROBBERG, R.; SANDMAIER, H.; ZENGERLE, R. HAHN-SCHICKARD-GESELLSCHAFT, INSTITUT FIIR MIKRO- UND INFORMATIONSTECHNIK, VILLINGEN-SCHWENNINGEN 4-4 ELEKTROSTATISCHE ANTRIEBSVARIANTEN FIIR DIE OBERFLDCHENMIKROMECHANIK 158 WIBBELER, J.; WOLF, K. TU CHEMNITZ, FAKULTAT FIIR ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK 4-5 BEWEGUNGSDETEKTOR IN SCREAM-TECHNOLOGIE 168 HILLER, K.; MEHNER, J.; BERTZ, A.; LOBNER, B.; GRIESBACH, K.; KURTH, S.; KROHNERT, S. TU CHEMNITZ, FAKULTAT FIIR ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK, ZENTRUM FIIR MIKROTECHNOLOGIEN; INSTITUT FIIR MIKROSYSTEM- UND HALBLEITERTECHNIK SESSION 5 - SYSTEMLOSUNGEN, APPLIKATION LEITUNG: C DITTRICH 5-1 SENSORSYSTEME FUR DAS INTELLIGENTE HAUS 177 FLASCHKE, T.; REISCHL, M.; SCHRATT, L.; TRANKLER, H.-R. UNIVERSITAT DER BUNDESWEHR MIINCHEN, INSTITUT FIIR MEB- UND AUTOMATISIERUNGSTECHNIK 5-2 EIN UNIVERSELLES TEMPERATURSTABILES DRUCKSENSOR-MIKROSYSTEM 184 SCHLEGEL, C; ZEITLMANN, R.; ERLER, K.; SYMANZIK, H.-G. TU CHEMNITZ, FAKULTAT FIIR ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK, LEHRSTUHL ELEKTRONISCHE BAUELEMENTE 5-3 MIKROMECHANISCHE ULTRASCHALL-WANDLER IN CMOS-TECHNOLOGIE 192 ECCARDT, P.-C; NIEDERER, K. SIEMENS AG MIINCHEN, ZT KM 2; UNIVERSITAT REGENSBURG, INSTITUT FIIR ANGEWANDTE PHYSIK 5-4 UNTERSUCHUNG EINES MIKROMECHANISCHEN DELTA-SIGMA-WANDLERS 199 KAUFMANN, J.; GIINTHER, W.; FRIESE, H. HOCHSCHULE FUR TECHNIK UND WIRTSCHAFT MITTWEIDA, FB ET/ELEKTRONIK; GEMAC MBH CHEMNITZ III 5-5 INTEGRIERTE OPTIK/OPTOELEKTRONIK AUF SILIZIUMBASIS - WESENTLICHER BESTANDTEIL 207 ZUKIINFTIGER MIKROSYSTEME SCHAUWECKER, B.; ARNOLD, M.; RADEHAUS, C. TU CHEMNITZ, FAKULTAT FIIR ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK, LEHRSTUHL OPTO- UND FESTKORPERELEKTRONIK POSTERBEITRAGE PI 3D-VERMESSUNG VON STRUKTUREN UND MATERIALIEN DER MIKROMECHANIK 213 MITTELS REM SCHUBERT, M.; SEIFERT, TH.; KOHLER, M.; HEMMLEB, M. INSTITUT FIIR PHYSIKALISCHE HOCHTECHNOLOGIE E.V., JENA P2 EIN MIXED-SIGNAL-VERFAHREN FIIR DEN HILBERT-TRANSFORMATOR 218 BOCHE, H.; FISCHER, J. HEINRICH-HERTZ-INSTITUT FUR NACHRICHTENTECHNIK BERLIN GMBH; TU DRESDEN, INSTITUT FUR GRUNDLAGEN DER ELEKTROTECHNIK UND ELEKTRONIK P3 KONZEPTEFIIR SAMPLE- AND HOLD-SCHALTUNGEN MIT EINER KONTROLLE DER 226 REKONSTRUKTIONSGIITE BOCHE, H.; FISCHER, J.; SCHREIBER, H. HEINRICH-HERTZ-INSTITUT FIIR NACHRICHTENTECHNIK BERLIN GMBH; TU DRESDEN, INSTITUT FIIR GRUNDLAGEN DER ELEKTROTECHNIK UND ELEKTRONIK P4 NETWORK OF PHD-STUDENTS IN MICROTECHNOLOGY 235 HAUDEN, D.; BASROUR, S.; SCHROPFER, G. INST. DES MICROTECHNIQUES DE FRANCHE-COMTE, BESANC,ON P5 FLUIDSYSTEM MIT MIKROMECHANISCHEN KOMPONENTE 239 RICHTER, S.; NGUYEN, N. T.; SCHUBERT, S.; DOTZEL, W. TU CHEMNITZ, FAKULTAT FIIR ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK, LEHRSTUHL MIKROSYSTEM- UND GERATETECHNIK; ZENTRUM FIIR MIKROTECHNOLOGIEN P6 MOGLICHKEITEN UND VORGEHENSWEISEN BEI DER NUTZBARMACHUNG 248 UMFORMTECHNISCHER VERFAHREN IN DER MIKROSYSTEMTECHNIK NEUGEBAUER, R.; SCHUBERT, A.; BURKHARDT, T. FRAUNHOFER INSTITUT FIIR WERKZEUGMASCHINEN UND UMFORMTECHNIK CHEMNITZ P7 ZIELSTELLUNG DES TECHNOLOGIECLUSTERS MIKROSENSORIK (TCM) GRUNERT, F. (MANUSKRIPT NICHT EINGEREICHT) MAZET MIKROELEKTRONIK ANWENDUNGSZENTRUM GMBH THIIRINGEN, ERFURT P8 ENTWICKLUNGSTENDENZEN VON SILIZIUM-BASIERTEN MIKROSENSORIK-TECHNOLOGIEN 251 HOFMANN, D.; STEINKE, A.; STOLZE, D.; SCHMIDT, A. CIS INSTITUT FIIR MIKROSENSORIK, ERFURT RV P9 EINSATZ SELBSTJUSTIERENDER TECHNIKEN IN DER OBERFLDCHENMIKROMECHANIK 259 KUCHLER, M.; BERTZ, A.; GRIESBACH, K.; GEBNER, T. TU CHEMNITZ, FAKULTAT FIIR ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK, ZENTRUM FUR MIKROTECHNOLOGIEN P10 HERSTELLUNG EINER MIKROFLUIDISCHEN KANALSTRUKTUR FUR EIN ZYTOMETER ZUR 266 UNTERSUCHUNG DER ZELLMECHANISCHEN EIGENSCHAFTEN VON ROTEN BLUTZELLEN KLEINSTEUBER, C; KUCHLER, M.; WERNER, T.; TRACEY, M.; DOTZEL, W. TU CHEMNITZ, FAKULTAT FIIR ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK, LEHRSTUHL MIKROSYSTEM- UND GERATETECHNIK, UNIVERSITY OF HERTFORDSHIRE
