Mikrostrukturierung von Glas mittels Excimerlaserstrahlung für die Mikroreaktionstechnologie:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | German |
| Published: |
Aachen
Shaker
2001
|
| Series: | Berichte aus der Lasertechnik
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Item Description: | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2001. - Enth. Zsfassung in engl. und dt. Sprache |
| Physical Description: | II, 155 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3826593561 |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a22000008c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV013915776 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20021216 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 010911s2001 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 962319317 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 3826593561 |9 3-8265-9356-1 | ||
| 035 | |a (OCoLC)50523984 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV013915776 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-703 |a DE-91G |a DE-29T | ||
| 100 | 1 | |a Jacquorie, Michael |d 1969- |e Verfasser |0 (DE-588)123325595 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Mikrostrukturierung von Glas mittels Excimerlaserstrahlung für die Mikroreaktionstechnologie |c Michael Jacquorie |
| 264 | 1 | |a Aachen |b Shaker |c 2001 | |
| 300 | |a II, 155 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 0 | |a Berichte aus der Lasertechnik | |
| 500 | |a Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2001. - Enth. Zsfassung in engl. und dt. Sprache | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Chemischer Reaktor |0 (DE-588)4121085-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Mikrosystemtechnik |0 (DE-588)4221617-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Laserbearbeitung |0 (DE-588)4139080-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Excimerlaser |0 (DE-588)4153300-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Glas |0 (DE-588)4021142-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Glas |0 (DE-588)4021142-3 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Laserbearbeitung |0 (DE-588)4139080-5 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Excimerlaser |0 (DE-588)4153300-8 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Mikrosystemtechnik |0 (DE-588)4221617-5 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Chemischer Reaktor |0 (DE-588)4121085-2 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009521484&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009521484 | |
Record in the Search Index
| _version_ | 1808227442660212736 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1
1.1
M
IKROREAKTIONSTECHNOLOGIE
-
A
NWENDUNGSPOTENTIAL
UND
U
MFELD
.
1
1.2
M
OTIVATION
UND
Z
IELSETZUNG
.
5
2
GRUNDLAGEN
9
2.1
G
LASZUSTAND
.
9
2.2
W
ERKSTOFF
G
LAS
.
11
2.2.1
STRUKTUR
.
11
2.2.2
KLASSIFIZIERUNG
.
12
2.2.3
GLASHERSTELLUNG
.
12
2.2.4
OPTISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
14
2.2.5
THERMOPHYSIKALISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
19
2.2.6
MECHANISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
19
2.2.7
CHEMISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
20
2.2.8
ELEKTRISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
21
2.3
M
IKROREAKTIONSSYSTEME
MIT
G
LASSUBSTRATEN
.
21
2.3.1
DNA-CHIP
.
21
2.3.2
NANO
UND
MIKROTITERPLATTEN
.
22
2.4
V
ERFAHREN
ZUR
M
IKROSTRUKTURIERUNG
UND
ZUM
B
OHREN
.
23
2.4.1
CHEMISCHE
VERFAHREN
.
23
2.4.2
SPANENDE
VERFAHREN
.
25
2.4.3
VERFAHREN
MIT
LASERSTRAHLUNG
.
26
2.5
V
ERFAHREN
ZUR
N
ACHBEARBEITUNG
.
28
2.5.1
SCHLEIFEN
.
28
2.5.2
POLIEREN
.
29
2.6
V
ERFAHREN
ZUM
F
UGEN
.
29
3
PROZESSANALYSE
DER
MIKROSTRUKTURIERUNG
31
3.1
B
EARBEITUNGSSYSTEM
.
31
3.1.1
LASERSTRAHLQUELLE
.
31
3.1.2
LASERSTRAHLFUEHRUNG
UND
-FORMUNG
.
32
3.1.3
VAKUUMSYSTEM
.
33
3.1.4
SUBSTRATMANIPULATION
.
