Untersuchung der Wachstumskinetik von SiC mithilfe der in-situ Computertomographie des Gasphasenkristallisationsprozesses und der Modellierung der Wachstumsbedingungen:
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| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
Düren
Shaker Verlag
2021
|
| Edition: | 1. Auflage |
| Series: | Berichte aus der Halbleitertechnik
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Physical Description: | 162 Seiten Illustrationen, Diagramme 21 cm x 14.8 cm, 249 g |
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EINLEITUNG
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1
2
GRUNDLAGEN
...........................................................................................................................................................
4
2.1
D
IE
H
ERSTELLUNG
VON
S
I
C
V
OLUMENKRISTALLEN
...............................................................................................................
4
2.2
D
IE
K
RISTALLSTRUKTUR
VON
SIC
..................................................................................................................................................
6
2.3
K
RISTALLDEFEKTE
IN
S
I
C
...................................................................................................................................................................
7
2.4
KRISTA!
LWACHSTUMSMECHANISMEN
.........................................................................................................................................
8
2.5
D
IE
K
RISTALLFORM
VON
S
I
C
IM
G
LEICHGEWICHT
...............................................................................................................
14
2.6
K
INETIK
DES
W
ACHSTUMS
..............................................................................................................................................................
17
2.7
P
OLYTYPENSTABILITAT
.....................................................................................................................................................................
21
3
EXPERIMENTELLES
...............................................................................................................................................
24
3.1
D
ER
PVT
W
ACHSTUMSPROZESS
..................................................................................................................................................
24
3.2
D
IE
IN
-
SITU
C
OMPUTER
T
OMOGRAPHIE
..................................................................................................................................
26
3.3
C
HARAKTERISIERUNGSMETHODEN
.............................................................................................................................................
32
4
EINFLUSSQUELLENMATERIAL
.......................................................................................................................
36
4.1
V
ERAENDERUNGEN
IM
Q
UELLENMATERIAL
................................................................................................................................
37
4.2
Q
UANTIFIZIERUNG
DER
W
AERMELEITUNG
IM
Q
UELLENMATERIAL
.................................................................................
39
4.3
E
INFLUSS
DER
V
ERAENDERUNGEN
IM
Q
UELLENMATERIAL
AUF
DIE
W
ACHSTUMBEDINGUNGEN
..........................
47
4.4
E
INFLUSS
DER
S
TRUKTUR
VON
Q
UELLENMATERIALIEN
AUF
DIE
W
ACHSTUMSBEDINGUNGEN
...........................
51
4.5
V
ORTEILHAFTE
A
NPASSUNGEN
DES
Q
UELLENMATERIALS
.................................................................................................
72
5
VARIATION
DER
ZUECHTUNGSPARAMETER
...............................................................................................
76
5.1
V
ARIATION
DER
D
OTIERUNG
..........................................................................................................................................................
76
5.2
V
ARIATION
DES
C/
S
I
V
ERHAELTNISSES
......................................................................................................................................
93
5.3
V
ARIATION
DES
D
RUCKES
............................................................................................................................................................
103
5.4
Z
USAMMENFASSUNG
DER
BEOBACHTETEN
P
HAENOMENE
.................................................................................................
110
6
WECHSELWIRKUNG
ZWISCHEN
OBEFLAECHENMORPHOLOGIE
UND
DEFEKTVERTEILUNG
112
6.1
P
OLYTYPENWECHSEL
ZU
B
EGINN
DES
W
ACHSTUMSPROZESSES
....................................................................................
112
6.2
P
OLYTYPENWECHSEL
AN
DER
W
ACHSTUMSFACETTE
.........................................................................................................
114
6.3
E
INFLUSS
DER
W
ACHSTUMSBEDINGUNGEN
AUF
DIE
S
TABILITAET
DES
4H-P0LYTYPS
...........................................
117
6.4
D
EFEKTGENERATION
BEIM
A
NKEIMEN
....................................................................................................................................
130
6.5
UEBERWACHSEN
VON
DEFEKTEN
.................................................................................................................................................
133
7
ZUSAMMENFASSUNG
..........................................................................................................................................
143
8
SUMMARY
................................................................................................................................................................
147
9
LITERATUR
..............................................................................................................................................................
150
|
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