SreeHarsha, K. S. (2006). Principles of physical vapor deposition of thin films. Elsevier.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)SreeHarsha, K. S. Principles of Physical Vapor Deposition of Thin Films. Amsterdam Boston London: Elsevier, 2006.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)SreeHarsha, K. S. Principles of Physical Vapor Deposition of Thin Films. Elsevier, 2006.
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