34
3.2
MESSVERFAHREN
.
35
3.3
G
LASWERKSTOFFE
.
36
3.4
A
BSORPTION
.
37
3.5
P
ROZESSE
AUF
DER
S
UBSTRATVORDERSEITE
.
40
II
I
NHALTSVERZEICHNIS
3.5.1
INKUBATIONSEFFEKTE
.
40
3.5.2
MATERIALABTRAG
.
40
3.5.3
ABTRAGSSCHWELLEN
UND
ABTRAGSRATEN
.
44
3.6
P
ROZESSE
AUF
DER
S
UBSTRATRUCKSEITE
.
50
3.6.1
MATERIALABTRAG
.
50
3.6.2
ABTRAGSRATEN
.
52
3.7
R
ISSE
UND
B
RUECHE
.
54
3.7.1
ENTSTEHUNG
.
54
3.7.2
THERMISCH
INDUZIERTE
SPANNUNGEN
.
56
3.7.3
MECHANISCH
INDUZIERTE
SPANNUNGEN
.
61
3.8
PROZESSGASATMOSPHAEREN
.
64
3.8.1
DEBRIS
BEI
HELIUM
ALS
PROZESSGAS.
64
3.8.2
KOMBINATION
VON
FLUOR
UND
HELIUM
.
67
3.9
N
ACHBEARBEITUNG
MIT
U
LTRASCHALLREINIGEN
.
77
3.10ZUSAMMENFASSUNG
DER
PROZESSANALYSE
.
81
4
MIKROSTRUKTUREN
FUER
MIKROREAKTIONSSYSTEME
83
4.1
D
IMENSIONEN
UND
G
EOMETRIEN
.
83
4.2
O
BERFLAECHENBESCHAFFENHEIT
.
87
4.3
F
UNKTIONALE
E
IGENSCHAFTEN
.
91
4.3.1
TRANSMISSION.
91
4.3.2
STROEMUNG
.
93
5
FUEGEN
VON
MIKROSTRUKTURIERTEM
GLAS
97
5.1
E
NTSTEHUNG
DER
F
UEGEVERBINDUNG
.
97
5.2
F
UNKTIONALE
E
IGENSCHAFTEN
.
99
5.2.1
DICHTHEIT
.
99
5.2.2
STROEMUNG
.
100
6
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
105
6.1
Z
USAMMENFASSUNG
.
105
6.2
A
USBLICK
.
106
7
ANHANG
109
ABBILDUNGSVERZEICHNIS
127
TABELLENVERZEICHNIS
133
FORMELZEICHENVERZEICHNIS
135
ABKUERZUNGSVERZEICHNIS
137
LITERATURVERZEICHNIS
139 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Jacquorie, Michael 1969- |
| author_GND | (DE-588)123325595 |
| author_facet | Jacquorie, Michael 1969- |
| author_role | aut |
| author_sort | Jacquorie, Michael 1969- |
| author_variant | m j mj |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV013915776 |
| ctrlnum | (OCoLC)50523984 (DE-599)BVBBV013915776 |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a22000008c 4500</leader><controlfield tag="001">BV013915776</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20021216</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">010911s2001 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">962319317</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3826593561</subfield><subfield code="9">3-8265-9356-1</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)50523984</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV013915776</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-703</subfield><subfield code="a">DE-91G</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Jacquorie, Michael</subfield><subfield code="d">1969-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)123325595</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Mikrostrukturierung von Glas mittels Excimerlaserstrahlung für die Mikroreaktionstechnologie</subfield><subfield code="c">Michael Jacquorie</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Aachen</subfield><subfield code="b">Shaker</subfield><subfield code="c">2001</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">II, 155 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">Berichte aus der Lasertechnik</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2001. - Enth. Zsfassung in engl. und dt. Sprache</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Chemischer Reaktor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4121085-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4221617-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Laserbearbeitung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4139080-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Excimerlaser</subfield><subfield code="0">(DE-588)4153300-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Glas</subfield><subfield code="0">(DE-588)4021142-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Glas</subfield><subfield code="0">(DE-588)4021142-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Laserbearbeitung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4139080-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Excimerlaser</subfield><subfield