Entwicklung eines subtraktiven Strukturierungsverfahrens zur Herstellung von Röntgenzwischenmasken für das LIGA-Verfahren:
Saved in:
| Format: | Book |
|---|---|
| Language: | German |
| Published: |
Karlsruhe
Kernforschungszentrum
1993
|
| Edition: | Als Ms. gedr. |
| Series: | Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK
5262 |
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Item Description: | Teilw. zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. von K. Kadel, 1993 - Zsfassung in engl. Sprache |
| Physical Description: | 94 S. Ill., graph. Darst. |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV009253766 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19990922 | ||
| 007 | t| | ||
| 008 | 940314s1993 gw ad|| tm|| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 940518694 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)75399542 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV009253766 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-12 |a DE-91 | ||
| 084 | |a FER 792d |2 stub | ||
| 084 | |a NUC 981d |2 stub | ||
| 088 | |a KfK 5262 | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Entwicklung eines subtraktiven Strukturierungsverfahrens zur Herstellung von Röntgenzwischenmasken für das LIGA-Verfahren |c Kernforschungszentrum Karlsruhe, Institut für Mikrostrukturtechnik ; Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH, Karlsruhe. K. Kadel ... |
| 246 | 1 | 3 | |a KfK 5262 |
| 250 | |a Als Ms. gedr. | ||
| 264 | 1 | |a Karlsruhe |b Kernforschungszentrum |c 1993 | |
| 300 | |a 94 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK |v 5262 | |
| 500 | |a Teilw. zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. von K. Kadel, 1993 - Zsfassung in engl. Sprache | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Maske |g Halbleitertechnologie |0 (DE-588)4282533-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a LIGA-Verfahren |0 (DE-588)4274347-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a LIGA-Verfahren |0 (DE-588)4274347-3 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Maske |g Halbleitertechnologie |0 (DE-588)4282533-7 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 700 | 1 | |a Kadel, Klaus |e Sonstige |4 oth | |
| 710 | 2 | |a Institut für Mikrostrukturtechnik |e Sonstige |0 (DE-588)2105949-4 |4 oth | |
| 830 | 0 | |a Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK |v 5262 |w (DE-604)BV000904814 |9 5262 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006158321&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006158321 | |
Record in the Search Index
| _version_ | 1816443109081350144 |
|---|---|
| adam_text |
LISTE
DER
VERWENDETEN
SYMBOLE
.
1
1
EINLEITUNG
.
3
2
GRUNDLAGEN
.
8
2.1
ANFORDERUNGEN
AN
LIGA-ROENTGENMASKEN
.
8
2.2
STAND
DER
TECHNIK
ZUR
HERSTELLUNG
VON
ROENTGENZWISCHENMASKEN
.
10
2.2.1
AUFBAU
DER
ROENTGENMASKEN
.
1
O
2.2.2
HERSTELLUNG
DER
TRAEGERFOLIE
.
11
2.2.3
ABSORBERSTRUKTURIERUNG
DURCH
ADDITIVEN
PROZESS
.
12
2.2.4
GRENZEN
ADDITIVER
ABSORBERSTRUKTURIERUNG
.
12
2.3
SUBTRAKTIVER
PROZESS
.
13
2.3.1
AUSWAHL
DES
ABSORBERMATERIALS
FUER
DEN
SUBTRAKTIVEN
PROZESS.
14
2.3.2
AUSWAHL
DER
MASKIERUNGSSCHICHT
.
17
2.3.3
STRUKTURIERUNG
DER
MASKIERUNGSSCHICHT
.
18
2.3.4
UEBERSICHT
UEBER
DIE
MASKENHERSTELLUNG
MIT
DEM
SUBTRAKTIVEN
VERFAHREN
.
20
3
VERSUCHSDURCHFUEHRUNG
.
22
3.1
SCHICHTAUFBAU
.
22
3.1.1
BESCHREIBUNG
DER
SPUTTERANLAGE
.
22
3.1.2
MESSUNG
DER
INNEREN
SPANNUNGEN
.
24
3.1.2.1
DURCHFUEHRUNG
DER
MESSUNGEN
.
25
3.1.2.2
MESSBEREICH
.
26
3.1.2.3
REPRODUZIERBARKEIT
DER
MESSUNG
.
26
3.1.2.4
EINFLUSS
DER
MESSTEMPERATUR
.
26
3.1.3
MESSUNG
DER
SCHICHTDICKEN
.
27
3.1.3.1
TASTSCHNITTGERAET
.
27
3.1.3.2
ROENTGENFLUORESZENZ
.
28
3.2
STRUKTURIERUNG
DER
SCHICHTEN
.
