Ellipso-Höhentopometrie zur Charakterisierung von technischen Oberflächen mit Materialkontrast:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
Kaiserslautern
Rheinland-Pfälzische Technische Universität Kaiserslautern-Landau
2023
|
| Series: | Berichte aus dem Lehrstuhl für Messtechnik und Sensorik
Band 16 |
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis |
| Physical Description: | VIII, 178 Seiten Illustrationen, Diagramme |
| ISBN: | 9783959742146 3959742142 |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a22000008cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV049877846 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20250211 | ||
| 007 | t| | ||
| 008 | 240919s2023 gw a||| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 1332948383 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 9783959742146 |c Broschur : EUR 34.90 (DE), EUR 35.90 (AT) |9 978-3-95974-214-6 | ||
| 020 | |a 3959742142 |9 3-95974-214-2 | ||
| 035 | |a (OCoLC)1440128134 | ||
| 035 | |a (DE-599)DNB1332948383 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rda | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c XA-DE | ||
| 049 | |a DE-29T |a DE-83 | ||
| 100 | 1 | |a Raid, Indek |d 1985- |e Verfasser |0 (DE-588)1335485805 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Ellipso-Höhentopometrie zur Charakterisierung von technischen Oberflächen mit Materialkontrast |c Indek Raid |
| 264 | 1 | |a Kaiserslautern |b Rheinland-Pfälzische Technische Universität Kaiserslautern-Landau |c 2023 | |
| 300 | |a VIII, 178 Seiten |b Illustrationen, Diagramme | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Berichte aus dem Lehrstuhl für Messtechnik und Sensorik |v Band 16 | |
| 502 | |b Dissertation |c Rheinland-Pfälzische Technische Universität Kaiserslautern-Landau |d 2023 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Oberflächeneigenschaft |0 (DE-588)4219221-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Ellipsometrie |0 (DE-588)4152025-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Messtechnik |0 (DE-588)4114575-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Oberflächeneigenschaft |0 (DE-588)4219221-3 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Messtechnik |0 (DE-588)4114575-6 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Ellipsometrie |0 (DE-588)4152025-7 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 830 | 0 | |a Berichte aus dem Lehrstuhl für Messtechnik und Sensorik |v Band 16 |w (DE-604)BV047265965 |9 16 | |
| 856 | 4 | 2 | |m B:DE-101 |q application/pdf |u https://d-nb.info/1332948383/04 |3 Inhaltsverzeichnis |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=035217278&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-035217278 | |
Record in the Search Index
| _version_ | 1823758530130214912 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
I.
ABKUERZUNGSVERZEICHNIS
.
VI
II.
SYMBOLVERZEICHNIS
.
VII
1
EINLEITUNG
UND
MOTIVATION
.
1
2
GRUNDLAGEN
DER
PHYSIKALISCHEN
OPTIK
.
3
2.1
WELLEN
.
3
2.2
ELEKTROMAGNETISCHE
WELLEN
.
6
2.3
UEBERLAGERUNG
VON
WELLEN
.
20
2.4
POLARISATION
.
27
2.5
INTERFERENZ
.
44
2.6
KOHAERENZ
.
46
3
WEISSLICHTINTERFEROMETRIE
.
54
3.1
MESSPRINZIP
.
55
3.2
AUFBAU
.
58
3.3
SIGNALENTSTEHUNG
.
61
3.4
EINFLUSS
DER
OBERFLAECHE
.
64
3.5
MESSDATENAUSWERTUNG
.
67
3.6
CHARAKTERISIERUNG
UND
KALIBRIERUNG
.
79
3.7
MIKROELLIPSOMETRISCHE
WLI
.
86
4
ELLIPSOMETRIE
.
89
4.1
THEORIE
UND
ANALYSE
VON
MESSUNGEN
IN
DER
ELLIPSOMETRIE
.
90
4.2
REFLEXION
POLARISIERTEN
LICHTS
AN
ISOTROPEN
OBERFLAECHEN
.
