Modellbasierte Optimierung des Diamantdrahtsägeprozesses für die Fertigung von Siliziumwafern:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Freiberg
Technische Universität Bergakademie Freiberg
[2020]
|
| Ausgabe: | 1. Auflage |
| Schriftenreihe: | Berichte des Instituts für Mechanik und Fluiddynamik
Heft 35 (2020) |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | vii, 196 Seiten Illustrationen, Diagramme 21 cm |
| ISBN: | 9783860126400 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV047408401 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20211018 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 210810s2020 gw a||| m||| 00||| ger d | ||
| 015 | |a 21,B04 |2 dnb | ||
| 015 | |a 21,H02 |2 dnb | ||
| 016 | 7 | |a 1222696649 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 9783860126400 |c Broschur |9 978-3-86012-640-0 | ||
| 035 | |a (OCoLC)1233037551 | ||
| 035 | |a (DE-599)DNB1222696649 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rda | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c XA-DE | ||
| 049 | |a DE-83 | ||
| 084 | |a ZM 8326 |0 (DE-625)160940: |2 rvk | ||
| 084 | |8 1\p |a 670 |2 23sdnb | ||
| 084 | |8 2\p |a 621.3 |2 23sdnb | ||
| 100 | 1 | |a Treyer, Daniel |d 1986- |e Verfasser |0 (DE-588)1219318965 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Modellbasierte Optimierung des Diamantdrahtsägeprozesses für die Fertigung von Siliziumwafern |c Daniel Treyer |
| 250 | |a 1. Auflage | ||
| 264 | 1 | |a Freiberg |b Technische Universität Bergakademie Freiberg |c [2020] | |
| 300 | |a vii, 196 Seiten |b Illustrationen, Diagramme |c 21 cm | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Berichte des Instituts für Mechanik und Fluiddynamik |v Heft 35 (2020) | |
| 502 | |b Dissertation |c Technische Universität Bergakademie Freiberg |d 2020 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Drahtsäge |0 (DE-588)7635835-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Siliziumsolarzelle |0 (DE-588)1135163685 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Prozessanalyse |0 (DE-588)4136607-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Prozessoptimierung |0 (DE-588)4176074-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Diamantwerkzeug |0 (DE-588)4231271-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Drahtsäge |0 (DE-588)7635835-5 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Diamantwerkzeug |0 (DE-588)4231271-1 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Prozessoptimierung |0 (DE-588)4176074-8 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Prozessanalyse |0 (DE-588)4136607-4 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Siliziumsolarzelle |0 (DE-588)1135163685 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 830 | 0 | |a Berichte des Instituts für Mechanik und Fluiddynamik |v Heft 35 (2020) |w (DE-604)BV023259326 |9 35 | |
| 856 | 4 | 2 | |m B:DE-101 |q application/pdf |u https://d-nb.info/1222696649/04 |3 Inhaltsverzeichnis |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=032809331&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-032809331 | ||
| 883 | 2 | |8 1\p |a dnb |d 20210121 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#dnb | |
| 883 | 2 | |8 2\p |a dnb |d 20210121 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#dnb | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804182674013683712 |
|---|---|
| adam_text | INHALTSVERZEICHNIS
1.
EINLEITUNG
1
1.1.
EINORDNUNG
DER
ARBEIT
..............................................................................
1
1.2.
BESCHREIBUNG
DES
DRAHTSAEGEPROZESSES
MIT
DIAMANTDRAHT
......................
3
1.3.
TECHNISCH-WISSENSCHAFTLICHE
ZIELSETZUNGEN
............................................
5
1.4.
STAND
DER
TECHNIK
....................................................................................
7
1.5.
GLIEDERUNG
DER
ARBEIT
..............................................................................
14
2.
MODELLIERUNG
DES
DRAHTSAEGEPROZESSES
16
2.1:
UEBERBLICK
UND
NOTATION
...........................................................................
16
2.2.
MODELL
FUER
DEN
KONTAKT
ZWISCHEN
DRAHT
UND
SILIZIUMBRICK
................
22
2.2.1.
EINFUEHRENDE
BETRACHTUNGEN
UND
MODELLANNAHMEN
.................
23
2.2.2.
DYNAMISCHES
MODELL
DES
EINZELDRAHTES
.....................................
