Posseme, N. (2015). Plasma etching processes for interconnect realization in VLSI. ISTE Press.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Posseme, Nicolas. Plasma Etching Processes for Interconnect Realization in VLSI. London: ISTE Press, 2015.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Posseme, Nicolas. Plasma Etching Processes for Interconnect Realization in VLSI. ISTE Press, 2015.
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