Analytische Transmissionselektronenmikroskopie: eine praxisbezogene Einführung
Gespeichert in:
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Format: | Buch |
Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
Berlin, Germany
Springer Spektrum
[2023]
|
Ausgabe: | 2. Auflage |
Schriftenreihe: | Lehrbuch
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Schlagworte: | |
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Beschreibung: | XIX, 391 Seiten Illustrationen |
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INHALTSVERZEICHNIS
1
WOZU
DIESER
AUFWAND?
.
1
1.1
DAS
PROBLEM
MIT
DER
VERGROESSERUNG
.
1
1.2
DAS
AUFLOESUNGSVERMOEGEN
.
2
1.3
ELEKTRONENWELLEN
.
6
1.4
DIE
BEDEUTUNG
DER
VERGROESSERUNG
.
9
1.5
WAS
NUTZT
DAS
ANALYTISCHE
TEM
IN
DER
PRAXIS?
.
10
LITERATUR
.
12
2
WAS
WIR
UEBER
DEN
AUFBAU
EINES
ELEKTRONENMIKROSKOPS
UND
ELEKTRONENOPTIK
WISSEN
SOLLTEN
.
13
2.1
DAS
PRINZIP
DER
MEHRSTUFIGEN
ABBILDUNG
.
13
2.2
ROTATIONSSYMMETRISCHE
MAGNETISCHE
FELDER
ALS
ELEKTRONENLINSEN
.
15
2.3
ABBILDUNGSFEHLER
.
18
2.4
AUFLOESUNGSVERMOEGEN
MIT
BERUECKSICHTIGUNG
DES
OEFFNUNGSFEHLERS
.
22
2.5
DIE
ELEKTRONENKANONE
.
23
2.6
DER
RICHTSTRAHLWERT
.
28
2.7
WIR
BAUEN
EIN
ELEKTRONENMIKROSKOP
.30
2.7.1
DAS
BELEUCHTUNGSSYSTEM
.
31
2.7.2
DAS
ABBILDUNGSSYSTEM
.
32
2.7.3
DIE
PROBENBUEHNE
.
34
2.7.4
DIE
REGISTRIERUNG
DES
BILDES
.
36
2.7.5
DAS
VAKUUMSYSTEM
.
38
2.7.6
SONSTIGES
.
42
LITERATUR
.
44
3
WIR
PRAEPARIEREN
ELEKTRONENTRANSPARENTE
PROBEN
.
45
3.1
WO
LIEGT
DAS
PROBLEM?
.
45
3.2
YYKLASSISCHE
"
METHODEN
.
47
3.3
SCHNEIDEN,
SCHLEIFEN
UND
LONENDUENNEN
.
52
3.4
FOCUSED
ION
BEAM
(FIB)
TECHNIKEN
.
56
3.4.1
QUERSCHNITTSLAMELLEN
FUER
TEM
.
58
3.4.2
VERBESSERUNG
DER
QUALITAET
DER
FIB-LAMELLEN
.
60
X
INHALTSVERZEICHNIS
3.5
BEMERKUNG
ZUR
PRAEPARATION MAGNETISCHER
PROBEN
.
63
LITERATUR
.
64
4
WIR
BEGINNEN
MIT
DER
PRAKTISCHEN
ARBEIT
.
65
4.1
WAS
WIR
YYAM
RANDE
"
BENOETIGEN
.
66
4.2
WIR
BAUEN
DIE
PROBE
IN
DEN
HALTER
UND
SCHLEUSEN
DIESEN
INS
MIKROSKOP
.
68
4.3
WIR
UEBERPRUEFEN
DEN
(JUSTAGE-)ZUSTAND
DES
MIKROSKOPS
.
69
4.3.1
JUSTAGE
DER
BLENDE
IM
2.
KONDENSOR
(YYC2-BLENDE")
.
70
4.3.2
JUSTAGE
DER
ELEKTRONENKANONE
.
71
4.3.3
EINSTELLEN
DER
EUZENTRISCHEN
HOEHE
.
73
4.3.4
EINSTELLEN
DER
UMLENKPUNKTE
FUER
DIE
STRAHLKIPPUNG
.
75
4.3.5
JUSTAGE
DES
ROTATIONSZENTRUMS
.
77
4.4
SCHARFSTELLEN
DES
BILDES
-
SCHAERFE
UND
KONTRAST
.
78
4.5
KONTAMINATION
UND
OBJEKTSCHAEDIGUNG
.
79
LITERATUR
.
83
5
WIR
SCHALTEN
UM
AUF
ELEKTRONENBEUGUNG
.
85
5.1
WIESO
BEUGUNGSREFLEXE?
.
85
5.2
KRISTALLGITTER
UND
NETZEBENEN
.
89
5.3
FEINBEREICHS-UND
FEINSTRAHLBEUGUNG
.97
5.4
WAS
KOENNEN
WIR
AUS
DEN
FEINBEREICHS-BEUGUNGSMUSTERN
LERNEN?
.
102
5.4.1
RADIEN
IN
RINGDIAGRAMMEN
.
102
5.4.2
AUSLOESCHUNGSREGELN
.