96
4.3
MESSVERFAHREN
.
102
5
ELLIPSO-HOEHENTOPOMETRIE
MIT
NEUEN
ANSAETZEN
.
104
5.1
MESSPRINZIP
.
105
5.2
MESSGROESSEN
.
109
5.3
MATERIALCHARAKTERISIERUNG
.
117
5.4
MESSROUTINEN
.
120
5.5
EINFLUSS
VON
OBERFLAECHENRAUHEIT
.
122
6
TECHNISCHE
ERWEITERUNGEN
AM
EHT
.
125
6.1
OPTIMIERUNG
DES
MESSAUFBAUS
.
126
6.2
POSITIONIERSYSTEM
.
128
6.3
MULTISENSORIK
DURCH
AFM
.
128
7
CHARAKTERISIERUNG
UND
KALIBRIERUNG
DES
EHT
.
131
7.1
KALIBRIERUNG
DER
TOPOGRAPHIEMESSUNG
.
131
7.2
JUSTIEREN
UND
KALIBRIEREN
SPEZIELLER
GROESSEN
.
132
8
BEDIENSOFTWARE
DES
EHT
.
145
8.1
PROGRAMMAUFBAU
.
145
8.2
PROGRAMMABLAUF
.
147
9
BEWERTUNG
UND
DISKUSSION
.
151
10
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
.
154
10.1
AUSBLICK
.
156
11
LITERATURVERZEICHNIS
.
159
ANHANG
.169
ABBILDUNGSVERZEICHNIS
.
175
TABELLENVERZEICHNIS
.
179
LEBENSLAUF
DES
AUTORS
.
180 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Raid, Indek 1985- |
| author_GND | (DE-588)1335485805 |
| author_facet | Raid, Indek 1985- |
| author_role | aut |
| author_sort | Raid, Indek 1985- |
| author_variant | i r ir |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV049877846 |
| ctrlnum | (OCoLC)1440128134 (DE-599)DNB1332948383 |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a22000008cb4500</leader><controlfield tag="001">BV049877846</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20250211</controlfield><controlfield tag="007">t|</controlfield><controlfield tag="008">240919s2023 gw a||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">1332948383</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">9783959742146</subfield><subfield code="c">Broschur : EUR 34.90 (DE), EUR 35.90 (AT)</subfield><subfield code="9">978-3-95974-214-6</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3959742142</subfield><subfield code="9">3-95974-214-2</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)1440128134</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)DNB1332948383</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rda</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">XA-DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Raid, Indek</subfield><subfield code="d">1985-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)1335485805</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Ellipso-Höhentopometrie zur Charakterisierung von technischen Oberflächen mit Materialkontrast</subfield><subfield code="c">Indek Raid</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Kaiserslautern</subfield><subfield code="b">Rheinland-Pfälzische Technische Universität Kaiserslautern-Landau</subfield><subfield code="c">2023</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">VIII, 178 Seiten</subfield><subfield code="b">Illustrationen, Diagramme</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Berichte aus dem Lehrstuhl für Messtechnik und Sensorik</subfield><subfield code="v">Band 16</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">Dissertation</subfield><subfield code="c">Rheinland-Pfälzische Technische Universität Kaiserslautern-Landau</subfield><subfield code="d">2023</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Oberflächeneigenschaft</subfield><subfield code="0">(DE-588)4219221-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ellipsometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4152025-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Messtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4114575-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Oberflächeneigenschaft</subfield><subfield code="0">(DE-588)4219221-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Messtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4114575-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Ellipsometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4152025-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Berichte aus dem Lehrstuhl für Messtechnik und Sensorik</subfield><subfield code="v">Band 16</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV047265965</subfield><subfield code="9">16</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">B:DE-101</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/1332948383/04</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=035217278&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-035217278</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV049877846 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2025-02-11T11:01:09Z |
