Neuartige Vertikallaserdioden mit integriertem Phototransistor:
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
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Format: | Abschlussarbeit Buch |
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Veröffentlicht: |
Ulm
[2020]
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adam_text | INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1
2
THEORETISCHE
GRUNDLAGEN
5
2.1
VCSELS
.............................................................................................................
5
2.1.1
AUFBAU
UND
EPITAXIE
...........................................................................
5
2.1.2
FUNKTIONSWEISE
.....................................................................................
7
2.1.3
BRAGG-REFLEKTOREN
.................................................................................
11
2.1.4
STROMFUEHRUNG
.......................................................................................
13
2.1.5
VOSEE-(CHARAKTERISTIKEN
.....................................................................
19
2.2
PHOTOTRANSISTOREN
..............................................................................................
22
2.2.1
AUFBAU
....................................................................................................
22
2.2.2
FUNKTIONSWEISE
.....................................................................................
25
2.2.3
PHOTOSTROMVERSTAERKUNG
........................................................................
26
2.2.4
HETEROSTRUKTUR-PT
...............................................................................
30
2.2.5
PT-CHARAKTERISTIKEN
.......................................
31
2.2.6
RESONANTER
PT
.....................................................................................
34
2.3
PT-INTEGRIERTE
OPTOELEKTRONISCHE
BAUTEILE
.......................................................
35
2.3.1
GESCHICHTE
..............................................................................................
35
2.3.2
OPTISCHE
SCHALTER
.................................................................................
38
2.3.3
PT-VCSEL
...........................................................................................
43
I
II
INHALTSVERZEICHNIS
3
DESIGN
UND
HERSTELLUNG
51
3.1
PT
.......................................................................................................................
51
3.1.1
SCHICHTAUFBAU
UND
VARIATIONEN
..........................................................
51
3.1.2
PROZESSIERUNG
........................................................................................
55
3.2
RCE-PT
..............................................................................................................
59
3.2.1
SCHICHTAUFBAU
........................................................................................
59
3.2.2
PROZESSIERUNG
........................................................................................
60
3.3
HYBRIDER
PT-VCSEL
........................................................................................
62
3.3.1
BOTTOM-EMITTER
.....................................................................................
62
3.3.2
TOP-EMITTER
...........................................................................................
63
3.4
PT-VCSEL
........................................................................................................
65
3.4.1
SCHICHTAUFBAU
UND
VARIATIONEN
...........................................................
65
3.4.2
BOTTOM-EMITTER
.....................................................................................
68
3.4.3
TOP-EMITTER
...........................................................................................
70
3.4.4
PT-VCSEL
MIT
OPTISCHER
FUEHRUNG
....................................................
74
3.5
PROBENUEBERSICHT
.................................................................................................
80
4
CHARAKTERISIERUNG
81
4.1
PT
.......................................................................................................................
81
4.1.1
AUSGANGSCHARAKTERISTIK
.........................................................................
81
4.1.2
SPEKTRALE
MESSUNGEN
............................................................................
86
4.1.3
STEIGERUNG
DER
STROMVERSTAERKUNG
.......................................................
88
4.2
HYBRIDER
PT-VCSEL
........................................................................................
91
4.2.1
BOTTOM-EMITTER
.....................................................................................
91
4.2.2
TOP-EMITTER
...........................................................................................
93
4.3
PT-VCSEL
.......................................................................................................
95
4.3.1
BOTTOM-EMITTER
.....................................................................................
96
4.3.2
TOP-EMITTER
...........................................................................................
99
4.4
PARALLEL
BETRIEBENE
PT-VCSEL-ARRAYS
............................................................
104
4.5
OPTISCHE
MANIPULATION
DER
STROMAPERTUR
.........................................................
108
INHALTSVERZEICHNIS
III
5
SIMULATIONSMODELL
FUER
PT-VCSEL
115
5.1
MODELLBLOECKE
......................................................................................................
