Fabrication of Micro/Nano Structures via Precision Machining: Modelling, Processing and Evaluation
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Zhang, Guoqing (HerausgeberIn), Xu, Bin (HerausgeberIn), Lu, Yanjun (HerausgeberIn), To, Suet (HerausgeberIn)
Format: Elektronisch E-Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Singapore Springer Nature Singapore 2023
Singapore Springer
Ausgabe:1st ed. 2023
Schlagworte:
Online-Zugang:BTU01
FAB01
FAW01
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UER01
Volltext
Beschreibung:1 Online-Ressource (XII, 398 p. 276 illus., 221 illus. in color)
ISBN:9789819913381
DOI:10.1007/978-981-99-1338-1