Mikrosystemtechnik Chemnitz '97: Mikromechanik & Mikroelektronik, [3. Chemnitzer Fachtagung] 13. - 14. Oktober 1997, Chemnitz
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Chemnitz
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III I I I III IL I SYSTEM MIKROMECHANIK & MIKROELEKTRONIK 13.-14.
OKTOBER 1997 CHEMNITZ UB/TIB HANNOVER 89 117 227 65X INHALTSVERZEICHNIS
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MIKROMECHANISCHER NEIGUNGSSENSOR MIT MINIMALEM PLATZBEDARF 1 ZIELKE, D.
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HOCHTEMPERATURSTABILE METALLISIERUNGSSYSTEME FUR BRENNRAUMSENSOREN 83
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CHEMNITZ, FAKULTAT FUR ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK, ZENTRUM
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INFORMATIONSTECHNIK, ZENTRUM FIIR MIKROTECHNOLOGIEN; INSTITUT FIIR
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REKONSTRUKTIONSGIITE BOCHE, H.; FISCHER, J.; SCHREIBER, H.
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ERFURT P8 ENTWICKLUNGSTENDENZEN VON SILIZIUM-BASIERTEN
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EIGENSCHAFTEN VON ROTEN BLUTZELLEN KLEINSTEUBER, C; KUCHLER, M.; WERNER,
T.; TRACEY, M.; DOTZEL, W. TU CHEMNITZ, FAKULTAT FIIR ELEKTROTECHNIK UND
INFORMATIONSTECHNIK, LEHRSTUHL MIKROSYSTEM- UND GERATETECHNIK,
UNIVERSITY OF HERTFORDSHIRE
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