Modern optical characterization techniques for semiconductors and semiconductor devices: 26 - 27 March 1987, Bay Point, Florida
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. Internat. Soc. for Optical Engineering 1987
Schriftenreihe:Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers: Proceedings of SPIE 794
Schlagworte:
Beschreibung:Literaturangaben
Beschreibung:VI, 282 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:089252829X

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