29
3.2.1
BESCHREIBUNG
DER
RIE-ANLAGE
.
29
3.2.2
KONDITIONIERUNG
DER
ANLAGE
.
29
3.3
MESSEN
DER
VERZUEGE
.
30
4
EXPERIMENTELLER
TEIL
.
32
4.1
HERSTELLUNG
DER
ABSORBERSCHICHT
.
32
4.1.1
THEORETISCHE
BETRACHTUNG
DER
BEEINFLUSSUNG
DES
GEFUEGES
DER
WOLFRAMSCHICHTEN
DURCH
DIE
BETRIEBSPARAMETER
.
33
4.1.1.1
SUBSTRATTEMPERATUR
.
33
4.1.1.2
SPUTTERDRUCK
.
34
4.1.1.3
BIASSPANNUNG
.
35
4.1.1.4
SPUTTERLEISTUNG
.
35
4.1.1.5
MAGNETFELD
.
36
4.1.1.6
SUBSTRATOBERFLAECHE
.
36
4.1.1.7
BESCHICHTUNGSRATE
.
36
4.1.2
AUFBAU
DER
ABSORBERSCHICHT
DURCH
STATISCHE
BESCHICHTUNG
.
37
4.1.2.1
SCHICHTDICKENGLEICHMAESSIGKEIT
.
38
4.1.2.2
PARAMETERVARIATION ZUR
EINSTELLUNG
DER
INNEREN
SPANNUNGEN
.
39
4.1.2.2.1
EINFLUSS
DER
SCHICHTDICKE
.
39
4.1.2.2.2
EINFLUSS
DES
SPUTTERDRUCKES
.
41
4.1.2.2.3
EINFLUSS
DER
BIASSPANNUNG
.
41
4.1.2.2.4
EINFLUSS
DER
SPUTTERLEISTUNG
.
42
4.1.2.2.5
EINFLUSS
DES
MAGNETABSTANDES
.
43
4.1.2.2.6
EINFLUSS
DER
BESCHICHTUNGSTEMPERATUR
.
43
4.1.2.2.7
EINFLUSS
DER
SCHICHTDICKENVERTEILUNG
.
44
4.1.2.3
DISKUSSION
DER
BEI
STATISCHER
BESCHICHTUNG
ERHALTENEN
INNEREN
SPANNUNGEN
.
44
4.1.3
AUFBAU
DER
ABSORBERSCHICHT
DURCH
DYNAMISCHE
BESCHICHTUNG
.
45
4.1.3.1
SCHICHTDICKENGLEICHMAESSIGKEIT
.
46
4.1.3.2
PARAMETERVARIATION
ZUR
EINSTELLUNG
DER
INNEREN
SPANNUNGEN
BEI
DER
BESCHICHTUNG
VON
SILIZIUMWAFERN
.
46
4.1.3.2.1
EINFLUSS
DER
BIASSPANNUNG
.
46
4.1.3.2.2
EINFLUSS
DES
MAGNETABSTANDES
.
47
4.1.3.2.3
EINFLUSS
DES
SPUTTERDRUCKES
.
47
4.1.3.3
PARAMETERVARIATION
ZUR
EINSTELLUNG
DER
INNEREN
SPANNUNGEN
AUF
ABHEBEWAFERN
.
49
4.1.3.3.1
EINFLUSS
DES
MAGNETABSTANDES
.
49
4.1.3.3.2
EINFLUSS
DES
SPUTTERDRUCKES
.
49
4.1.3.4
DISKUSSION
DER
BEI
DYNAMISCHER
BESCHICHTUNG
ERHALTENEN
INNEREN
SPANNUNGEN
.
50
4.1.4
AUFBAU
DER
ABSORBERSCHICHT
DURCH
QUASISTATISCHE
BESCHICHTUNG
.
50
4.1.4.1
SCHICHTDICKENGLEICHMAESSIGKEIT
.
51
4.1.4.2
PARAMETERVARIATION
ZUR
EINSTELLUNG
DER
INNEREN
SPANNUNGEN
BEI
DER
BESCHICHTUNG
VON
SILIZIUMWAFERN
.
51
4.1.4.2.1
EINFLUSS
DER
ROTATION
.
51
4.1.4.2.2
EINFLUSS
DES
SPUTTERDRUCKES
.
52
4.1.4.3
PARAMETERVARIATION
ZUR
EINSTELLUNG
DER
INNEREN
SPANNUNGEN
BEI
DER
BESCHICHTUNG
VON
ABHEBEWAFERN
.
53
4.1.4.3.1
EINFLUSS
DES
SPUTTERDRUCKES
.
53
4.1.4.3.2
EINFLUSS
DER
SPUTTERLEISTUNG
.
