Design verschleißreduzierender amorpher Kohlenstoffschichtsysteme für trockene tribologische Gleitkontakte:
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
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Format: | Abschlussarbeit Buch |
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Veröffentlicht: |
Erlangen
FAU University Press
2022
|
Schriftenreihe: | FAU Studien aus dem Maschinenbau
Band 400 |
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adam_text | INHALTSVERZEICHNIS
FORMELZEICHEN
UND
ABKUERZUNGSVERZEICHNIS
..................................
VII
I
EINLEITUNG
.......................................................................................
I
1.1
MOTIVATION
........................................................................................
I
1.2
FRAGESTELLUNG
UND
ZIELSETZUNG
........................................................
2
STAND
DER
TECHNIK
UND
FORSCHUNG
..............................................
7
2.1
TRIBOLOGIE
EINES
TROCKENEN
BLECHUMFORMPROZESSES
...................
8
2.1.1
TRIBOSYSTEM
IM
BLECHUMFORMPROZESS
................................8
2.1.2
WERKZEUGMATERIAL
UND
-OBERFLAECHE
....................................
N
2.1.3
WERKZEUGBESCHICHTUNGEN
...................................................
13
2.2
FESTSCHMIERSTOFFSCHICHTEN
FUER
TROCKENLAUF.
................................
17
2.3
AMORPHE
KOHLENSTOFFSCHICHTSYSTEME
.........................................
18
2.3.1
DEFINITION
UND
BEGRIFFLICHKEIT
............................................
21
2.3.2
ANALYSE
DER
CHEMISCHEN
BINDUNGEN
................................
24
2.3.3
SCHICHTEIGENSPANNUNG
......................................................
28
2.3.4
SCHICHTHAFTUNG
....................................................................
34
2.3.5
SCHICHTVERSAGEN
.................................................................
36
2.4
BESCHICHTUNGSVERFAHREN
...............................................................
39
2.4.1
VAKUUMTECHNIK
.................................................................40
2.4.2
PHYSIKALISCHE
GASPHASENABSCHEIDUNG
.............................
45
2.4.3
PLASMAUNTERSTUETZTE
CHEMISCHE
GASPHASENABSCHEIDUNG
......................................................
55
3
DER
EINFLUSS
DES
SCHICHTDESIGNS
AUF
DAS
TRIBOLOGISCHE
EINSATZVERHALTEN
.........................................................................
59
3.1
RAUHEIT.,
........................................................................................
59
3.2
MECHANISCHE
EIGENSCHAFTEN
........................................................
60
3.3
CHEMISCHE
ZUSAMMENSETZUNGEN
..............................................60
3.4
SCHICHTDICKE
.................................................................................
61
3.5
HANDLUNGSBEDARF
UND
FORSCHUNGSFRAGEN
DER
VORLIEGENDEN
ARBEIT
......................................................................................
63
V
4
PRAKTISCHE
EXPERIMENTE
..............................................................
65
4.1
UNTERSUCHUNGSKONZEPT
UND
VORGEHENSWEISE
...........................
65
4.2
MATERIALIEN
UND
ANLAGENTECHNIK
...............................................
66
4.3
PROBENBEZEICHNUNGEN
UND
PARAMETER
.......................................
73
4.3.1
HAFTSCHICHT
..........................................................................
75
4.3.2
SCHICHTDICKE
.........................................................................
76
4.3.3
ACETYLEN-ZU-ARGON
VERHAELTNIS
...........................................
78
4.4
SCHICHTCHARAKTERISIERUNG
............................................................
80
4.4.1
SCHICHTDICKE,
TOPOGRAFIE,
SCHICHTHAFTUNG
UND
MIKROHAERTE
................................................................80
4.4.2
CHEMISCHE
BINDUNGEN
.......................................................
83
4.4.3
INTRINSISCHE
SPANNUNGEN
...................................................
84
4.4.4
VERSCHLEISSBESTAENDIGKEIT
.....................................................
85
5
AUSWERTUNGEN
UND
ERGEBNISSE
...................................................
87
5.1
RAUHEIT
VON
SCHICHTOBERFLAECHEN
.................................................
87
5.2
SCHICHTDICKE
AUF
STAHLSUBSTRAT
...................................................90
5.3
SCHICHTHAFTUNG
AUF
STAHLSUBSTRAT
...............................................
91
5.3.1
ROCKWELL
C
EINDRUCKTEST
.....................................................
91
5.3.2
RITZTEST
.................................................................................94
5.4
MIKROHAERTE
UND
EINDRINGMODUL
................................................