code="0">(DE-588)4153300-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4221617-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Chemischer Reaktor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4121085-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009521484&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009521484</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV013915776 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-24T00:41:08Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3826593561 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-009521484 |
| oclc_num | 50523984 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-703 DE-91G DE-BY-TUM DE-29T |
| owner_facet | DE-703 DE-91G DE-BY-TUM DE-29T |
| physical | II, 155 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 2001 |
| publishDateSearch | 2001 |
| publishDateSort | 2001 |
| publisher | Shaker |
| record_format | marc |
| series2 | Berichte aus der Lasertechnik |
| spelling | Jacquorie, Michael 1969- Verfasser (DE-588)123325595 aut Mikrostrukturierung von Glas mittels Excimerlaserstrahlung für die Mikroreaktionstechnologie Michael Jacquorie Aachen Shaker 2001 II, 155 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Berichte aus der Lasertechnik Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2001. - Enth. Zsfassung in engl. und dt. Sprache Chemischer Reaktor (DE-588)4121085-2 gnd rswk-swf Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd rswk-swf Laserbearbeitung (DE-588)4139080-5 gnd rswk-swf Excimerlaser (DE-588)4153300-8 gnd rswk-swf Glas (DE-588)4021142-3 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Glas (DE-588)4021142-3 s Laserbearbeitung (DE-588)4139080-5 s Excimerlaser (DE-588)4153300-8 s Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 s Chemischer Reaktor (DE-588)4121085-2 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009521484&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Jacquorie, Michael 1969- Mikrostrukturierung von Glas mittels Excimerlaserstrahlung für die Mikroreaktionstechnologie Chemischer Reaktor (DE-588)4121085-2 gnd Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd Laserbearbeitung (DE-588)4139080-5 gnd Excimerlaser (DE-588)4153300-8 gnd Glas (DE-588)4021142-3 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4121085-2 (DE-588)4221617-5 (DE-588)4139080-5 (DE-588)4153300-8 (DE-588)4021142-3 (DE-588)4113937-9 |
| title | Mikrostrukturierung von Glas mittels Excimerlaserstrahlung für die Mikroreaktionstechnologie |
| title_auth | Mikrostrukturierung von Glas mittels Excimerlaserstrahlung für die Mikroreaktionstechnologie |
| title_exact_search | Mikrostrukturierung von Glas mittels Excimerlaserstrahlung für die Mikroreaktionstechnologie |
| title_full | Mikrostrukturierung von Glas mittels Excimerlaserstrahlung für die Mikroreaktionstechnologie Michael Jacquorie |
| title_fullStr | Mikrostrukturierung von Glas mittels Excimerlaserstrahlung für die Mikroreaktionstechnologie Michael Jacquorie |
| title_full_unstemmed | Mikrostrukturierung von Glas mittels Excimerlaserstrahlung für die Mikroreaktionstechnologie Michael Jacquorie |
| title_short | Mikrostrukturierung von Glas mittels Excimerlaserstrahlung für die Mikroreaktionstechnologie |
| title_sort | mikrostrukturierung von glas mittels excimerlaserstrahlung fur die mikroreaktionstechnologie |
| topic | Chemischer Reaktor (DE-588)4121085-2 gnd Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd Laserbearbeitung (DE-588)4139080-5 gnd Excimerlaser (DE-588)4153300-8 gnd Glas (DE-588)4021142-3 gnd |
| topic_facet | Chemischer Reaktor Mikrosystemtechnik Laserbearbeitung Excimerlaser Glas Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=009521484&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT jacquoriemichael mikrostrukturierungvonglasmittelsexcimerlaserstrahlungfurdiemikroreaktionstechnologie |