Fabrication of GaAs Devices:

The following topics are dealt with: semiconductor properties, semiconductor growth, cleaning; passivation; dry etching; ohmic contacts; Schottky contacts; field effect transistors; heterojunction bipolar transistors; wet oxidation; optoelectronic device; and MIS GaAs device

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Baca, Albert G. (VerfasserIn), Ashby, Carol Iris Hill 1953- (VerfasserIn)
Format: Elektronisch E-Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Stevenage IET 2005
Schriftenreihe:Circuits, Devices and Systems
Schlagworte:
Online-Zugang:UBY01
Volltext
Zusammenfassung:The following topics are dealt with: semiconductor properties, semiconductor growth, cleaning; passivation; dry etching; ohmic contacts; Schottky contacts; field effect transistors; heterojunction bipolar transistors; wet oxidation; optoelectronic device; and MIS GaAs device
Beschreibung:1 Online-Ressource
ISBN:9781849190688
DOI:10.1049/PBEP006E

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