Verfügbarkeit: Silizium-Halbleitertechnologie

Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Hilleringmann, Ulrich (VerfasserIn)
Format:	Elektronisch E-Book
Sprache:	German
Veröffentlicht:	Wiesbaden Springer Vieweg [2019]
Ausgabe:	7., überarbeitete und ergänzte Auflage
Schriftenreihe:	Lehrbuch
Schlagworte:	Electronics and Microelectronics, Instrumentation Circuits and Systems Electronic Circuits and Devices Semiconductors Electronics Systems engineering Halbleitertechnologie Silicium Siliciumhalbleiter Lehrbuch
Online-Zugang:	BFB01 BHS01 BTU01 BTW01 FAB01 FAN01 FAW01 FCO01 FFW01 FHA01 FHD01 FHI01 FHM01 FHN01 FHO01 FHR01 FKE01 FLA01 FNU01 FRO01 FWS01 FWS02 HTW01 HWR01 TUM01 UBM01 UBT01 UBW01 UBY01 UER01 Volltext
Beschreibung:	1 Online-Ressource (XI, 275 Seiten) Diagramme
ISBN:	9783658234447
DOI:	10.1007/978-3-658-23444-7

Internformat

MARC


LEADER	00000nmm a2200000 c 4500
001	BV045389210
003	DE-604
005	20240425
007	cr\|uuu---uuuuu
008	190108s2019 \|\|\|\| o\|\|u\| \|\|\|\|\|\|ger d
020			\|a 9783658234447 \|c Online \|9 978-3-658-23444-7
024	7		\|a 10.1007/978-3-658-23444-7 \|2 doi
035			\|a (ZDB-2-STI)9783658234447
035			\|a (OCoLC)1083952984
035			\|a (DE-599)BVBBV045389210
040			\|a DE-604 \|b ger \|e rda
041	0		\|a ger
049			\|a DE-706 \|a DE-898 \|a DE-1050 \|a DE-858 \|a DE-860 \|a DE-91 \|a DE-19 \|a DE-83 \|a DE-1046 \|a DE-1043 \|a DE-B768 \|a DE-Aug4 \|a DE-861 \|a DE-523 \|a DE-1049 \|a DE-859 \|a DE-29 \|a DE-863 \|a DE-20 \|a DE-1051 \|a DE-862 \|a DE-92 \|a DE-2070s \|a DE-522 \|a DE-573 \|a DE-M347 \|a DE-703 \|a DE-1102 \|a DE-634 \|a DE-526 \|a DE-1028 \|a DE-11
082	0		\|a 621.381 \|2 23
084			\|a ZN 3460 \|0 (DE-625)157317: \|2 rvk
084			\|a ZN 4100 \|0 (DE-625)157351: \|2 rvk
084			\|a ZN 4800 \|0 (DE-625)157408: \|2 rvk
084			\|a UP 3100 \|0 (DE-625)146372: \|2 rvk
084			\|a DAT 000 \|2 stub
084			\|a ELT 270f \|2 stub
084			\|a TEC 000 \|2 stub
100	1		\|a Hilleringmann, Ulrich \|e Verfasser \|0 (DE-588)136888992 \|4 aut
245	1	0	\|a Silizium-Halbleitertechnologie \|b Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik \|c Ulrich Hilleringmann
250			\|a 7., überarbeitete und ergänzte Auflage
264		1	\|a Wiesbaden \|b Springer Vieweg \|c [2019]
264		4	\|c © 2019
300			\|a 1 Online-Ressource (XI, 275 Seiten) \|b Diagramme
336			\|b txt \|2 rdacontent
337			\|b c \|2 rdamedia
338			\|b cr \|2 rdacarrier
490	0		\|a Lehrbuch
650		4	\|a Electronics and Microelectronics, Instrumentation
650		4	\|a Circuits and Systems
650		4	\|a Electronic Circuits and Devices
650		4	\|a Semiconductors
650		4	\|a Electronics
650		4	\|a Systems engineering
650	0	7	\|a Halbleitertechnologie \|0 (DE-588)4158814-9 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a Silicium \|0 (DE-588)4077445-4 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a Siliciumhalbleiter \|0 (DE-588)4274465-9 \|2 gnd \|9 rswk-swf
655		7	\|8 1\p \|0 (DE-588)4123623-3 \|a Lehrbuch \|2 gnd-content
689	0	0	\|a Silicium \|0 (DE-588)4077445-4 \|D s
689	0	1	\|a Halbleitertechnologie \|0 (DE-588)4158814-9 \|D s
689	0		\|5 DE-604
689	1	0	\|a Siliciumhalbleiter \|0 (DE-588)4274465-9 \|D s
689	1		\|8 2\p \|5 DE-604
776	0	8	\|i Erscheint auch als \|n Druck-Ausgabe \|z 978-3-658-23443-0 \|w (DE-604)BV045465612
856	4	0	\|u https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7 \|x Verlag \|z URL des Erstveröffentlichers \|3 Volltext
912			\|a ZDB-2-STI
940	1		\|q ZDB-2-STI_2019
999			\|a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-030775518
883	1		\|8 1\p \|a cgwrk \|d 20201028 \|q DE-101 \|u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk
883	1		\|8 2\p \|a cgwrk \|d 20201028 \|q DE-101 \|u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk
966	e		\|u https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7 \|l BFB01 \|p ZDB-2-STI \|x Verlag \|3 Volltext
966	e		\|u https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7 \|l BHS01 \|p ZDB-2-STI \|x Verlag \|3 Volltext
966	e		\|u https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7 \|l BTU01 \|p ZDB-2-STI \|x Verlag \|3 Volltext
966	e		\|u https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7 \|l BTW01 \|p ZDB-2-STI \|x Verlag \|3 Volltext
966	e		\|u https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7 \|l FAB01 \|p ZDB-2-STI \|x Verlag \|3 Volltext
966	e		\|u https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7 \|l FAN01 \|p ZDB-2-STI \|x Verlag \|3 Volltext
966	e		\|u https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7 \|l FAW01 \|p ZDB-2-STI \|x Verlag \|3 Volltext
966	e		\|u https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7 \|l FCO01 \|p ZDB-2-STI \|x Verlag \|3 Volltext
966	e		\|u https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7 \|l FFW01 \|p ZDB-2-STI \|x Verlag \|3 Volltext
966	e		\|u https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7 \|l FHA01 \|p ZDB-2-STI \|x Verlag \|3 Volltext
966	e		\|u https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7 \|l FHD01 \|p ZDB-2-STI \|x Verlag \|3 Volltext
966	e		\|u https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7 \|l FHI01 \|p ZDB-2-STI \|x Verlag \|3 Volltext
966	e		\|u https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7 \|l FHM01 \|p ZDB-2-STI \|x Verlag \|3 Volltext
