Verfügbarkeit: Implementierung von Geradheitsmessungen am Nanometerkomparator der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt

Implementierung von Geradheitsmessungen am Nanometerkomparator der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt:

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Weichert, Christoph (VerfasserIn)
Format:	Abschlussarbeit Buch
Sprache:	German
Veröffentlicht:	Braunschweig Physikalisch-Technische Bundesanstalt [2016] Bremen Fachverlag NW in der Carl Schünemann Verlag GmbH [2016]
Schriftenreihe:	PTB-Bericht F, Fertigungsmesstechnik ; 57 (November 2016)
Schlagworte:	Nanometerbereich Multisensor Interferometer Fertigungsmesstechnik Präzisionsmessung Unsicherheit Positioniergenauigkeit Komparator > Längenmessung Abweichung Kalibrieren > Messtechnik Geradheitsmessung Implemetierung Kalibrierung Nanometerkomparator PTB Positionsabweichung Hochschulschrift
Online-Zugang:	Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis
Beschreibung:	136 Seiten Illustrationen 30 cm, 435 g
ISBN:	9783956062971 3956062973

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adam_text	INHALTSVERZEICHNIS 1 EINLEITUNG UND MOTIVATION 8 1.1 AUSGANGSPUNKT FUER GERADHEITSMESSUNGEN AM N ANOM ETERKOM PARATOR ............ 8 1.2 ZIELSETZUNG DIESER A RB E IT......................................................................................... 11 2 THEORETISCHE GRUNDLAGEN DER VERWENDETEN FEHLERSEPARATIONSVERFAHREN 12 2.1 DAS TRACEABLE MULTI-SENSOR VERFAHREN .......................................................... 13 2.1.1 GRUNDLAGEN DES TMS V ERFAHRENS ............................................................. 13 2.1.2 MODELLABWEICHUNGEN DES TMS V ERFAHRENS.............................................. 15 2.2 DAS UMSCHLAG V E RFA H RE N ......................................................................................... 18 2.2.1 GRUNDLAGEN DES UMSCHLAGVERFAHRENS ....................................................... 18 2.2.2 SYSTEMATISCHE FEHLER DES UMSCHLAGVERFAHRENS........................................ 20 3 DER NANOMETERKOMPARATOR UND SEINE ERWEITERUNG 24 3.1 DER NANOMETERKOMPARATOR ................................................................................... 24 3.1.1 AUFBAU DES NANOMETERKOMPARATORS .......................................................... 24 3.1.2 DIE NEUE M ESSBRUECKE................................................................................... 27 3.1.3 DER NEUE MASSSTABSTRAEGER UND SEIN E IN B A U .............................................. 29 3.1.4 ERFASSUNG DER UMGEBUNGSBEDINGUNGEN .................................................... 32 3.1.5 LICHTQUELLE FUER DIE INTERFEROM ETER ............................................................. 35 3.2 DAS X-INTERFEROMETER............................................................................................... 38 3.2.1 AUFBAU DES X-INTERFEROMETERS ................................................................... 38 3.2.2 UNSICHERHEIT DES X -INTERFEROM ETERS .......................................................... 41 3.3 DAS GIERWINKELINTERFEROMETER................................................................................ 43 3.3.1 AUFBAU DES GIER WINKELINT ERFE RO M E TE RS .................................................... 44 3.3.2 KALIBRIERUNG DER W INKELINTERFEROMETER .................................................... 46 3.4 DIE V -INTERFEROM ETER............................................................................................... 51 3.4.1 DESIGN DER V-INTERFEROMETER ...................................................................... 51 3.4.2 EINBAU UND JUSTAGE DER V -INTERFEROM ETER.............................................. 54 3.4.3 STABILITAET UND RAUSCHEN DER V-INTERFEROM ETER........................................ 57 3.4.4 UNSICHERHEIT DER Y-INTERFEROMETER .......................................................... 