24
2.2.3.
STATISCHES
MODELL
DES
EINZELDRAHTES
.........................................
27
2.2.4.
POTENTIELLE
ENERGIE
DES
DRAHTES
UND
FORMULIERUNG
DES
OPTI
MIERUNGSPROBLEMS
...........................................................
28
2.2.5.
DISKRETISIERUNG
DES
KONTAKTMODELLS
.........................................
30
2.2.6.
VERGLEICH
VERSCHIEDENER
MODELLVARIANTEN
..................................
32
2.2.7.
ANWENDUNG
DER
MULTIPARAMETRISCHEN
QUADRATISCHEN
OPTIMIERUNG
35
2.2.8.
REKAPITULATION
KONTAKTMODELL
..................................................
38
2.3.
PARAMETRISCHES
ABTRAGMODELL
..................................................................
39
2.3.1.
EINFUEHRENDE
BETRACHTUNGEN
........................................................
39
2.3.2.
ABTRAG
OHNE
BERUECKSICHTIGUNG
DER
DRAHTALTERUNG
...................
41
2.3.3.
ABTRAG
UNTER
BERUECKSICHTIGUNG
DER
DRAHTALTERUNG
DURCH
SAEGEN
IM
SILIZIUM
....................................................................................
46
2.3.4.
ABTRAG
UNTER
BERUECKSICHTIGUNG
DER
DRAHTALTERUNG
DURCH
SAEGEN
IN
DEN
HILFSSTOFFEN
........................................................................
53
2.3.5.
UEBERSICHT
ABTRAGMODELL
..............................................................
61
2.4.
DRAHTTRANSFORMATIONSMODELLE
..................................................................
62
2.5.
REZEPTMODELL
..............................................................................................
65
2.6.
UEBERBLICK
UEBER
DAS
GESAMTMODELL
........................................................
68
2.7.
IMPLEMENTIERUNG
IN
DER
SIMULATIONSUMGEBUNG
.....................................
71
3.
IDENTIFIKATION
DER
MODELLPARAMETER
UND
MODELLVALIDIERUNG
75
3.1.
MESSDATEN
UND
EXPERIMENTE
..................................................................
75
3.2.
METHODIK
DER
PARAMETERIDENTIFIKATION
..................................................
79
3.2.1.
PARAMETERIDENTIFIKATION
MITTELS
OPTIMIERUNG
............................
79
3.2.2.
BEURTEILUNG
DER
MODELLGUETE
........................................................
82
3.3.
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
........................................................................
85
INHALTSVERZEICHNIS
VII
4.
ANSAETZE
ZUR
REZEPTOPTIMIERUNG
95
4.1.
ZIELSETZUNGEN
UND
GRUNDLAGEN
..............................................................
95
4.2.
ANALYSE
DER
PROZESS
VARIABLEN
IM
QUASISTATIONAEREN
ZUSTAND
...............
98
4.3.
BESCHREIBUNG
VERSCHIEDENER
METHODEN
ZUR
ERHOEHUNG
DES
ABTRAGES
.
.
104
4.3.1.
VORGEHENSWEISEN
ZUR
VERTEILUNG
DER
DRAHTARBEIT
.........................
104
4.3.2.
OPTIMIERUNG
VON
REZEPTEN
MIT
VARIABLEM
DRAHTNETTOVORSCHUB
106
4.3.3.
REGELUNG
DES
DRAHTSAEGEPROZESSES
.................................................
120
4.3.4.
KOMBINATION
DER
VERSCHIEDENEN
METHODEN
..................................
123
4.4.
SIMULATIONSBASIERTER
VERGLEICH
VERSCHIEDENER
REZEPTE
............................
124
4.4.1.
REFERENZSZENARIO:
RELOAD
MIT
PROZESSSTEUERUNG
.........................
126
4.4.2.
RELOAD
MIT
PROZESSREGELUNG
...........................................................
127
4.4.3.
REWIND
MIT
PROZESSREGELUNG
...........................................................
129
4.4.4.
RELOCATE
MIT
PROZESSREGELUNG
........................................................
130
4.4.5.
CONTINUOUS
RELOCATE
MIT
PROZESSREGELUNG
..................................
131
4.4.6.
ABSCHLIESSENDE
BETRACHTUNGEN
.....................................................