53
4.1.4.4
DISKUSSION
DER
BEI
QUASISTATISCHER
BESCHICHTUNG
ERHALTENEN
INNEREN
SPANNUNGEN
.
54
4.1.4.5
HOMOGENITAET
DER
INNEREN
SPANNUNGEN
BEI
DER
QUASISTATISCHEN
BESCHICHTUNG
.
55
4.1.5
VERGLEICH
DER
VERSCHIEDENEN
BESCHICHTUNGSARTEN
.
56
4.1.6
EIGENSCHAFTEN
DER
AUFGESPUTTERTEN
WOLFRAMSCHICHTEN
.
57
4.1.6.1
STANDZEITVERHALTEN
DER
AUFGESPUTTERTEN
SCHICHTEN
.
59
4.1.6.2
TEMPERATURBESTAENDIGKEIT
.
59
4.1.6.3
DICHTE
.
61
4.1.6.4
ARGONGEHALT
.
'
.
61
4.2
HERSTELLUNG
DER
MASKIERUNGSSCHICHT
.
62
4.3
STRUKTURIERUNG
DER
RESISTSTRUKTUR
.
62
4.3.1
ELEKTRONENSTRAHLLITHOGRAPHIE
.
63
4.3.2
OPTISCHE
LITHOGRAPHIE
.
63
4.4
STRUKTURIERUNG
DER
MASKIERUNGSSCHICHT
.
63
4.5
STRUKTURIERUNG
DER
ABSORBERSCHICHT
.
65
4.5.2
ERGEBNISSE
DER
STRUKTURIERUNG
MIT
CF4
.
68
4.5.2.1
EINFLUSS
DER
GENERATORLEISTUNG
.
69
4.5.2.2
EINFLUSS
DES
DRUCKS
.
69
4.5.2.3
EINFLUSS
DES
GASFLUSSES
.
70
4.5.2.4
EINFLUSS
DES
ELEKTRODENMATERIALS
.
71
4.5.2.5
OPTIMALER
ARBEITSPUNKT
FUER
CF4
.
71
4.5.3
VERWENDUNG
VON
SF6
ALS
AETZGAS
.
71
4.5.3.1
EINFLUSS
DER
GENERATORLEISTUNG
.
71
4.5.3.2
EINFLUSS
DES
DRUCKES
.
72
4.5.3.3
EINFLUSS
DES
GASFLUSSES
.
73
4.5.3.4
EINFLUSS
DES
ELEKTRODENMATERIALS
.
73
4.5.3.5
OPTIMALER
ARBEITSPUNKT
FUER
SF6
.
73
4.5.4
AETZSTOPP
AUF
DER
TITANMEMBRAN
.
74
4.5.5
ZUSAMMENFASSUNG
DER
ERGEBNISSE
BEI
DER
STRUKTURIERUNG
DER
ABSORBERSCHICHT
MIT
CF4
UND
SFSS
.
76
4.6
EIGENSCHAFTEN
DER
SUBTRAKTIV
HERGESTELLTEN
ROENTGENMASKEN
.
78
VERZUEGE
.
79
5
AUSBLICK
.
83
6
ZUSAMMENFASSUNG
UND
DISKUSSION
.
85
7
LITERATURVERZEICHNIS
.
88 |
| any_adam_object | 1 |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV009253766 |
| classification_tum | FER 792d NUC 981d |
| ctrlnum | (OCoLC)75399542 (DE-599)BVBBV009253766 |
| discipline | Energietechnik, Energiewirtschaft Fertigungstechnik |
| edition | Als Ms. gedr. |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV009253766</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19990922</controlfield><controlfield tag="007">t|</controlfield><controlfield tag="008">940314s1993 gw ad|| tm|| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">940518694</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)75399542</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV009253766</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-91</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">FER 792d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">NUC 981d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="088" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">KfK 5262</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Entwicklung eines subtraktiven Strukturierungsverfahrens zur Herstellung von Röntgenzwischenmasken für das LIGA-Verfahren</subfield><subfield code="c">Kernforschungszentrum Karlsruhe, Institut für Mikrostrukturtechnik ; Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH, Karlsruhe. K. Kadel ...</subfield></datafield><datafield tag="246" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">KfK 5262</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Als Ms. gedr.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Karlsruhe</subfield><subfield code="b">Kernforschungszentrum</subfield><subfield code="c">1993</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">94 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK</subfield><subfield code="v">5262</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Teilw. zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. von K. Kadel, 1993 - Zsfassung in engl. Sprache</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Maske</subfield><subfield code="g">Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4282533-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">LIGA-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4274347-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">LIGA-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4274347-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Maske</subfield><subfield code="g">Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4282533-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Kadel, Klaus</subfield><subfield code="e">Sonstige</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="710" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">Institut für Mikrostrukturtechnik</subfield><subfield code="e">Sonstige</subfield><subfield code="0">(DE-588)2105949-4</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK</subfield><subfield code="v">5262</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV000904814</subfield><subfield code="9">5262</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006158321&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006158321</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV009253766 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-11-22T17:05:39Z |