60 3.5 DAS INKREMENTEILE LAENGENMESSSYSTEM ................................................................... 62 3.5.1 FUNKTION UND JUSTAGE DES M ESSKOPFES .................................................... 64 3.5.2 AUFLAGE UND JUSTAGE DES MASSSTABES ................................. 65 3.5.3 MESSABWEICHUNGEN DURCH DAS E N CO D ERSY STEM ........................................ 67 3.6 MESSDATENERFASSUNG.................................................................................................. 70 3.6.1 SYNCHRONISATION DER M ESSSYSTEME ............................................................. 70 3.6.2 PHASENAUSWERTUNG DER HETERODYNEN SYSTEME ........................................ 71 3.6.3 PHASENAUSWERTUNG DER HOMODYNEN S Y STEM E........................................... 73 4 GERADHEITSMESSUNGEN AM NANOMETERKOMPARATOR 75 4.1 MESSABLAUF DER GERADHEITSMESSUNGEN..................................................................... 75 4.1.1 PLANUNG DER MESSREIHEN UND DER MASSSTABSAUFLAGE.................................. 75 4.1.2 DATENBASIS UND D ATENVERARBEITUNG .......................................................... 76 4.2 ERGEBNISSE MIT DEM TMS V E RFA H RE N ................................................................... 80 4.2.1 LOESUNG DES TMS GLEICHUNGSSYSTEMS OHNE U N SICH ERH EITEN .................. 80 4.2.2 EINFLUSS DES SOLLWERTES DER GIERWINKELREGELUNG ..................................... 83 4.2.3 ANALYSE DER REKONSTRUIERTEN TOPOGRAPHIE UND Y -B EW EG U N G ............... 85 4.2.4 EINFLUSS DER MITTELUNG UEBER DIE D A TE N P U N K TE ........................................ 88 4.2.5 LOESUNG DES TMS GLEICHUNGSSYSTEMS MIT WICHTUNG ENTSPRECHEND DER U NSICHERHEITEN............................................................................................ 89 4.3 ERGEBNISSE MIT DEM UMSCHLAGVERFAHREN ............................................................. 91 4.3.1 AUSWAHL DER MESSREIHEN UND LOESUNG DES GLEICHUNGSSYSTEMS ............... 91 4.3.2 UMSCHLAGVERFAHREN OHNE VERWENDUNG DER Y -INTERFEROM ETER ............... 95 5 UNSICHERHEITEN DER GERADHEITSMESSERGEBNISSE 97 5.1 UNSICHERHEIT DES TMS VERFAHRENS ......................................................................... 97 5.1.1 UNSICHERHEITSBEITRAG AUS DER KOVARIANZMATRIX........................................ 97 5.1.2 EINFLUSS DER EINGANGSUNSICHERHEITEN AUF DAS ERGEBNIS............................ 98 5.1.3 UNSICHERHEITSBEITRAG DURCH MODELLABWEICHUNGEN .................................. 99 5.1.4 ZUSAMMENFASSUNG DER UNSICHERHEIT.......................................................... 101 5.2 UNSICHERHEIT DES UMSCHLAGVERFAHRENS ................................................................... 102 5.2.1 ZUSAMMENFASSUNG DER UNSICHERHEIT DES UMSCHLAGVERFAHRENS ............... 102 5.2.2 VERGLEICH DER LOESUNGEN MIT UNSICHERHEIT................................................. 103 6 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 105 6.1 ZUSAMMENFASSUNG .................................................................................................. 105 6.2 OPTIONEN ZUR VERRINGERUNG DER UNSICHERHEITEN.................................................... 106 6.2.1 URSACHE FUER DIE AENDERUNG DER SPIEGELTOPOGRAPHIE.................................. 106 6.2.2 NEUES GIERWINKELINTERFEROMETER................................................................ 108 6.2.3 ABSCHAETZUNG DER K OVARIANZM ATRIX.......................................................... 109 A ANHANG 111 A.L AUFBAU DER DESIGNMATRIZEN DER FEHLERSEPARATIONSVERFAHREN .......................... 111 A.2 DIE KORREKTUR DER BRECHZAHL DES RESTGASES ...................................................... 113 A.3 BERECHNUNG DES RAUSCHENS DER INTERFEROMETERSYSTEME .................................... 118 A.4 NICK WINKELAENDERUNG DURCH BEWEGUNG DES M ESSSCHLITTENS.................................. 121
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