Verfügbarkeit: Induktiv gekoppelte maskenlose Plasmatexturierung von kristallinem Silizium durch SF6/O2 für die industrielle Photovoltaik

Induktiv gekoppelte maskenlose Plasmatexturierung von kristallinem Silizium durch SF6/O2 für die industrielle Photovoltaik:

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Hirsch, Jens 1985- (VerfasserIn)
Format:	Abschlussarbeit Buch
Sprache:	German
Veröffentlicht:	Halle-Wittenberg 2018
Schlagworte:	Silicium Fotovoltaik Hochschulschrift
Online-Zugang:	Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis
Beschreibung:	Die vorliegende Dissertation wir im Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS als wissenschaftlicher Bericht mit folgender Berichtsnummer geführt: 594/2018
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adam_text	INHALTSVERZEICHNIS PHYSIKALISCHE GROESSEN 1 ABKUERZUNGSVERZEICHNIS 4 1 MOTIVATION UND ZIELSTELLUNG 7 2 GRUNDLAGEN DER PLASMA-AETZTECHNIK 10 2.1 INDUKTIVE UND KAPAZITIVE PLASMAEINKOPPLUNG ........................................ 10 2.2 REAKTIVES IONENAETZEN VON SILIZIUM MIT SF 6 /C 2 ..................................... 13 2.3 PLASMAINDUZIERTE SCHAEDIGUNG/VERUNREINIGUNG ..................................... 15 3 PHYSIKALISCHE GRUNDLAGEN 18 3.1 FRESNELSCHE GLEICHUNGEN .......................................................................... 18 3.2 EFFEKTIV-MEDIUM-THEORIE .............................................................................. 20 3.3 TRANSFER-MATRIX-METHODE .............................................................................. 22 3.4 FINITE-DIFFERENZEN-METHODE IM ZEITBEREICH ............................................... 23 3.5 OBERFLAECHENREKOMBINATION ........................................................................... 26 4 VERWENDETE MITTEL UND METHODEN 29 4.1 BLACK-SILICON-METHODE ................................................................................. 29 4.2 REFLEXIONS- UND TRANSMISSIONSMESSUNG ..................................................... 30 4.3 QUASISTATIONAERE PHOTOLEITFAEHIGKEITSMESSUNG ............................................... 32 5 ERGEBNISSE 34 5.1 EXPERIMENTELLE ERGEBNISSE ........................................................................... 34 5.1.1 REM-AUFNAHMEN .............................................................................. 34 5.1.2 REFLEXIONSGRADMESSUNG ..................................................................... 37 5.1.3 PROZESSFENSTER UND -ZEIT .................................................................. 39 5.1.4 ICP-MS ANALYSE .............................................................................. 43 5.1.5 QSSPC-ERGEBNISSE ........................................................................... 45 5.1.6 ELEKTRISCHE EIGENSCHAFTEN ............................................................... 48 5.2 SIMULIERTE ERGEBNISSE .................................................................................... 51 5.2.1 FDTD-SIMULATION .............................................................................. 51 5.2.2 TMM-SIMULATION .............................................................................. 55 5.2.3 PO 1 B-SIMULATION .............................................................................. 59 5 INHALTSVERZEICHNIS 6 DISKUSSION 63 6.1 PROZESSKONZEPT .............................................................................................. 63 6.2 OBERFLAECHENMORPHOLOGIE .............................................................................. 65 6.3 OPTISCHE EIGENSCHAFTEN ................................................................................. 68 6.4 WIRKUNGSGRADOPTIMIERUNG ........................................................................... 74 6.5 NASSCHEMISCHE NACHREINIGUNG ..................................................................... 82 7 ZUSAMMENFASSUNG 85 8 AUSBLICK 89 9 ANLAGEN 91 9.1 MATLAB SKRIPT ZUR LD-FDTD SIMULATION ................................................. 91 9.2 MATLAB SKRIPT ZUR 2D-FDTD SIMULATION ................................................. 94 AUSGEWAEHLTE VEROEFFENTLICHUNGEN 99 LITERATURVERZEICHNIS 101 ANGABEN ZUR PERSON 109 ERKLAERUNGEN 110 DANKSAGUNG 111 6
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