| institution | BVB |
| institution_GND | (DE-588)2105949-4 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006158321 |
| oclc_num | 75399542 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-12 DE-91 DE-BY-TUM |
| owner_facet | DE-12 DE-91 DE-BY-TUM |
| physical | 94 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1993 |
| publishDateSearch | 1993 |
| publishDateSort | 1993 |
| publisher | Kernforschungszentrum |
| record_format | marc |
| series | Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK |
| series2 | Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK |
| spelling | Entwicklung eines subtraktiven Strukturierungsverfahrens zur Herstellung von Röntgenzwischenmasken für das LIGA-Verfahren Kernforschungszentrum Karlsruhe, Institut für Mikrostrukturtechnik ; Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH, Karlsruhe. K. Kadel ... KfK 5262 Als Ms. gedr. Karlsruhe Kernforschungszentrum 1993 94 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK 5262 Teilw. zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. von K. Kadel, 1993 - Zsfassung in engl. Sprache Maske Halbleitertechnologie (DE-588)4282533-7 gnd rswk-swf LIGA-Verfahren (DE-588)4274347-3 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content LIGA-Verfahren (DE-588)4274347-3 s Maske Halbleitertechnologie (DE-588)4282533-7 s DE-604 Kadel, Klaus Sonstige oth Institut für Mikrostrukturtechnik Sonstige (DE-588)2105949-4 oth Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK 5262 (DE-604)BV000904814 5262 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006158321&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Entwicklung eines subtraktiven Strukturierungsverfahrens zur Herstellung von Röntgenzwischenmasken für das LIGA-Verfahren Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK Maske Halbleitertechnologie (DE-588)4282533-7 gnd LIGA-Verfahren (DE-588)4274347-3 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4282533-7 (DE-588)4274347-3 (DE-588)4113937-9 |
| title | Entwicklung eines subtraktiven Strukturierungsverfahrens zur Herstellung von Röntgenzwischenmasken für das LIGA-Verfahren |
| title_alt | KfK 5262 |
| title_auth | Entwicklung eines subtraktiven Strukturierungsverfahrens zur Herstellung von Röntgenzwischenmasken für das LIGA-Verfahren |
| title_exact_search | Entwicklung eines subtraktiven Strukturierungsverfahrens zur Herstellung von Röntgenzwischenmasken für das LIGA-Verfahren |
| title_full | Entwicklung eines subtraktiven Strukturierungsverfahrens zur Herstellung von Röntgenzwischenmasken für das LIGA-Verfahren Kernforschungszentrum Karlsruhe, Institut für Mikrostrukturtechnik ; Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH, Karlsruhe. K. Kadel ... |
| title_fullStr | Entwicklung eines subtraktiven Strukturierungsverfahrens zur Herstellung von Röntgenzwischenmasken für das LIGA-Verfahren Kernforschungszentrum Karlsruhe, Institut für Mikrostrukturtechnik ; Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH, Karlsruhe. K. Kadel ... |
| title_full_unstemmed | Entwicklung eines subtraktiven Strukturierungsverfahrens zur Herstellung von Röntgenzwischenmasken für das LIGA-Verfahren Kernforschungszentrum Karlsruhe, Institut für Mikrostrukturtechnik ; Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH, Karlsruhe. K. Kadel ... |
| title_short | Entwicklung eines subtraktiven Strukturierungsverfahrens zur Herstellung von Röntgenzwischenmasken für das LIGA-Verfahren |
| title_sort | entwicklung eines subtraktiven strukturierungsverfahrens zur herstellung von rontgenzwischenmasken fur das liga verfahren |
| topic | Maske Halbleitertechnologie (DE-588)4282533-7 gnd LIGA-Verfahren (DE-588)4274347-3 gnd |
| topic_facet | Maske Halbleitertechnologie LIGA-Verfahren Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006158321&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV000904814 |
| work_keys_str_mv | AT kadelklaus entwicklungeinessubtraktivenstrukturierungsverfahrenszurherstellungvonrontgenzwischenmaskenfurdasligaverfahren AT institutfurmikrostrukturtechnik entwicklungeinessubtraktivenstrukturierungsverfahrenszurherstellungvonrontgenzwischenmaskenfurdasligaverfahren AT kadelklaus kfk5262 AT institutfurmikrostrukturtechnik kfk5262 |