Elastizitätsmodul und Bruchfestigkeit von Poly-Silizium-Membranen kommerzieller MEMS-Mikrofone:
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Düren
Shaker Verlag
2019
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| Schriftenreihe: | Berichte aus der Halbleitertechnik
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| Beschreibung: | xiv, 162 Seiten Diagramme, Illustrationen |
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