any_adam_object	1
author_GND	(DE-588)108263193
building	Verbundindex
bvnumber	BV023771525
ctrlnum	(OCoLC)915840692 (DE-599)BVBBV023771525
format	Conference Proceeding Book
fullrecord	<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01662nam a2200361zc 4500</leader><controlfield tag="001">BV023771525</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20150930 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">980313s1997 ad\|\| \|\|\|\| 00\|\|\| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)915840692</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV023771525</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield><subfield code="a">eng</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-634</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Mikrosystemtechnik Chemnitz '97</subfield><subfield code="b">Mikromechanik & Mikroelektronik, [3. Chemnitzer Fachtagung] 13. - 14. Oktober 1997, Chemnitz</subfield><subfield code="c">[Programmkomitee: W. Dötzel ...]</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Chemnitz</subfield><subfield code="b">Techn. Univ.</subfield><subfield code="c">1997</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">V, 273 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="546" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Beitr. teilw. dt., teilw. engl.</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikroelektronik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4039207-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4221617-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)1071861417</subfield><subfield code="a">Konferenzschrift</subfield><subfield code="y">1997</subfield><subfield code="z">Chemnitz</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4221617-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Mikroelektronik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4039207-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Dötzel, Wolfram</subfield><subfield code="d">1941-2023</subfield><subfield code="e">Sonstige</subfield><subfield code="0">(DE-588)108263193</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="710" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">Technische Universität Chemnitz</subfield><subfield code="e">Sonstige</subfield><subfield code="0">(DE-588)5018951-7</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="711" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik</subfield><subfield code="n">3</subfield><subfield code="d">1997</subfield><subfield code="c">Chemnitz</subfield><subfield code="j">Sonstige</subfield><subfield code="0">(DE-588)1077049676</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">GBV Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=017413761&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-017413761</subfield></datafield></record></collection>
genre	(DE-588)1071861417 Konferenzschrift 1997 Chemnitz gnd-content
genre_facet	Konferenzschrift 1997 Chemnitz
id	DE-604.BV023771525
illustrated	Illustrated
indexdate	2024-07-09T21:36:28Z
institution	BVB
institution_GND	(DE-588)5018951-7 (DE-588)1077049676
language	German English
