Hilleringmann, U. (2019). Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik (7., überarbeitete und ergänzte Auflage.). Springer Vieweg. https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen Mikroelektronischer Integrationstechnik. 7., überarbeitete und ergänzte Auflage. Wiesbaden: Springer Vieweg, 2019. https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen Mikroelektronischer Integrationstechnik. 7., überarbeitete und ergänzte Auflage. Springer Vieweg, 2019. https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7.
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