Röntgenreflektometrie und Ionenstrahlmischen an ohmschen Kontakten auf GaAs:
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1995
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INHALT
1.
EINLEITUNG
1
2.
ROENTGENMETHODEN
5
2.1.
DER
BRECHUNGSINDEX
FUER
ROENTGENSTRAHLEN
6
2.2.
BRECHUNG
UND
REFLEXION
VON
ROENTGENSTRAHLEN
8
2.3.
DER
BRECHUNGSWINKEL
13
2.4.
REFLEXION
AN
SCHICHTPAKETEN
20
2.5.
EINFLUSS
DER
GRENZFLAECHENRAUHIGKEIT
AUF
DIE
REFLEKTIVITAET
25
2.6.
SIMULATION
VON
REFLEKTOGRAMMEN
27
2.7.
SIMULATIONS
UND
FITPROGRAMM
31
2.8.
DIE
EINDRINGTIEFE
VON
ROENTGENSTRAHLEN
33
2.9.
ROENTGENDIFLRAKTOMETRIE
UNTER
STREIFENDEM
EINFALL
37
3.
AUFBAU
DES
ROENTGENDIFFRAKTOMETERS
44
3.1.
DAS
GONIOMETER
47
3.2.
DER DETEKTOR
49
3.3.
FILTER
3.4.
RECHNERSCHNITTSTELLE
54
3.5.
MOTORSTEUERUNG
59
3.6.
SCHALTUNGSBESCHREIBUNG
60
3.7.
BERECHNUNG
UND
SPEICHERUNG
DER
WINKELPOSITION
64
4.
OHMSCHE
KONTAKTE
AUF
GAAS
68
4.1.
HOCHTEMPERATURSTABILE
KONTAKTE
73
4.2.
DIE
TRANSMISSION
LINE
METHODE
73
4.3.
PRAEPARATION
DER
KONTAKTE
78
4.4.
LAB
6
DIFIUSIONSBARRIERE
80
4.4.1.
TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE
81
4.4.2.
ROENTGENREFLEKTOMETRIE
83
4.4.3.
ROENTGENDIFLRAKTOMETRIE
UNTER
STREIFENDEM
EINFALL
87
4.4.4.
ZUSAMMENFASSUNG
93
4.5.
DER
PD/IN-KONTAKT
94
4.5.1.
TRANSMISSIONS-ELEKTRONENMIKROSKOPIE
96
4.5.2.
ROENTGENREFLEKTOMETRIE
99
4.5.3.
ROENTGENDIFLRAKTOMETRIE
100
4.5.4.
EPITAKTISCHE
INJJA,
*AS-SCHICHT
103
4.5.5.
ZUSAMMENFASSUNG
103
INHALT
5.
LONENBESCHUSS
VON
FESTKOERPERN
106
5.1.
LONENSTRAHLMISCHEN
110
5.2.
DER
IMPLANTATIONSBESCHLEUNIGER
111
6.
BESTRAHLUNGSEXPERIMENTE
AN
LEGIERTEN
KONTAKTEN
112
7.
BESTRAHLUNGSEXPERIMENTE
AN
PD/IN-METALLISIERUNGEN
116
7.1.
MESSERGEBNISSE
116
7.2.
ZUSAMMENFASSUNG
122
8.
DAS
IBAD-VERFAHREN
124
8.1.
HERSTELLUNG
EINER
PD/IN-SCHICHT
127
8.2.
CHARAKTERISIERUNG
DER
SCHICHT
127
8.3.
ZUSAMMENFASSUNG
DER
ERGEBNISSE
130
9.
LITERATURVERZEICHNIS
136 |
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