98
5.5
INTRINSISCHE
SPANNUNG
................................................................
98
5.5.1
BIEGERADIEN
..........................................................................
99
5.5.2
SCHICHTDICKEN
UND
WAFERDICKEN
......................................
103
5.6
RAMAN-SPEKTROSKOPIE
................................................................
108
5.7
VERSCHLEISSBESTAENDIGKEIT
..............................................................
113
6
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
..............................................
117
7
SUMMARY
AND
OUTLOOK
...............................................................
123
LITERATURVERZEICHNIS
............................................................................
127
VI
|
adam_txt |
INHALTSVERZEICHNIS
FORMELZEICHEN
UND
ABKUERZUNGSVERZEICHNIS
.
VII
I
EINLEITUNG
.
I
1.1
MOTIVATION
.
I
1.2
FRAGESTELLUNG
UND
ZIELSETZUNG
.
2
STAND
DER
TECHNIK
UND
FORSCHUNG
.
7
2.1
TRIBOLOGIE
EINES
TROCKENEN
BLECHUMFORMPROZESSES
.
8
2.1.1
TRIBOSYSTEM
IM
BLECHUMFORMPROZESS
.8
2.1.2
WERKZEUGMATERIAL
UND
-OBERFLAECHE
.
N
2.1.3
WERKZEUGBESCHICHTUNGEN
.
13
2.2
FESTSCHMIERSTOFFSCHICHTEN
FUER
TROCKENLAUF.
.
17
2.3
AMORPHE
KOHLENSTOFFSCHICHTSYSTEME
.
18
2.3.1
DEFINITION
UND
BEGRIFFLICHKEIT
.
21
2.3.2
ANALYSE
DER
CHEMISCHEN
BINDUNGEN
.
24
2.3.3
SCHICHTEIGENSPANNUNG
.
28
2.3.4
SCHICHTHAFTUNG
.
34
2.3.5
SCHICHTVERSAGEN
.
36
2.4
BESCHICHTUNGSVERFAHREN
.
39
2.4.1
VAKUUMTECHNIK
.40
2.4.2
PHYSIKALISCHE
GASPHASENABSCHEIDUNG
.
45
2.4.3
PLASMAUNTERSTUETZTE
CHEMISCHE
GASPHASENABSCHEIDUNG
.
55
3
DER
EINFLUSS
DES
SCHICHTDESIGNS
AUF
DAS
TRIBOLOGISCHE
EINSATZVERHALTEN
.
59
3.1
RAUHEIT.,
.
59
3.2
MECHANISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
60
3.3
CHEMISCHE
ZUSAMMENSETZUNGEN
.60
3.4
SCHICHTDICKE
.
61
3.5
HANDLUNGSBEDARF
UND
FORSCHUNGSFRAGEN
DER
VORLIEGENDEN
ARBEIT
.
63
V
4
PRAKTISCHE
EXPERIMENTE
.
65
4.1
UNTERSUCHUNGSKONZEPT
UND
VORGEHENSWEISE
.
65
4.2
MATERIALIEN
UND
ANLAGENTECHNIK
.
66
4.3
PROBENBEZEICHNUNGEN
UND
PARAMETER
.
73
4.3.1
HAFTSCHICHT
.
75
4.3.2
SCHICHTDICKE
.
76
4.3.3
ACETYLEN-ZU-ARGON
VERHAELTNIS
.
78
4.4
SCHICHTCHARAKTERISIERUNG
.
80
4.4.1
SCHICHTDICKE,
TOPOGRAFIE,
SCHICHTHAFTUNG
UND
MIKROHAERTE
.80
4.4.2
CHEMISCHE
BINDUNGEN
.
83
4.4.3
INTRINSISCHE
SPANNUNGEN
.
84
4.4.4
VERSCHLEISSBESTAENDIGKEIT
.
85
5
AUSWERTUNGEN
UND
ERGEBNISSE
.
87
5.1
RAUHEIT
VON
SCHICHTOBERFLAECHEN
.
87
5.2
SCHICHTDICKE
AUF
STAHLSUBSTRAT
.90
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AUF
STAHLSUBSTRAT
.
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EINDRUCKTEST
.
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.94
5.4
MIKROHAERTE
UND
EINDRINGMODUL
.
98
5.5
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SPANNUNG
.
98
5.5.1
BIEGERADIEN
.
99
5.5.2
SCHICHTDICKEN
UND
WAFERDICKEN
.
103
5.6
RAMAN-SPEKTROSKOPIE
.
108
5.7
VERSCHLEISSBESTAENDIGKEIT
.
113
6
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
.
117
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