Gepulste Laserabscheidung von piezoelektrischen Pb(Zr,Ti)O3-Dünnschichten zur Anwendung in mikroelektromechanischen Systemen:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Düren
Shaker Verlag
2019
|
| Schriftenreihe: | Microactuators - Design and Technology
volume 18 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | vi, 165 Seiten Illustrationen, Diagramme 24 cm x 17 cm, 370 g |
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Datensatz im Suchindex
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|---|---|
| adam_text | INHALTSVERZEICHNIS
1.
EINLEITUNG
UND
ZIELSETZUNG
1
2.
GRUNDLAGEN
5
2.1.
DER
PIEZOELEKTRISCHE
EFFEKT
..........................................................................
5
2.2.
BLEI-ZIRKONAT-TITANAT
...................................................................................
10
2.2.1.
STRUKTURELLE
EIGENSCHAFTEN
.............................................................
10
2.2.2.
ELEKTRISCHE
EIGENSCHAFTEN
.............................................................
13
2.3.
STATISTISCHE
VERSUCHSPLANUNG
(DOE)
..........................................................
17
3.
MATERIALIEN
UND
METHODEN
19
3.1.
GEPULSTE
LASERABSCHEIDUNG
..........................................................................
19
3.2.
PROZESSTECHNOLOGIE
......................................................................................
24
3.3.
STRUKTURELLE
CHARAKTERISIERUNGSMETHODEN
.................................................
29
3.3.1.
RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE
..........................................................
29
3.3.2.
ROENT
GENDIFFRAKT
OMETRIE
....................................................................
29
3.3.3.
ROENTGENFLUORESZENZANALYSE
.............................................................
31
3.4.
ELEKTRISCHE
CHARAKTERISIERUNGSMETHODEN
.................................................
32
3.4.1.
LECKSTROMMESSUNGEN
.......................................................................
32
3.4.2.
DURCHBRUCHSMESSUNG
.......................................................................
35
3.4.3.
KAPAZITAETSMESSUNG
..........................................................................
37
3.4.4.
POLARISATIONSMESSUNG
.......................................................................
38
3.4.5.
E
3
IJ-MESSUNG
...................................................................................
40
3.5.
STATISTISCHE
VERSUCHSPLANUNG
.......................................................................
44
3.5.1.
EINFLUSS-
UND
ZIELGROESSEN
DER
DOE
.................................................
44
3.5.2.
AUFBAU
DER
STATISTISCHEN
VERSUCHSPLANUNG
..................................
47
4.
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
49
4.1.
PROZESS-VORUNTERSUCHUNGEN
..........................................................................
49
4.1.1.
EINFLUESSE
NACHFOLGENDER
MEMS-PROZESSE
.....................................
50
4.1.2.
EINFLUSS
DES
TOPELEKTRODENMATERIALS
..............................................
57
4.1.3.
EINFLUSS
DES
UNTERHAUS
....................................................................
59
4.1.4.
ZUSAMMENFASSUNG
.............................................................................
62
4.2.
EMPIRISCHE
AUSWERTUNG
DER
DOE
.............................................................
64
4.2.1.
REGRESSIONSANALYSE
..........................................................................
65
4.2.2.
HAUPTEINFLUSSGROESSEN
.......................................................................
69
4.2.3.
EINFLUSS
DER
LNO-ABSCHEIDEPARAMETER
........................................
75
4.2.4.
KORRELATION
DER
ZIELGROESSEN
...............................................................
77
4.2.5.
DISKUSSION
UND
ZUSAMMENFASSUNG
..................................................
80
4.3.
EINFLUSS
VON
DRUCK
UND
TEMPERATUR
...........................................................
83
4.3.1.
EINFLUSS
AUF
DIE
MIKROSTRUKTUR
.........................................................
84
4.3.2.
EINFLUSS
AUF
(PIEZO-)
ELEKTRISCHE
EIGENSCHAFTEN
............................
88
4.3.3.
DISKUSSION
UND
ZUSAMMENFASSUNG
..................................................
91
4.4.
TIEFTEMPERATURABSCHEIDUNG
VON
PZT
........................................................
94
4.4.1.
ERHOEHUNG
DER
ABSCHEIDERATE
...........................................................
94
4.4.2.
VERRINGERUNG
DER
TEMPERATUR
UND
DES
DRUCKES
.................................
101
4.4.3.
TIEFTEMPERATURABSCHEIDUNG
AUF
OPTIMIERTER
L
N
O-
ST
ART
SCHICHT
.
106
4.4.4.
ZUSAMMENFASSUNG
.................................................................................
115
5.
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
117
5.1.
ZUSAMMENFASSUNG
..............................................................................................
117
5.2.
AUSBLICK
.............................................................................................................
119
A.
ANHANG
121
A.L.
METHODEN
UND
MATERIALIEN
..............................................................................
121
A.1.1.
BIEGEBALKENLAYOUTS
..............................................................................
121
A.1.2.
MESSUNG
DES
DIREKTEN
PIEZOELEKTRISCHEN
EFFEKTES
............................
122
A.2.
STATISTISCHE
VERSUCHSPLANUNG
(DOE)
...............................................................
123
A.2.1.
VERSUCHSPLAN
.......................................................................................
123
A.2.2.
RESIDUENANAYLSE
NACH
SCHRITTWEISER
REGRESSION
...............................
124
A.2.3.