| institution | BVB |
| isbn | 9783959742146 3959742142 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-035217278 |
| oclc_num | 1440128134 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-29T DE-83 |
| owner_facet | DE-29T DE-83 |
| physical | VIII, 178 Seiten Illustrationen, Diagramme |
| publishDate | 2023 |
| publishDateSearch | 2023 |
| publishDateSort | 2023 |
| publisher | Rheinland-Pfälzische Technische Universität Kaiserslautern-Landau |
| record_format | marc |
| series | Berichte aus dem Lehrstuhl für Messtechnik und Sensorik |
| series2 | Berichte aus dem Lehrstuhl für Messtechnik und Sensorik |
| spelling | Raid, Indek 1985- Verfasser (DE-588)1335485805 aut Ellipso-Höhentopometrie zur Charakterisierung von technischen Oberflächen mit Materialkontrast Indek Raid Kaiserslautern Rheinland-Pfälzische Technische Universität Kaiserslautern-Landau 2023 VIII, 178 Seiten Illustrationen, Diagramme txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Berichte aus dem Lehrstuhl für Messtechnik und Sensorik Band 16 Dissertation Rheinland-Pfälzische Technische Universität Kaiserslautern-Landau 2023 Oberflächeneigenschaft (DE-588)4219221-3 gnd rswk-swf Ellipsometrie (DE-588)4152025-7 gnd rswk-swf Messtechnik (DE-588)4114575-6 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Oberflächeneigenschaft (DE-588)4219221-3 s Messtechnik (DE-588)4114575-6 s Ellipsometrie (DE-588)4152025-7 s DE-604 Berichte aus dem Lehrstuhl für Messtechnik und Sensorik Band 16 (DE-604)BV047265965 16 B:DE-101 application/pdf https://d-nb.info/1332948383/04 Inhaltsverzeichnis DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=035217278&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Raid, Indek 1985- Ellipso-Höhentopometrie zur Charakterisierung von technischen Oberflächen mit Materialkontrast Berichte aus dem Lehrstuhl für Messtechnik und Sensorik Oberflächeneigenschaft (DE-588)4219221-3 gnd Ellipsometrie (DE-588)4152025-7 gnd Messtechnik (DE-588)4114575-6 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4219221-3 (DE-588)4152025-7 (DE-588)4114575-6 (DE-588)4113937-9 |
| title | Ellipso-Höhentopometrie zur Charakterisierung von technischen Oberflächen mit Materialkontrast |
| title_auth | Ellipso-Höhentopometrie zur Charakterisierung von technischen Oberflächen mit Materialkontrast |
| title_exact_search | Ellipso-Höhentopometrie zur Charakterisierung von technischen Oberflächen mit Materialkontrast |
| title_full | Ellipso-Höhentopometrie zur Charakterisierung von technischen Oberflächen mit Materialkontrast Indek Raid |
| title_fullStr | Ellipso-Höhentopometrie zur Charakterisierung von technischen Oberflächen mit Materialkontrast Indek Raid |
| title_full_unstemmed | Ellipso-Höhentopometrie zur Charakterisierung von technischen Oberflächen mit Materialkontrast Indek Raid |
| title_short | Ellipso-Höhentopometrie zur Charakterisierung von technischen Oberflächen mit Materialkontrast |
| title_sort | ellipso hohentopometrie zur charakterisierung von technischen oberflachen mit materialkontrast |
| topic | Oberflächeneigenschaft (DE-588)4219221-3 gnd Ellipsometrie (DE-588)4152025-7 gnd Messtechnik (DE-588)4114575-6 gnd |
| topic_facet | Oberflächeneigenschaft Ellipsometrie Messtechnik Hochschulschrift |
| url | https://d-nb.info/1332948383/04 http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=035217278&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV047265965 |
| work_keys_str_mv | AT raidindek ellipsohohentopometriezurcharakterisierungvontechnischenoberflachenmitmaterialkontrast |
There is no print copy available.
Indexes