Herman, I. P. (1996). Optical diagnostics for thin film processing. Academic Press.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Herman, Irving P. Optical Diagnostics for Thin Film Processing. San Diego, CA: Academic Press, 1996.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Herman, Irving P. Optical Diagnostics for Thin Film Processing. Academic Press, 1996.
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