133
5.
EXPERIMENTELLE
VALIDIERUNG
DER
REZEPTOPTIMIERUNG
139
5.1.
UEBERLEGUNGEN
ZUR
PLANUNG
UND
DURCHFUEHRUNG
DER
VERSUCHE
...............
139
5.2.
ABGLEICH
MIT
DEM
SIMULATIONSMODELL
........................................................
140
5.3.
AUSWERTUNG
UND
DISKUSSION
DER
VERSUCHSERGEBNISSE
...............................
141
6.
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
145
LITERATURVERZEICHNIS
149
SYMBOL-
UND
ABKUERZUNGSVERZEICHNIS
160
ABBILDUNGSVERZEICHNIS
166
TABELLENVERZEICHNIS
170
A.
HERLEITUNG
DIFFERENZENFORMEL
FUER
NICHT
AEQUIDISTANTE
SCHRITTWEITEN
171
B.
JACOBI-MATRIZEN
DES
SIMULATIONSMODELLS
174
B.L.
JACOBI-MATRIX
DES
ABTRAGMODELLS
..............................................................
175
B.2.
JACOBI-MATRIX
DES
KONTAKTMODELLS
...........................................................
177
B.3.
JACOBI-MATRIX
DER
DRAHTTRANSFORMATIONSMODELLE
.....................................
178
C.
SIMULATIONSPARAMETER
182
D.
ANGABEN
ZU
DEN
MESSKAMPAGNEN
183
D.L.
VERSUCHSREIHE
A
..........................................................................................
183
D.2.
VERSUCHSREIHE
B
............................................................................................
185
D.3.
VERSUCHSREIHE
C
............................................................................................
187
D.4.
VERSUCHSREIHE
D
..........................................................................................
189
D.5.
VERSUCHSREIHE
E
............................................................................................
191
D.6.
VERSUCHSREIHE
F
............................................................................................
193
D.7.
VERSUCHSREIHE
G
..........................................................................................
195
|
| adam_txt |
INHALTSVERZEICHNIS
1.
EINLEITUNG
1
1.1.
EINORDNUNG
DER
ARBEIT
.
1
1.2.
BESCHREIBUNG
DES
DRAHTSAEGEPROZESSES
MIT
DIAMANTDRAHT
.
3
1.3.
TECHNISCH-WISSENSCHAFTLICHE
ZIELSETZUNGEN
.
5
1.4.
STAND
DER
TECHNIK
.
7
1.5.
GLIEDERUNG
DER
ARBEIT
.
14
2.
MODELLIERUNG
DES
DRAHTSAEGEPROZESSES
16
2.1:
UEBERBLICK
UND
NOTATION
.
16
2.2.
MODELL
FUER
DEN
KONTAKT
ZWISCHEN
DRAHT
UND
SILIZIUMBRICK
.
22
2.2.1.
EINFUEHRENDE
BETRACHTUNGEN
UND
MODELLANNAHMEN
.
23
2.2.2.
DYNAMISCHES
MODELL
DES
EINZELDRAHTES
.
24
2.2.3.
STATISCHES
MODELL
DES
EINZELDRAHTES
.
27
2.2.4.
POTENTIELLE
ENERGIE
DES
DRAHTES
UND
FORMULIERUNG
DES
OPTI
MIERUNGSPROBLEMS
.
28
2.2.5.
DISKRETISIERUNG
DES
KONTAKTMODELLS
.
30
2.2.6.
VERGLEICH
VERSCHIEDENER
MODELLVARIANTEN
.
32
2.2.7.
ANWENDUNG
DER
MULTIPARAMETRISCHEN
QUADRATISCHEN
OPTIMIERUNG
35
2.2.8.
REKAPITULATION
KONTAKTMODELL
.
38
2.3.
PARAMETRISCHES
ABTRAGMODELL
.
39
2.3.1.
EINFUEHRENDE
BETRACHTUNGEN
.
39
2.3.2.
ABTRAG
OHNE
BERUECKSICHTIGUNG
DER
DRAHTALTERUNG
.
41
2.3.3.
ABTRAG
UNTER
BERUECKSICHTIGUNG
DER
DRAHTALTERUNG
DURCH
SAEGEN
IM
SILIZIUM
.
46
2.3.4.