966	e		\|u https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7 \|l FHN01 \|p ZDB-2-STI \|x Verlag \|3 Volltext
966	e		\|u https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7 \|l FHO01 \|p ZDB-2-STI \|x Verlag \|3 Volltext
966	e		\|u https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7 \|l FHR01 \|p ZDB-2-STI \|x Verlag \|3 Volltext
966	e		\|u https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7 \|l FKE01 \|p ZDB-2-STI \|x Verlag \|3 Volltext
966	e		\|u https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7 \|l FLA01 \|p ZDB-2-STI \|x Verlag \|3 Volltext
966	e		\|u https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7 \|l FNU01 \|p ZDB-2-STI \|x Verlag \|3 Volltext
966	e		\|u https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7 \|l FRO01 \|p ZDB-2-STI \|x Verlag \|3 Volltext
966	e		\|u https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7 \|l FWS01 \|p ZDB-2-STI \|x Verlag \|3 Volltext
966	e		\|u https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7 \|l FWS02 \|p ZDB-2-STI \|x Verlag \|3 Volltext
966	e		\|u https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7 \|l HTW01 \|p ZDB-2-STI \|x Verlag \|3 Volltext
966	e		\|u https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7 \|l HWR01 \|p ZDB-2-STI \|x Verlag \|3 Volltext
966	e		\|u https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7 \|l TUM01 \|p ZDB-2-STI \|x Verlag \|3 Volltext
966	e		\|u https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7 \|l UBM01 \|p ZDB-2-STI \|x Verlag \|3 Volltext
966	e		\|u https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7 \|l UBT01 \|p ZDB-2-STI \|x Verlag \|3 Volltext
966	e		\|u https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7 \|l UBW01 \|p ZDB-2-STI \|x Verlag \|3 Volltext
966	e		\|u https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7 \|l UBY01 \|p ZDB-2-STI \|x Verlag \|3 Volltext
966	e		\|u https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7 \|l UER01 \|p ZDB-2-STI \|x Verlag \|3 Volltext

Datensatz im Suchindex

DE-BY-FWS_katkey	712078
_version_	1824554793558867969
any_adam_object
author	Hilleringmann, Ulrich
author_GND	(DE-588)136888992
author_facet	Hilleringmann, Ulrich
author_role	aut
author_sort	Hilleringmann, Ulrich
author_variant	u h uh
building	Verbundindex
bvnumber	BV045389210
classification_rvk	ZN 3460 ZN 4100 ZN 4800 UP 3100
classification_tum	DAT 000 ELT 270f TEC 000
collection	ZDB-2-STI
ctrlnum	(ZDB-2-STI)9783658234447 (OCoLC)1083952984 (DE-599)BVBBV045389210
dewey-full	621.381
dewey-hundreds	600 - Technology (Applied sciences)
dewey-ones	621 - Applied physics
dewey-raw	621.381
dewey-search	621.381
dewey-sort	3621.381
dewey-tens	620 - Engineering and allied operations
discipline	Physik Technik Technik Informatik Elektrotechnik Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik
doi_str_mv	10.1007/978-3-658-23444-7
edition	7., überarbeitete und ergänzte Auflage
format	Electronic eBook
fullrecord	<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>05555nmm a2201021 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV045389210</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20240425 </controlfield><controlfield tag="007">cr\|uuu---uuuuu</controlfield><controlfield tag="008">190108s2019 \|\|\|\| o\|\|u\| \|\|\|\|\|\|ger d</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">9783658234447</subfield><subfield code="c">Online</subfield><subfield code="9">978-3-658-23444-7</subfield></datafield><datafield tag="024" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">10.1007/978-3-658-23444-7</subfield><subfield code="2">doi</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(ZDB-2-STI)9783658234447</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)1083952984</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV045389210</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rda</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-706</subfield><subfield code="a">DE-898</subfield><subfield code="a">DE-1050</subfield><subfield code="a">DE-858</subfield><subfield code="a">DE-860</subfield><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-19</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-1046</subfield><subfield code="a">DE-1043</subfield><subfield code="a">DE-B768</subfield><subfield code="a">DE-Aug4</subfield><subfield code="a">DE-861</subfield><subfield code="a">DE-523</subfield><subfield code="a">DE-1049</subfield><subfield code="a">DE-859</subfield><subfield code="a">DE-29</subfield><subfield code="a">DE-863</subfield><subfield code="a">DE-20</subfield><subfield code="a">DE-1051</subfield><subfield code="a">DE-862</subfield><subfield code="a">DE-92</subfield><subfield code="a">DE-2070s</subfield><subfield code="a">DE-522</subfield><subfield code="a">DE-573</subfield><subfield code="a">DE-M347</subfield><subfield code="a">DE-703</subfield><subfield code="a">DE-1102</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield><subfield code="a">DE-526</subfield><subfield code="a">DE-1028</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield></datafield><datafield tag="082" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">621.381</subfield><subfield code="2">23</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 