Mikrostrukturierung von Glas mittels Excimerlaserstrahlung für die Mikroreaktionstechnologie:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2001
|
| Schriftenreihe: | Berichte aus der Lasertechnik
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2001. - Enth. Zsfassung in engl. und dt. Sprache |
| Beschreibung: | II, 155 S. Ill., graph. Darst. |
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1
1.1
M
IKROREAKTIONSTECHNOLOGIE
-
A
NWENDUNGSPOTENTIAL
UND
U
MFELD
.
1
1.2
M
OTIVATION
UND
Z
IELSETZUNG
.
5
2
GRUNDLAGEN
9
2.1
G
LASZUSTAND
.
9
2.2
W
ERKSTOFF
G
LAS
.
11
2.2.1
STRUKTUR
.
11
2.2.2
KLASSIFIZIERUNG
.
12
2.2.3
GLASHERSTELLUNG
.
12
2.2.4
OPTISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
14
2.2.5
THERMOPHYSIKALISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
19
2.2.6
MECHANISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
19
2.2.7
CHEMISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
20
2.2.8
ELEKTRISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
21
2.3
M
IKROREAKTIONSSYSTEME
MIT
G
LASSUBSTRATEN
.
21
2.3.1
DNA-CHIP
.
21
2.3.2
NANO
UND
MIKROTITERPLATTEN
.
22
2.4
V
ERFAHREN
ZUR
M
IKROSTRUKTURIERUNG
UND
ZUM
B
OHREN
.
23
2.4.1
CHEMISCHE
VERFAHREN
.
23
2.4.2
SPANENDE
VERFAHREN
.
25
2.4.3
VERFAHREN
MIT
LASERSTRAHLUNG
.
26
2.5
V
ERFAHREN
ZUR
N
ACHBEARBEITUNG
.
28
2.5.1
SCHLEIFEN
.
28
2.5.2
POLIEREN
.
29
2.6
V
ERFAHREN
ZUM
F
UGEN
.
29
3
PROZESSANALYSE
DER
MIKROSTRUKTURIERUNG
31
3.1
B
EARBEITUNGSSYSTEM
.
31
3.1.1
LASERSTRAHLQUELLE
.
31
3.1.2
LASERSTRAHLFUEHRUNG
UND
-FORMUNG
.
32
3.1.3
VAKUUMSYSTEM
.
33
3.1.4
SUBSTRATMANIPULATION
.
34
3.2
MESSVERFAHREN
.
35
3.3
G
LASWERKSTOFFE
.
36
3.4
A
BSORPTION
.
37
3.5
P
ROZESSE
AUF
DER
S
UBSTRATVORDERSEITE
.
40
II
I
NHALTSVERZEICHNIS
3.5.1
INKUBATIONSEFFEKTE
.
40
3.5.2
MATERIALABTRAG
.
40
3.5.3
ABTRAGSSCHWELLEN
UND
ABTRAGSRATEN
.
44
3.6
P
ROZESSE
AUF
DER
S
UBSTRATRUCKSEITE
.
50
3.6.1
MATERIALABTRAG
.
50
3.6.2
ABTRAGSRATEN
.
52
3.7
R
ISSE
UND
B
RUECHE
.
54
3.7.1
ENTSTEHUNG
.
54
3.7.2
THERMISCH
INDUZIERTE
SPANNUNGEN
.
56
3.7.3
MECHANISCH
INDUZIERTE
SPANNUNGEN
.
61
3.8
PROZESSGASATMOSPHAEREN
.
64
3.8.1
DEBRIS
BEI
HELIUM
ALS
PROZESSGAS.
64
3.8.2
KOMBINATION
VON
FLUOR
UND
HELIUM
.
67
3.9
N
ACHBEARBEITUNG
MIT
U
LTRASCHALLREINIGEN
.
77
3.10ZUSAMMENFASSUNG
DER
PROZESSANALYSE
.
81
4
MIKROSTRUKTUREN
FUER
MIKROREAKTIONSSYSTEME
83
4.1
D
IMENSIONEN
UND
G
EOMETRIEN
.
83
4.2
O
BERFLAECHENBESCHAFFENHEIT
.
87
4.3
F
UNKTIONALE
E
IGENSCHAFTEN
.
91
4.3.1
TRANSMISSION.
91
4.3.2
STROEMUNG
.
93
5
FUEGEN
VON
MIKROSTRUKTURIERTEM
GLAS
97
5.1
E
NTSTEHUNG
DER
F
UEGEVERBINDUNG
.
97
5.2
F
UNKTIONALE
E
IGENSCHAFTEN
.
99
5.2.1
DICHTHEIT
.
99
5.2.2
STROEMUNG
.
100
6
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
105
6.1
Z
USAMMENFASSUNG
.
105
6.2
A
USBLICK
.
106
7
ANHANG
109
ABBILDUNGSVERZEICHNIS
127
TABELLENVERZEICHNIS
133
FORMELZEICHENVERZEICHNIS
135
ABKUERZUNGSVERZEICHNIS
137
LITERATURVERZEICHNIS
139 |
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