ABTRAG
UNTER
BERUECKSICHTIGUNG
DER
DRAHTALTERUNG
DURCH
SAEGEN
IN
DEN
HILFSSTOFFEN
.
53
2.3.5.
UEBERSICHT
ABTRAGMODELL
.
61
2.4.
DRAHTTRANSFORMATIONSMODELLE
.
62
2.5.
REZEPTMODELL
.
65
2.6.
UEBERBLICK
UEBER
DAS
GESAMTMODELL
.
68
2.7.
IMPLEMENTIERUNG
IN
DER
SIMULATIONSUMGEBUNG
.
71
3.
IDENTIFIKATION
DER
MODELLPARAMETER
UND
MODELLVALIDIERUNG
75
3.1.
MESSDATEN
UND
EXPERIMENTE
.
75
3.2.
METHODIK
DER
PARAMETERIDENTIFIKATION
.
79
3.2.1.
PARAMETERIDENTIFIKATION
MITTELS
OPTIMIERUNG
.
79
3.2.2.
BEURTEILUNG
DER
MODELLGUETE
.
82
3.3.
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
.
85
INHALTSVERZEICHNIS
VII
4.
ANSAETZE
ZUR
REZEPTOPTIMIERUNG
95
4.1.
ZIELSETZUNGEN
UND
GRUNDLAGEN
.
95
4.2.
ANALYSE
DER
PROZESS
VARIABLEN
IM
QUASISTATIONAEREN
ZUSTAND
.
98
4.3.
BESCHREIBUNG
VERSCHIEDENER
METHODEN
ZUR
ERHOEHUNG
DES
ABTRAGES
.
.
104
4.3.1.
VORGEHENSWEISEN
ZUR
VERTEILUNG
DER
DRAHTARBEIT
.
104
4.3.2.
OPTIMIERUNG
VON
REZEPTEN
MIT
VARIABLEM
DRAHTNETTOVORSCHUB
106
4.3.3.
REGELUNG
DES
DRAHTSAEGEPROZESSES
.
120
4.3.4.
KOMBINATION
DER
VERSCHIEDENEN
METHODEN
.
123
4.4.
SIMULATIONSBASIERTER
VERGLEICH
VERSCHIEDENER
REZEPTE
.
124
4.4.1.
REFERENZSZENARIO:
RELOAD
MIT
PROZESSSTEUERUNG
.
126
4.4.2.
RELOAD
MIT
PROZESSREGELUNG
.
127
4.4.3.
REWIND
MIT
PROZESSREGELUNG
.
129
4.4.4.
RELOCATE
MIT
PROZESSREGELUNG
.
130
4.4.5.
CONTINUOUS
RELOCATE
MIT
PROZESSREGELUNG
.
131
4.4.6.
ABSCHLIESSENDE
BETRACHTUNGEN
.
133
5.
EXPERIMENTELLE
VALIDIERUNG
DER
REZEPTOPTIMIERUNG
139
5.1.
UEBERLEGUNGEN
ZUR
PLANUNG
UND
DURCHFUEHRUNG
DER
VERSUCHE
.
139
5.2.
ABGLEICH
MIT
DEM
SIMULATIONSMODELL
.
140
5.3.
AUSWERTUNG
UND
DISKUSSION
DER
VERSUCHSERGEBNISSE
.
141
6.
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
145
LITERATURVERZEICHNIS
149
SYMBOL-
UND
ABKUERZUNGSVERZEICHNIS
160
ABBILDUNGSVERZEICHNIS
166
TABELLENVERZEICHNIS
170
A.
HERLEITUNG
DIFFERENZENFORMEL
FUER
NICHT
AEQUIDISTANTE
SCHRITTWEITEN
171
B.
JACOBI-MATRIZEN
DES
SIMULATIONSMODELLS
174
B.L.
JACOBI-MATRIX
DES
ABTRAGMODELLS
.
175
B.2.
JACOBI-MATRIX
DES
KONTAKTMODELLS
.
177
B.3.
JACOBI-MATRIX
DER
DRAHTTRANSFORMATIONSMODELLE
.
178
C.
SIMULATIONSPARAMETER
182
D.
ANGABEN
ZU
DEN
MESSKAMPAGNEN
183
D.L.
VERSUCHSREIHE
A
.
183
D.2.
