Ellipso-Höhentopometrie zur Charakterisierung von technischen Oberflächen mit Materialkontrast:
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Kaiserslautern
Rheinland-Pfälzische Technische Universität Kaiserslautern-Landau
2023
|
| Schriftenreihe: | Berichte aus dem Lehrstuhl für Messtechnik und Sensorik
Band 16 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | VIII, 178 Seiten Illustrationen, Diagramme |
| ISBN: | 9783959742146 3959742142 |
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INHALTSVERZEICHNIS
I.
ABKUERZUNGSVERZEICHNIS
.
VI
II.
SYMBOLVERZEICHNIS
.
VII
1
EINLEITUNG
UND
MOTIVATION
.
1
2
GRUNDLAGEN
DER
PHYSIKALISCHEN
OPTIK
.
3
2.1
WELLEN
.
3
2.2
ELEKTROMAGNETISCHE
WELLEN
.
6
2.3
UEBERLAGERUNG
VON
WELLEN
.
20
2.4
POLARISATION
.
27
2.5
INTERFERENZ
.
44
2.6
KOHAERENZ
.
46
3
WEISSLICHTINTERFEROMETRIE
.
54
3.1
MESSPRINZIP
.
55
3.2
AUFBAU
.
58
3.3
SIGNALENTSTEHUNG
.
61
3.4
EINFLUSS
DER
OBERFLAECHE
.
64
3.5
MESSDATENAUSWERTUNG
.
67
3.6
CHARAKTERISIERUNG
UND
KALIBRIERUNG
.
79
3.7
MIKROELLIPSOMETRISCHE
WLI
.
86
4
ELLIPSOMETRIE
.
89
4.1
THEORIE
UND
ANALYSE
VON
MESSUNGEN
IN
DER
ELLIPSOMETRIE
.
90
4.2
REFLEXION
POLARISIERTEN
LICHTS
AN
ISOTROPEN
OBERFLAECHEN
.
96
4.3
MESSVERFAHREN
.
102
5
ELLIPSO-HOEHENTOPOMETRIE
MIT
NEUEN
ANSAETZEN
.
104
5.1
MESSPRINZIP
.
105
5.2
MESSGROESSEN
.
109
5.3
MATERIALCHARAKTERISIERUNG
.
117
5.4
MESSROUTINEN
.
120
5.5
EINFLUSS
VON
OBERFLAECHENRAUHEIT
.
122
6
TECHNISCHE
ERWEITERUNGEN
AM
EHT
.
125
6.1
OPTIMIERUNG
DES
MESSAUFBAUS
.
126
6.2
POSITIONIERSYSTEM
.
128
6.3
MULTISENSORIK
DURCH
AFM
.
128
7
CHARAKTERISIERUNG
UND
KALIBRIERUNG
DES
EHT
.
131
7.1
KALIBRIERUNG
DER
TOPOGRAPHIEMESSUNG
.
131
7.2
JUSTIEREN
UND
KALIBRIEREN
SPEZIELLER
GROESSEN
.
132
8
BEDIENSOFTWARE
DES
EHT
.
145
8.1
PROGRAMMAUFBAU
.
145
8.2
PROGRAMMABLAUF
.
147
9
BEWERTUNG
UND
DISKUSSION
.
151
10
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
.
154
10.1
AUSBLICK
.
156
11
LITERATURVERZEICHNIS
.
159
ANHANG
.169
ABBILDUNGSVERZEICHNIS
.
175
TABELLENVERZEICHNIS
.
179
LEBENSLAUF
DES
AUTORS
.
180 |
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