Micro electro-fabrication:
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Bibliographische Detailangaben
Format: Elektronisch E-Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Amsterdam ; Cambridge, MA Elsevier [2021]
Schriftenreihe:Micro and Nano Technologies
Schlagworte:
Online-Zugang:FWS01
FWS02
Beschreibung:Includes index
Beschreibung:1 Online-Ressource (395 Seiten)
ISBN:9780128231807