104
5.4.3
INTENSITAETEN
DER
BEUGUNGSREFLEXE
.
108
5.4.4
POSITIONEN
DER
BEUGUNGSREFLEXE
IN
PUNKTDIAGRAMMEN
.
110
5.4.5
INDIZIERUNG
DER
BEUGUNGSREFLEXE
.
111
5.4.6
DOPPELBEUGUNG
.
116
5.5
KIKUCHI
UND
HOLZ-LINIEN
.
118
5.6
AMORPHE
PROBEN
.
123
5.7
UEBERSICHT
UEBER
ELEKTRONENBEUGUNGSMETHODEN
.
125
LITERATUR
.
126
6
WARUM
SEHEN
WIR
KONTRASTE
IM
BILD?
.
129
6.1
ELASTISCHE
STREUUNG
DER
ELEKTRONEN
IN
DER
PROBE
.
129
6.2
STREUABSORPTIONS
UND
BEUGUNGSKONTRAST
.
131
6.3
HELL-UND
DUNKELFELDABBILDUNG
.
134
6.4
WAS
KOENNEN
WIR
AUS
BEUGUNGSKONTRASTEN
LERNEN?
.
138
6.4.1
BIEGEKONTUREN,
VERSETZUNGEN
UND
SEMIKOHAERENTE
AUSSCHEIDUNGEN
.
138
6.4.2
DICKENKONTUREN,
STAPELFEHLER
UND
ZWILLINGE
.
144
INHALTSVERZEICHNIS
XI
6.5
MOIRE-MUSTER
.
148
6.6
MAGNETISCHE
DOMAENEN:
LORENTZMIKROSKOPIE
.
150
LITERATUR
.
153
7
WIR
ERHOEHEN
DIE
VERGROESSERUNG
.
155
7.1
ABBILDUNG
VON
ATOMSAEULEN
IN
KRISTALLGITTERN:
PHASENKONTRAST
.
155
7.2
KONTRASTUEBERTRAGUNG
DURCH
DIE
OBJEKTIVLINSE
.
161
7.3
WELLENOPTISCHE
DEUTUNG
DES
AUFLOESUNGSVERMOEGENS
.
163
7.4
PERIODISCHE
HELLIGKEITSVERTEILUNG
IN
BILDERN:
FOURIERANALYSE
.
165
7.5
STREUABSORPTIONS-UND
PHASENKONTRAST
.
168
7.6
KONTRAST
BEI
AMORPHEN
PROBEN
.
170
7.7
MESSUNG
DES
AUFLOESUNGSVERMOEGENS
.
173
7.8
KORREKTUR
DER
ABBILDUNGSFEHLER
.
175
7.8.1
ASTIGMATISMUS
.
175
7.8.2
OEFFNUNGSFEHLER
(SPHAERISCHE
ABERRATION)
.
176
7.8.3
FARBFEHLER
(CHROMATISCHE
ABERRATION)
.
180
7.9
OEFFNUNGSFEHLERKORREKTUR
IN
DER
PRAXIS
.
182
7.10
INTERPRETATION
HOCHAUFGELOESTER
BILDER
.
185
LITERATUR
.
186
8
WIR
SCHALTEN
UM
AUF
RASTERTRANSMISSIONS-ELEKTRONENMIKROSKOPIE
.
189
8.1
WAS
AENDERT
SICH
ELEKTRONENOPTISCH?
.
190
8.2
AUFLOESUNGSVERMOEGEN
ODER:
WIE
KLEIN
KANN
DIE
ELEKTRONENSONDE
WERDEN?
.
192
8.3
SCHAERFE
UND
VERGROESSERUNG
DES
STEM-BILDES
.
196
8.4
KONTRAST
IM
RASTERTRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPISCHEN
BILD
.
197
8.5
SPEZIALFALL:
WEITWINKEL-DUNKELFELD-RINGDETEKTOR
.
200
LITERATUR
.
201
9
WIR
NUTZEN
DIE
ANALYTISCHEN
MOEGLICHKEITEN
.
203
9.1
ANALYTISCHE
SIGNALE
ALS
FOLGE
INELASTISCHER
WECHSELWIRKUNG
.
203
9.1.1
EMISSION
VON
ROENTGENSTRAHLUNG
.
204
9.1.2
ENERGIEVERLUSTE
DER
ELEKTRONEN
.209
9.2
ENERGIEDISPERSIVE
SPEKTROSKOPIE
CHARAKTERISTISCHER
ROENTGENSTRAHLUNG
(EDXS)
.
212
9.2.1
ROENTGENSPEKTREN
UND
ROENTGENSPEKTROMETER
.
213
9.2.2
VERGLEICH
DER
SPEKTREN
VON
VERSCHIEDENEN
DETEKTOREN
.219
9.2.3
QUALITATIVE
INTERPRETATION
DER
ROENTGENSPEKTREN
.
221
9.2.4
QUANTIFIZIERUNG
VON
ROENTGENSPEKTREN
.
226
9.2.5
LINIENPROFILE
UND
ELEMENTVERTEILUNGSBILDER
.
