Hochfrequent fokusabstandsmodulierte Konfokalsensoren für die Nanokoordinatenmesstechnik:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Erlangen
FAU University Press
2021
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| Schriftenreihe: | FAU Studien aus dem Maschinenbau
Band 370 |
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| spelling | Gröschl, Andreas (DE-588)1238369324 aut Hochfrequent fokusabstandsmodulierte Konfokalsensoren für die Nanokoordinatenmesstechnik Andreas Gröschl High-speed focal-distance-modulated confocal sensors for nano coordinate measuring systems Erlangen FAU University Press 2021 x, 144 Seiten Illustrationen, Diagramme txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier FAU Studien aus dem Maschinenbau Band 370 Dissertation Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg 2021 Konfokaltechnik (DE-588)123993422X gnd rswk-swf Optisches System (DE-588)4126186-0 gnd rswk-swf Sensortechnik (DE-588)4121663-5 gnd rswk-swf Nanometerbereich (DE-588)4327473-0 gnd rswk-swf Koordinatenmessgerät (DE-588)4192228-1 gnd rswk-swf Konfokale Mikroskopie (DE-588)4336446-9 gnd rswk-swf Koordinatenmesstechnik (DE-588)4132966-1 gnd rswk-swf Oberflächenmessung (DE-588)4172249-8 gnd rswk-swf Nanotechnologie (DE-588)4327470-5 gnd rswk-swf Nanokoordinatenmesstechnik Oberflächenmesstechnik Konfokalsensoren (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Nanotechnologie (DE-588)4327470-5 s Koordinatenmesstechnik (DE-588)4132966-1 s Oberflächenmessung (DE-588)4172249-8 s Konfokale Mikroskopie (DE-588)4336446-9 s Sensortechnik (DE-588)4121663-5 s DE-604 Nanometerbereich (DE-588)4327473-0 s Koordinatenmessgerät (DE-588)4192228-1 s Optisches System (DE-588)4126186-0 s Konfokaltechnik (DE-588)123993422X s Erscheint auch als Online-Ausgabe 10.25593/978-3-96147-436-3 urn:nbn:de:bvb:29-opus4-169749 FAU Studien aus dem Maschinenbau Band 370 (DE-604)BV045445989 370 https://open.fau.de/handle/openfau/16974 Verlag kostenfrei Volltext https://doi.org/10.25593/978-3-96147-436-3 Resolving-System kostenfrei Volltext https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:29-opus4-169749 Resolving-System kostenfrei Volltext http://d-nb.info/1238359140/34 Langzeitarchivierung Nationalbibliothek kostenfrei Volltext 1\p npi 20210806 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#npi |
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