115
5.1.1
WINKELABHAENGIGE
REFLEKTIVITAET
...............................................................
116
5.1.2
DATEN-BIBLIOTHEK
....................................................................................
119
5.1.3
SIMULATION
DES
EINSCHALTPROZESSES
.........................................................
122
5.1.4
WIDERSTANDSMODELLE
..............................................................................
124
5.2
ERGEBNISSE
............................................................................................................
129
5.2.1
EINSCHALTPROZESS
BEI
BOTTOM-EMITTERN
................................................
129
5.2.2
EINFLUSS
DES
LIMITS
UND
DES
LATERALEN
WIDERSTANDS
..............................
131
5.2.3
EINSCHALTPROZESS
BEI
TOP-EMITTERN
......................................................
135
5.2.4
PARALLEL
BETRIEBENES
PT-VCSEL-ARRAY
................................................
137
6
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
151
A
MESSAUFBAU
157
A.L
ANORDNUNG
UND
FUNKTIONALITAET
..........................................................................
157
A.
2
VERWENDETER
PROBENHALTER
................................................................................
159
B
SCHICHTSTRUKTUREN
161
B.
L
PHOTOTRANSISTOREN
...............................................................................................
161
B.2
RESONANTER
PT
..................................................................................................
163
B.3
PT-VCSEL
........................................................................................................
164
C
LITHOGRAFISCHE
MASKEN
169
D
PROZESSIERUNGSPROTOKOLLE
177
E
INDEX
MATHEMATISCHER
SYMBOLE
UND
ABKUERZUNGEN
189
WISSENSCHAFTLICHE
PUBLIKATIONEN
199
LITERATURVERZEICHNIS
201
|
adam_txt |
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1
2
THEORETISCHE
GRUNDLAGEN
5
2.1
VCSELS
.
5
2.1.1
AUFBAU
UND
EPITAXIE
.
5
2.1.2
FUNKTIONSWEISE
.
7
2.1.3
BRAGG-REFLEKTOREN
.
11
2.1.4
STROMFUEHRUNG
.
13
2.1.5
VOSEE-(CHARAKTERISTIKEN
.
19
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.
22
2.2.1
AUFBAU
.
22
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FUNKTIONSWEISE
.
25
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PHOTOSTROMVERSTAERKUNG
.
26
2.2.4
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.
30
2.2.5
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.
31
2.2.6
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.
34
2.3
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OPTOELEKTRONISCHE
BAUTEILE
.
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2.3.1
GESCHICHTE
.
35
2.3.2
OPTISCHE
SCHALTER
.
38
2.3.3
PT-VCSEL
.
43
I
II
INHALTSVERZEICHNIS
3
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UND
HERSTELLUNG
51
3.1
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.
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3.1.1
SCHICHTAUFBAU
UND
VARIATIONEN
.
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3.1.2
PROZESSIERUNG
.
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3.2.1
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FUEHRUNG
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.
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4.1.2
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4.1.3
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STROMVERSTAERKUNG
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.
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4.5
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MANIPULATION
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STROMAPERTUR
.
108
INHALTSVERZEICHNIS
III
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FUER
PT-VCSEL
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5.1
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5.1.3
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EINSCHALTPROZESSES
.
122
5.1.4
WIDERSTANDSMODELLE
.
124
5.2
ERGEBNISSE
.
129
5.2.1
EINSCHALTPROZESS
BEI
BOTTOM-EMITTERN
.
129
5.2.2
EINFLUSS
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LATERALEN
WIDERSTANDS
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131
5.2.3
EINSCHALTPROZESS
BEI
TOP-EMITTERN
.
135
5.2.4
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BETRIEBENES
PT-VCSEL-ARRAY
.
137
6
ZUSAMMENFASSUNG
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AUSBLICK
151
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MESSAUFBAU
157
A.L
ANORDNUNG
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FUNKTIONALITAET
.
157
A.
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161
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177
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