3460</subfield><subfield code="0">(DE-625)157317:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 4100</subfield><subfield code="0">(DE-625)157351:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 4800</subfield><subfield code="0">(DE-625)157408:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UP 3100</subfield><subfield code="0">(DE-625)146372:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DAT 000</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 270f</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">TEC 000</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Hilleringmann, Ulrich</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)136888992</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Silizium-Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="b">Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik</subfield><subfield code="c">Ulrich Hilleringmann</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">7., überarbeitete und ergänzte Auflage</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Wiesbaden</subfield><subfield code="b">Springer Vieweg</subfield><subfield code="c">[2019]</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="4"><subfield code="c">© 2019</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">1 Online-Ressource (XI, 275 Seiten)</subfield><subfield code="b">Diagramme</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">c</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">cr</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">Lehrbuch</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Electronics and Microelectronics, Instrumentation</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Circuits and Systems</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Electronic Circuits and Devices</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Semiconductors</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Electronics</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Systems engineering</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4158814-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Siliciumhalbleiter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4274465-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="0">(DE-588)4123623-3</subfield><subfield code="a">Lehrbuch</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4158814-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Siliciumhalbleiter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4274465-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">2\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="776" ind1="0" ind2="8"><subfield code="i">Erscheint auch als</subfield><subfield code="n">Druck-Ausgabe</subfield><subfield code="z">978-3-658-23443-0</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV045465612</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="0"><subfield code="u">https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="z">URL des Erstveröffentlichers</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZDB-2-STI</subfield></datafield><datafield tag="940" ind1="1" ind2=" "><subfield code="q">ZDB-2-STI_2019</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-030775518</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">2\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield><datafield tag="966" ind1="e" ind2=" "><subfield code="u">https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7</subfield><subfield code="l">BFB01</subfield><subfield code="p">ZDB-2-STI</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="966" ind1="e" ind2=" "><subfield code="u">https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7</subfield><subfield code="l">BHS01</subfield><subfield code="p">ZDB-2-STI</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="966" ind1="e" ind2=" "><subfield code="u">https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7</subfield><subfield code="l">BTU01</subfield><subfield code="p">ZDB-2-STI</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="966" ind1="e" ind2=" "><subfield code="u">https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7</subfield><subfield code="l">BTW01</subfield><subfield code="p">ZDB-2-STI</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="966" ind1="e" ind2=" "><subfield code="u">https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7</subfield><subfield code="l">FAB01</subfield><subfield code="p">ZDB-2-STI</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="966" ind1="e" ind2=" "><subfield code="u">https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7</subfield><subfield code="l">FAN01</subfield><subfield code="p">ZDB-2-STI</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="966" ind1="e" ind2=" "><subfield code="u">https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7</subfield><subfield code="l">FAW01</subfield><subfield code="p">ZDB-2-STI</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="966" ind1="e" ind2=" "><subfield code="u">https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7</subfield><subfield code="l">FCO01</subfield><subfield code="p">ZDB-2-STI</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="966" ind1="e" ind2=" "><subfield