VERSUCHSREIHE
B
.
185
D.3.
VERSUCHSREIHE
C
.
187
D.4.
VERSUCHSREIHE
D
.
189
D.5.
VERSUCHSREIHE
E
.
191
D.6.
VERSUCHSREIHE
F
.
193
D.7.
VERSUCHSREIHE
G
.
195 |
| any_adam_object | 1 |
| any_adam_object_boolean | 1 |
| author | Treyer, Daniel 1986- |
| author_GND | (DE-588)1219318965 |
| author_facet | Treyer, Daniel 1986- |
| author_role | aut |
| author_sort | Treyer, Daniel 1986- |
| author_variant | d t dt |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV047408401 |
| classification_rvk | ZM 8326 |
| ctrlnum | (OCoLC)1233037551 (DE-599)DNB1222696649 |
| discipline | Werkstoffwissenschaften / Fertigungstechnik |
| discipline_str_mv | Werkstoffwissenschaften / Fertigungstechnik |
| edition | 1. Auflage |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02593nam a2200577 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV047408401</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20211018 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">210810s2020 gw a||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="015" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">21,B04</subfield><subfield code="2">dnb</subfield></datafield><datafield tag="015" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">21,H02</subfield><subfield code="2">dnb</subfield></datafield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">1222696649</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">9783860126400</subfield><subfield code="c">Broschur</subfield><subfield code="9">978-3-86012-640-0</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)1233037551</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)DNB1222696649</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rda</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">XA-DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-83</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZM 8326</subfield><subfield code="0">(DE-625)160940:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="a">670</subfield><subfield code="2">23sdnb</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="8">2\p</subfield><subfield code="a">621.3</subfield><subfield code="2">23sdnb</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Treyer, Daniel</subfield><subfield code="d">1986-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)1219318965</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Modellbasierte Optimierung des Diamantdrahtsägeprozesses für die Fertigung von Siliziumwafern</subfield><subfield code="c">Daniel Treyer</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">1. Auflage</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Freiberg</subfield><subfield code="b">Technische Universität Bergakademie Freiberg</subfield><subfield code="c">[2020]</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">vii, 196 Seiten</subfield><subfield code="b">Illustrationen, Diagramme</subfield><subfield code="c">21 cm</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Berichte des Instituts für Mechanik und Fluiddynamik</subfield><subfield code="v">Heft 35 (2020)</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">Dissertation</subfield><subfield code="c">Technische Universität Bergakademie Freiberg</subfield><subfield code="d">2020</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Drahtsäge</subfield><subfield code="0">(DE-588)7635835-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Siliziumsolarzelle</subfield><subfield code="0">(DE-588)1135163685</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Prozessanalyse</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136607-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Prozessoptimierung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4176074-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Diamantwerkzeug</subfield><subfield code="0">(DE-588)4231271-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Drahtsäge</subfield><subfield code="0">(DE-588)7635835-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Diamantwerkzeug</subfield><subfield code="0">(DE-588)4231271-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Prozessoptimierung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4176074-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Prozessanalyse</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136607-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Siliziumsolarzelle</subfield><subfield code="0">(DE-588)1135163685</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Berichte des Instituts für Mechanik und Fluiddynamik</subfield><subfield code="v">Heft 35 (2020)</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV023259326</subfield><subfield code="9">35</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">B:DE-101</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/1222696649/04</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=032809331&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-032809331</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="2" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="a">dnb</subfield><subfield code="d">20210121</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#dnb</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="2" ind2=" "><subfield code="8">2\p</subfield><subfield code="a">dnb</subfield><subfield code="d">20210121</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#dnb</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV047408401 |
