Holdings: Implementierung von Geradheitsmessungen am Nanometerkomparator der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt

Implementierung von Geradheitsmessungen am Nanometerkomparator der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt:

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Bibliographic Details
Main Author:	Weichert, Christoph (Author)
Format:	Thesis Book
Language:	German
Published:	Braunschweig Physikalisch-Technische Bundesanstalt [2016] Bremen Fachverlag NW in der Carl Schünemann Verlag GmbH [2016]
Series:	PTB-Bericht F, Fertigungsmesstechnik ; 57 (November 2016)
Subjects:	Komparator > Längenmessung Positioniergenauigkeit Kalibrieren > Messtechnik Abweichung Interferometer Nanometerbereich Unsicherheit Präzisionsmessung Fertigungsmesstechnik Multisensor Geradheitsmessung Implemetierung Kalibrierung Nanometerkomparator PTB Positionsabweichung Hochschulschrift
Online Access:	Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis
Physical Description:	136 Seiten Illustrationen 30 cm, 435 g
ISBN:	9783956062971 3956062973

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adam_text	INHALTSVERZEICHNIS 1 EINLEITUNG UND MOTIVATION 8 1.1 AUSGANGSPUNKT FUER GERADHEITSMESSUNGEN AM N ANOM ETERKOM PARATOR . 8 1.2 ZIELSETZUNG DIESER A RB E IT. 11 2 THEORETISCHE GRUNDLAGEN DER VERWENDETEN FEHLERSEPARATIONSVERFAHREN 12 2.1 DAS TRACEABLE MULTI-SENSOR VERFAHREN . 13 2.1.1 GRUNDLAGEN DES TMS V ERFAHRENS . 13 2.1.2 MODELLABWEICHUNGEN DES TMS V ERFAHRENS. 15 2.2 DAS UMSCHLAG V E RFA H RE N . 18 2.2.1 GRUNDLAGEN DES UMSCHLAGVERFAHRENS . 18 2.2.2 SYSTEMATISCHE FEHLER DES UMSCHLAGVERFAHRENS. 20 3 DER NANOMETERKOMPARATOR UND SEINE ERWEITERUNG 24 3.1 DER NANOMETERKOMPARATOR . 24 3.1.1 AUFBAU DES NANOMETERKOMPARATORS . 24 3.1.2 DIE NEUE M ESSBRUECKE. 27 3.1.3 DER NEUE MASSSTABSTRAEGER UND SEIN E IN B A U . 29 3.1.4 ERFASSUNG DER UMGEBUNGSBEDINGUNGEN . 32 3.1.5 LICHTQUELLE FUER DIE INTERFEROM ETER . 35 3.2 DAS X-INTERFEROMETER. 38 3.2.1 AUFBAU DES X-INTERFEROMETERS . 38 3.2.2 UNSICHERHEIT DES X -INTERFEROM ETERS . 41 3.3 DAS GIERWINKELINTERFEROMETER. 43 3.3.1 AUFBAU DES GIER WINKELINT ERFE RO M E TE RS . 44 3.3.2 KALIBRIERUNG DER W INKELINTERFEROMETER . 46 3.4 DIE V -INTERFEROM ETER. 51 3.4.1 DESIGN DER V-INTERFEROMETER . 51 3.4.2 EINBAU UND JUSTAGE DER V -INTERFEROM ETER. 54 3.4.3 STABILITAET UND RAUSCHEN DER V-INTERFEROM ETER. 57 3.4.4 UNSICHERHEIT DER Y-INTERFEROMETER . 60 3.5 DAS INKREMENTEILE LAENGENMESSSYSTEM . 62 3.5.1 FUNKTION UND JUSTAGE DES M ESSKOPFES . 64 3.5.2 AUFLAGE UND JUSTAGE DES MASSSTABES . 65 3.5.3 MESSABWEICHUNGEN DURCH DAS E N CO D ERSY STEM . 67 3.6 MESSDATENERFASSUNG. 70 3.6.1 SYNCHRONISATION DER M ESSSYSTEME . 70 3.6.2 PHASENAUSWERTUNG DER HETERODYNEN SYSTEME . 71 3.6.3 PHASENAUSWERTUNG DER HOMODYNEN S Y STEM E. 73 4 GERADHEITSMESSUNGEN AM NANOMETERKOMPARATOR 75 4.1 MESSABLAUF DER GERADHEITSMESSUNGEN. 75 4.1.1 PLANUNG DER MESSREIHEN UND DER MASSSTABSAUFLAGE. 75 4.1.2 DATENBASIS UND D ATENVERARBEITUNG . 76 4.2 ERGEBNISSE MIT DEM TMS V E RFA H RE N . 80 4.2.1 LOESUNG DES TMS GLEICHUNGSSYSTEMS OHNE U N SICH ERH EITEN . 80 4.2.2 EINFLUSS DES SOLLWERTES DER GIERWINKELREGELUNG . 83 4.2.3 ANALYSE DER REKONSTRUIERTEN TOPOGRAPHIE UND Y -B EW EG U N G . 85 4.2.4 EINFLUSS DER MITTELUNG UEBER DIE D A TE N P U N K TE . 88 4.2.5 LOESUNG DES TMS GLEICHUNGSSYSTEMS MIT WICHTUNG ENTSPRECHEND DER U NSICHERHEITEN. 89 4.3 ERGEBNISSE MIT DEM UMSCHLAGVERFAHREN . 91 4.3.1 AUSWAHL DER MESSREIHEN UND LOESUNG DES GLEICHUNGSSYSTEMS . 91 4.3.2 UMSCHLAGVERFAHREN OHNE VERWENDUNG DER Y -INTERFEROM ETER . 95 5 UNSICHERHEITEN DER GERADHEITSMESSERGEBNISSE 97 5.1 UNSICHERHEIT DES TMS VERFAHRENS . 97 5.1.1 UNSICHERHEITSBEITRAG AUS DER KOVARIANZMATRIX. 97 5.1.2 EINFLUSS DER EINGANGSUNSICHERHEITEN AUF DAS ERGEBNIS. 98 5.1.3 UNSICHERHEITSBEITRAG DURCH MODELLABWEICHUNGEN . 99 5.1.4 ZUSAMMENFASSUNG DER UNSICHERHEIT. 101 5.2 UNSICHERHEIT DES UMSCHLAGVERFAHRENS . 102 5.2.1 ZUSAMMENFASSUNG DER UNSICHERHEIT DES UMSCHLAGVERFAHRENS . 102 5.2.2 VERGLEICH DER LOESUNGEN MIT UNSICHERHEIT. 103 6 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 105 6.1 ZUSAMMENFASSUNG . 105 6.2 OPTIONEN ZUR VERRINGERUNG DER UNSICHERHEITEN. 106 6.2.1 URSACHE FUER DIE AENDERUNG DER SPIEGELTOPOGRAPHIE. 106 6.2.2 NEUES GIERWINKELINTERFEROMETER. 108 6.2.3 ABSCHAETZUNG DER K OVARIANZM ATRIX. 109 A ANHANG 111 A.L AUFBAU DER DESIGNMATRIZEN DER FEHLERSEPARATIONSVERFAHREN . 111 A.2 DIE KORREKTUR DER BRECHZAHL DES RESTGASES . 113 A.3 BERECHNUNG DES RAUSCHENS DER INTERFEROMETERSYSTEME . 118 A.4 NICK WINKELAENDERUNG DURCH BEWEGUNG DES M ESSSCHLITTENS. 121
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