oai_aleph_id	oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-017413761
oclc_num	915840692
open_access_boolean
owner	DE-634 DE-83
owner_facet	DE-634 DE-83
physical	V, 273 S. Ill., graph. Darst.
publishDate	1997
publishDateSearch	1997
publishDateSort	1997
publisher	Techn. Univ.
record_format	marc
spelling	Mikrosystemtechnik Chemnitz '97 Mikromechanik & Mikroelektronik, [3. Chemnitzer Fachtagung] 13. - 14. Oktober 1997, Chemnitz [Programmkomitee: W. Dötzel ...] Chemnitz Techn. Univ. 1997 V, 273 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Beitr. teilw. dt., teilw. engl. Mikroelektronik (DE-588)4039207-7 gnd rswk-swf Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd rswk-swf (DE-588)1071861417 Konferenzschrift 1997 Chemnitz gnd-content Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 s Mikroelektronik (DE-588)4039207-7 s DE-604 Dötzel, Wolfram 1941-2023 Sonstige (DE-588)108263193 oth Technische Universität Chemnitz Sonstige (DE-588)5018951-7 oth Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik 3 1997 Chemnitz Sonstige (DE-588)1077049676 oth GBV Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=017413761&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis
spellingShingle	Mikrosystemtechnik Chemnitz '97 Mikromechanik & Mikroelektronik, [3. Chemnitzer Fachtagung] 13. - 14. Oktober 1997, Chemnitz Mikroelektronik (DE-588)4039207-7 gnd Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd
subject_GND	(DE-588)4039207-7 (DE-588)4221617-5 (DE-588)1071861417
title	Mikrosystemtechnik Chemnitz '97 Mikromechanik & Mikroelektronik, [3. Chemnitzer Fachtagung] 13. - 14. Oktober 1997, Chemnitz
title_auth	Mikrosystemtechnik Chemnitz '97 Mikromechanik & Mikroelektronik, [3. Chemnitzer Fachtagung] 13. - 14. Oktober 1997, Chemnitz
title_exact_search	Mikrosystemtechnik Chemnitz '97 Mikromechanik & Mikroelektronik, [3. Chemnitzer Fachtagung] 13. - 14. Oktober 1997, Chemnitz
title_full	Mikrosystemtechnik Chemnitz '97 Mikromechanik & Mikroelektronik, [3. Chemnitzer Fachtagung] 13. - 14. Oktober 1997, Chemnitz [Programmkomitee: W. Dötzel ...]
title_fullStr	Mikrosystemtechnik Chemnitz '97 Mikromechanik & Mikroelektronik, [3. Chemnitzer Fachtagung] 13. - 14. Oktober 1997, Chemnitz [Programmkomitee: W. Dötzel ...]
title_full_unstemmed	Mikrosystemtechnik Chemnitz '97 Mikromechanik & Mikroelektronik, [3. Chemnitzer Fachtagung] 13. - 14. Oktober 1997, Chemnitz [Programmkomitee: W. Dötzel ...]
title_short	Mikrosystemtechnik Chemnitz '97
title_sort	mikrosystemtechnik chemnitz 97 mikromechanik mikroelektronik 3 chemnitzer fachtagung 13 14 oktober 1997 chemnitz
title_sub	Mikromechanik & Mikroelektronik, [3. Chemnitzer Fachtagung] 13. - 14. Oktober 1997, Chemnitz
topic	Mikroelektronik (DE-588)4039207-7 gnd Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd
topic_facet	Mikroelektronik Mikrosystemtechnik Konferenzschrift 1997 Chemnitz
url	http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=017413761&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA
work_keys_str_mv	AT dotzelwolfram mikrosystemtechnikchemnitz97mikromechanikmikroelektronik3chemnitzerfachtagung1314oktober1997chemnitz AT technischeuniversitatchemnitz mikrosystemtechnikchemnitz97mikromechanikmikroelektronik3chemnitzerfachtagung1314oktober1997chemnitz AT chemnitzerfachtagungmikromechanikmikroelektronikchemnitz mikrosystemtechnikchemnitz97mikromechanikmikroelektronik3chemnitzerfachtagung1314oktober1997chemnitz

Holdings

There is no print copy available.

Interlibrary loan Place Request Caution: Not in THWS collection! Indexes

MARC

Record in the Search Index

There is no print copy available.

Similar Items