Nanofabrication: nanolithography techniques and their applications
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Teresa, José Maria de (HerausgeberIn)
Format: Elektronisch E-Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Bristol, UK IOP Publishing [2020]
Ausgabe:Version: 20201201
Schriftenreihe:IOP ebooks
Schlagworte:
Online-Zugang:TUM01
UBR01
Volltext
Beschreibung:1 Online-Ressource (450 Seiten in verschiedenen Seitenzählungen)
ISBN:9780750326087
DOI:10.1088/978-0-7503-2608-7

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