KOEFFIZIENTENTABELLEN
NACH
SCHRITTWEISER
REGRESSION
......................
130
A.2.4.
PARETODIAGRAMME
DER
SIGNIFIKANTEN
EFFEKTE
.....................................
135
A.2.5.
BOXPLOTS
ZUR
EVALUATION
DER
REGIME
...............................................
137
A.3.
EINFLUSS
VON
DRUCK
UND
TEMPERATUR
...............................................................
138
LITERATURVERZEICHNIS
145
II
|
| adam_txt |
INHALTSVERZEICHNIS
1.
EINLEITUNG
UND
ZIELSETZUNG
1
2.
GRUNDLAGEN
5
2.1.
DER
PIEZOELEKTRISCHE
EFFEKT
.
5
2.2.
BLEI-ZIRKONAT-TITANAT
.
10
2.2.1.
STRUKTURELLE
EIGENSCHAFTEN
.
10
2.2.2.
ELEKTRISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
13
2.3.
STATISTISCHE
VERSUCHSPLANUNG
(DOE)
.
17
3.
MATERIALIEN
UND
METHODEN
19
3.1.
GEPULSTE
LASERABSCHEIDUNG
.
19
3.2.
PROZESSTECHNOLOGIE
.
24
3.3.
STRUKTURELLE
CHARAKTERISIERUNGSMETHODEN
.
29
3.3.1.
RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE
.
29
3.3.2.
ROENT
GENDIFFRAKT
OMETRIE
.
29
3.3.3.
ROENTGENFLUORESZENZANALYSE
.
31
3.4.
ELEKTRISCHE
CHARAKTERISIERUNGSMETHODEN
.
32
3.4.1.
LECKSTROMMESSUNGEN
.
32
3.4.2.
DURCHBRUCHSMESSUNG
.
35
3.4.3.
KAPAZITAETSMESSUNG
.
37
3.4.4.
POLARISATIONSMESSUNG
.
38
3.4.5.
E
3
IJ-MESSUNG
.
40
3.5.
STATISTISCHE
VERSUCHSPLANUNG
.
44
3.5.1.
EINFLUSS-
UND
ZIELGROESSEN
DER
DOE
.
44
3.5.2.
AUFBAU
DER
STATISTISCHEN
VERSUCHSPLANUNG
.
47
4.
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
49
4.1.
PROZESS-VORUNTERSUCHUNGEN
.
49
4.1.1.
EINFLUESSE
NACHFOLGENDER
MEMS-PROZESSE
.
50
4.1.2.
EINFLUSS
DES
TOPELEKTRODENMATERIALS
.
57
4.1.3.
EINFLUSS
DES
UNTERHAUS
.
59
4.1.4.
ZUSAMMENFASSUNG
.
62
4.2.
EMPIRISCHE
AUSWERTUNG
DER
DOE
.
64
4.2.1.
REGRESSIONSANALYSE
.
65
4.2.2.
HAUPTEINFLUSSGROESSEN
.
69
4.2.3.
EINFLUSS
DER
LNO-ABSCHEIDEPARAMETER
.
75
4.2.4.
KORRELATION
DER
ZIELGROESSEN
.
77
4.2.5.
DISKUSSION
UND
ZUSAMMENFASSUNG
.
80
4.3.
EINFLUSS
VON
DRUCK
UND
TEMPERATUR
.
83
4.3.1.
EINFLUSS
AUF
DIE
MIKROSTRUKTUR
.
84
4.3.2.
EINFLUSS
AUF
(PIEZO-)
ELEKTRISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
88
4.3.3.
DISKUSSION
UND
ZUSAMMENFASSUNG
.
91
4.4.
TIEFTEMPERATURABSCHEIDUNG
VON
PZT
.
94
4.4.1.
ERHOEHUNG
DER
ABSCHEIDERATE
.
94
4.4.2.
VERRINGERUNG
DER
TEMPERATUR
UND
DES
DRUCKES
.
101
4.4.3.
TIEFTEMPERATURABSCHEIDUNG
AUF
OPTIMIERTER
L
N
O-
ST
ART
SCHICHT
.
106
4.4.4.
ZUSAMMENFASSUNG
.
115
5.
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
117
5.1.
ZUSAMMENFASSUNG
.
117
5.2.
AUSBLICK
.
119
A.
ANHANG
121
A.L.
METHODEN
UND
MATERIALIEN
.
121
A.1.1.
BIEGEBALKENLAYOUTS
.
121
A.1.2.
MESSUNG
DES
DIREKTEN
PIEZOELEKTRISCHEN
EFFEKTES
.
122
A.2.
STATISTISCHE
VERSUCHSPLANUNG
(DOE)
.
123
A.2.1.
VERSUCHSPLAN
.
123
A.2.2.
RESIDUENANAYLSE
NACH
SCHRITTWEISER
REGRESSION
.
124
A.2.3.
KOEFFIZIENTENTABELLEN
NACH
SCHRITTWEISER
REGRESSION
.
130
A.2.4.
PARETODIAGRAMME
DER
SIGNIFIKANTEN
EFFEKTE
.
135
A.2.5.
BOXPLOTS
ZUR
EVALUATION
DER
REGIME
.
137
A.3.
EINFLUSS
VON
DRUCK
UND
TEMPERATUR
.
138
LITERATURVERZEICHNIS
145
II |
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