(1989). Microelectronics processing: Chemical engineering aspects. American Chem. Soc.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Microelectronics Processing: Chemical Engineering Aspects. Washington, DC: American Chem. Soc, 1989.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Microelectronics Processing: Chemical Engineering Aspects. American Chem. Soc, 1989.
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