Reinhardt, K. A., & Kern, W. (2018). Handbook of silicon wafer cleaning technology (Third edition.). William Andrew, an imprint of Elsevier.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Reinhardt, Karen A., und Werner Kern. Handbook of Silicon Wafer Cleaning Technology. Third edition. Oxford: William Andrew, an imprint of Elsevier, 2018.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Reinhardt, Karen A., und Werner Kern. Handbook of Silicon Wafer Cleaning Technology. Third edition. William Andrew, an imprint of Elsevier, 2018.
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