Hilleringmann, U. (2023). Silicon semiconductor technology: Processing and integration of microelectronic devices. Springer Vieweg.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Hilleringmann, Ulrich. Silicon Semiconductor Technology: Processing and Integration of Microelectronic Devices. Wiesbaden, Germany: Springer Vieweg, 2023.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Hilleringmann, Ulrich. Silicon Semiconductor Technology: Processing and Integration of Microelectronic Devices. Springer Vieweg, 2023.
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