235
XII
INHALTSVERZEICHNIS
9.3
ELEKTRONENENERGIEVERLUST-SPEKTROSKOPIE
(EELS)
.
238
9.3.1
ELEKTRONENENERGIE-SPEKTROMETER
.
238
9.3.2
LOW-LOSS
UND
CORE-LOSS-BEREICH
DER
SPEKTREN
.239
9.3.3
QUALITATIVE
ELEMENTANALYSE
.242
9.3.4
UNTERGRUND
UND
VIELFACHSTREUUNG:
ANFORDERUNGEN
AN
DIE
PROBE
.
244
9.3.5
MESSUNG
DER
PROBENDICKE
.
246
9.3.6
KANTENFEINSTRUKTUR:
BINDUNGSANALYSE
.
248
9.3.7
QUANTIFIZIERUNG
VON
ENERGIEVERLUST-SPEKTREN
.
252
9.4
ENERGIEGEFILTERTE
ABBILDUNG
.
254
9.5
VERGLEICH
ZWISCHEN
EDXS
UND
EELS
.257
LITERATUR
.259
10
GRUNDLAGEN
GENAUER
ERKLAERT
(ETWAS
MEHR
MATHEMATIK)
.
261
10.1
ELEKTRONENWELLEN
.
261
10.1.1
WELLENFUNKTION
.
262
10.1.2
ELEKTRONENWELLENLAENGE
RELATIVISTISCH
BERECHNET
.267
10.1.3
BEUGUNG
AN
EINER
KANTE
(HUYGENSSCHES
PRINZIP)
.268
10.2
ELEKTRONENBAHNEN
IN
ROTATIONSSYMMETRISCHEN
MAGNETISCHEN
FELDERN
.
269
10.3
ROTATIONSSYMMETRISCHE
ELEKTRISCHE
FELDER
.
277
10.3.1
POTENTIAL
IM
TRIODENSYSTEM
.
280
10.3.2
POTENTIAL
BEI
DER
FELDEMISSIONSKATHODE
.
280
10.3.3
POTENTIAL
IM
SILIZIUM-DRIFT-DETEKTOR
.
281
10.3.4
SCHOTTKY-EFFEKT
.
281
10.4
ELEKTROSTATISCHE
MULTIPOLE
.
284
10.4.1
POTENTIALVERTEILUNGEN
.285
10.4.2
ELEKTRONENBAHNEN
.
287
10.5
BEUGUNG
UND
STREUUNG
VON
ELEKTRONEN
.
291
10.5.1
LAUE-GLEICHUNGEN
UND
REZIPROKES
GITTER,
EWALD-KONSTRUKTION
.
291
10.5.2
KINEMATISCHES
MODELL:
GITTERFAKTOR
UND
STRUKTURFAKTOR
.
302
10.5.3
DEBYE-STREUUNG
.
310
10.5.4
ELEKTRONEN
IM
FELD
EINER
ZENTRALKRAFT
.314
10.5.5
MITTLERE
FREIE
WEGLAENGE
FUER
ELASTISCHE
STREUUNG
.318
10.5.6
KLASSISCHER
INELASTISCHER
STOSS
.
320
10.6
ELEKTRONENOPTISCHE
ABBILDUNG
.
322
10.6.1
AUFLOESUNGSVERMOEGEN
MIT
BERUECKSICHTIGUNG
DES
OEFFNUNGSFEHLERS
.
322
10.6.2
ABSTAENDE
IN
MOIRE-MUSTERN
.
323
10.6.3
KONTRASTUEBERTRAGUNGSFUNKTION
.326
10.6.4
SCHERZER-FOKUS
.
333
10.6.5
DELOKALISATION
.336
INHALTSVERZEICHNIS
XIII
10.7
ELEKTRONENSONDE
UND
ABBILDUNGSFEHLER
.
339
10.8
EDXS:
BERECHNUNG
VON
CLIFF-LORIMER-K-FAKTOREN
.344
10.8.1
EFFIZIENZ
VON
ENERGIEDISPERSIVEN
ROENTGENDETEKTOREN
.344
10.8.2
LONISATIONSWAHRSCHEINLICHKEIT
(BZW.
-QUERSCHNITT)
SS
.
350
10.8.3
FLUORESZENZAUSBEUTE
&
.352
10.8.4
KA-ANTEIL
AN
DER
K-SERIE
.
353
10.8.5
ABSORPTIONSKORREKTUR
BEI
EDXS
.354
10.9
PRISMEN
FUER
ELEKTRONEN
.
357
10.9.1
MAGNETISCHES
PRISMA
.
357
10.9.2
ELEKTROSTATISCHES
PRISMA
.
359
10.10
FALTUNG
VON
FUNKTIONEN
.
361
10.11
FEHLERBETRACHTUNG
BEI
ELEKTRONENMIKROSKOPISCHEN
MESSUNGEN
.
363
LITERATUR
.
371
RESUEMEE
UND
AUSBLICK
.
373
PHYSIKALISCHE
KONSTANTEN
.
377
LITERATUR
.
379
STICHWORTVERZEICHNIS
.
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