Wee, A. T. S., Yin, X., & Tang, C. S. (2022). Introduction to spectroscopic ellipsometry of thin film materials: Instrumentation, data analysis, and applications. Wiley-VCH.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Wee, Andrew T. S., Xinmao Yin, und Chi Sin Tang. Introduction to Spectroscopic Ellipsometry of Thin Film Materials: Instrumentation, Data Analysis, and Applications. Weinheim, Germany: Wiley-VCH, 2022.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Wee, Andrew T. S., et al. Introduction to Spectroscopic Ellipsometry of Thin Film Materials: Instrumentation, Data Analysis, and Applications. Wiley-VCH, 2022.
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