Barry, S. T. (2022). Chemistry of atomic layer deposition. De Gruyter.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Barry, Seán Thomas. Chemistry of Atomic Layer Deposition. Berlin: De Gruyter, 2022.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Barry, Seán Thomas. Chemistry of Atomic Layer Deposition. De Gruyter, 2022.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.