| illustrated | Illustrated |
| index_date | 2024-07-03T17:54:43Z |
| indexdate | 2024-07-10T09:11:18Z |
| institution | BVB |
| isbn | 9783860126400 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-032809331 |
| oclc_num | 1233037551 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-83 |
| owner_facet | DE-83 |
| physical | vii, 196 Seiten Illustrationen, Diagramme 21 cm |
| publishDate | 2020 |
| publishDateSearch | 2020 |
| publishDateSort | 2020 |
| publisher | Technische Universität Bergakademie Freiberg |
| record_format | marc |
| series | Berichte des Instituts für Mechanik und Fluiddynamik |
| series2 | Berichte des Instituts für Mechanik und Fluiddynamik |
| spelling | Treyer, Daniel 1986- Verfasser (DE-588)1219318965 aut Modellbasierte Optimierung des Diamantdrahtsägeprozesses für die Fertigung von Siliziumwafern Daniel Treyer 1. Auflage Freiberg Technische Universität Bergakademie Freiberg [2020] vii, 196 Seiten Illustrationen, Diagramme 21 cm txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Berichte des Instituts für Mechanik und Fluiddynamik Heft 35 (2020) Dissertation Technische Universität Bergakademie Freiberg 2020 Drahtsäge (DE-588)7635835-5 gnd rswk-swf Siliziumsolarzelle (DE-588)1135163685 gnd rswk-swf Prozessanalyse (DE-588)4136607-4 gnd rswk-swf Prozessoptimierung (DE-588)4176074-8 gnd rswk-swf Diamantwerkzeug (DE-588)4231271-1 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Drahtsäge (DE-588)7635835-5 s Diamantwerkzeug (DE-588)4231271-1 s Prozessoptimierung (DE-588)4176074-8 s Prozessanalyse (DE-588)4136607-4 s Siliziumsolarzelle (DE-588)1135163685 s DE-604 Berichte des Instituts für Mechanik und Fluiddynamik Heft 35 (2020) (DE-604)BV023259326 35 B:DE-101 application/pdf https://d-nb.info/1222696649/04 Inhaltsverzeichnis DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=032809331&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis 1\p dnb 20210121 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#dnb 2\p dnb 20210121 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#dnb |
| spellingShingle | Treyer, Daniel 1986- Modellbasierte Optimierung des Diamantdrahtsägeprozesses für die Fertigung von Siliziumwafern Berichte des Instituts für Mechanik und Fluiddynamik Drahtsäge (DE-588)7635835-5 gnd Siliziumsolarzelle (DE-588)1135163685 gnd Prozessanalyse (DE-588)4136607-4 gnd Prozessoptimierung (DE-588)4176074-8 gnd Diamantwerkzeug (DE-588)4231271-1 gnd |
| subject_GND | (DE-588)7635835-5 (DE-588)1135163685 (DE-588)4136607-4 (DE-588)4176074-8 (DE-588)4231271-1 (DE-588)4113937-9 |
| title | Modellbasierte Optimierung des Diamantdrahtsägeprozesses für die Fertigung von Siliziumwafern |
| title_auth | Modellbasierte Optimierung des Diamantdrahtsägeprozesses für die Fertigung von Siliziumwafern |
| title_exact_search | Modellbasierte Optimierung des Diamantdrahtsägeprozesses für die Fertigung von Siliziumwafern |
| title_exact_search_txtP | Modellbasierte Optimierung des Diamantdrahtsägeprozesses für die Fertigung von Siliziumwafern |
| title_full | Modellbasierte Optimierung des Diamantdrahtsägeprozesses für die Fertigung von Siliziumwafern Daniel Treyer |
| title_fullStr | Modellbasierte Optimierung des Diamantdrahtsägeprozesses für die Fertigung von Siliziumwafern Daniel Treyer |
| title_full_unstemmed | Modellbasierte Optimierung des Diamantdrahtsägeprozesses für die Fertigung von Siliziumwafern Daniel Treyer |
| title_short | Modellbasierte Optimierung des Diamantdrahtsägeprozesses für die Fertigung von Siliziumwafern |
| title_sort | modellbasierte optimierung des diamantdrahtsageprozesses fur die fertigung von siliziumwafern |
| topic | Drahtsäge (DE-588)7635835-5 gnd Siliziumsolarzelle (DE-588)1135163685 gnd Prozessanalyse (DE-588)4136607-4 gnd Prozessoptimierung (DE-588)4176074-8 gnd Diamantwerkzeug (DE-588)4231271-1 gnd |
| topic_facet | Drahtsäge Siliziumsolarzelle Prozessanalyse Prozessoptimierung Diamantwerkzeug Hochschulschrift |
| url | https://d-nb.info/1222696649/04 http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=032809331&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV023259326 |
| work_keys_str_mv | AT treyerdaniel modellbasierteoptimierungdesdiamantdrahtsageprozessesfurdiefertigungvonsiliziumwafern |
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