code="u">https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7</subfield><subfield code="l">FFW01</subfield><subfield code="p">ZDB-2-STI</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="966" ind1="e" ind2=" "><subfield code="u">https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7</subfield><subfield code="l">FHA01</subfield><subfield code="p">ZDB-2-STI</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="966" ind1="e" ind2=" "><subfield code="u">https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7</subfield><subfield code="l">FHD01</subfield><subfield code="p">ZDB-2-STI</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="966" ind1="e" ind2=" "><subfield code="u">https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7</subfield><subfield code="l">FHI01</subfield><subfield code="p">ZDB-2-STI</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="966" ind1="e" ind2=" "><subfield code="u">https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7</subfield><subfield code="l">FHM01</subfield><subfield code="p">ZDB-2-STI</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="966" ind1="e" ind2=" "><subfield code="u">https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7</subfield><subfield code="l">FHN01</subfield><subfield code="p">ZDB-2-STI</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="966" ind1="e" ind2=" "><subfield code="u">https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7</subfield><subfield code="l">FHO01</subfield><subfield code="p">ZDB-2-STI</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="966" ind1="e" ind2=" "><subfield code="u">https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7</subfield><subfield code="l">FHR01</subfield><subfield code="p">ZDB-2-STI</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="966" ind1="e" ind2=" "><subfield code="u">https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7</subfield><subfield code="l">FKE01</subfield><subfield code="p">ZDB-2-STI</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="966" ind1="e" ind2=" "><subfield code="u">https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7</subfield><subfield code="l">FLA01</subfield><subfield code="p">ZDB-2-STI</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="966" ind1="e" ind2=" "><subfield code="u">https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7</subfield><subfield code="l">FNU01</subfield><subfield code="p">ZDB-2-STI</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="966" ind1="e" ind2=" "><subfield code="u">https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7</subfield><subfield code="l">FRO01</subfield><subfield code="p">ZDB-2-STI</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="966" ind1="e" ind2=" "><subfield code="u">https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7</subfield><subfield code="l">FWS01</subfield><subfield code="p">ZDB-2-STI</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="966" ind1="e" ind2=" "><subfield code="u">https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7</subfield><subfield code="l">FWS02</subfield><subfield code="p">ZDB-2-STI</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="966" ind1="e" ind2=" "><subfield code="u">https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7</subfield><subfield code="l">HTW01</subfield><subfield code="p">ZDB-2-STI</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="966" ind1="e" ind2=" "><subfield code="u">https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7</subfield><subfield code="l">HWR01</subfield><subfield code="p">ZDB-2-STI</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="966" ind1="e" ind2=" "><subfield code="u">https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7</subfield><subfield code="l">TUM01</subfield><subfield code="p">ZDB-2-STI</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="966" ind1="e" ind2=" "><subfield code="u">https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7</subfield><subfield code="l">UBM01</subfield><subfield code="p">ZDB-2-STI</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="966" ind1="e" ind2=" "><subfield code="u">https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7</subfield><subfield code="l">UBT01</subfield><subfield code="p">ZDB-2-STI</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="966" ind1="e" ind2=" "><subfield code="u">https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7</subfield><subfield code="l">UBW01</subfield><subfield code="p">ZDB-2-STI</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="966" ind1="e" ind2=" "><subfield code="u">https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7</subfield><subfield code="l">UBY01</subfield><subfield code="p">ZDB-2-STI</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="966" ind1="e" ind2=" "><subfield code="u">https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7</subfield><subfield code="l">UER01</subfield><subfield code="p">ZDB-2-STI</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield></record></collection>
genre	1\p (DE-588)4123623-3 Lehrbuch gnd-content
genre_facet	Lehrbuch
id	DE-604.BV045389210
illustrated	Not Illustrated
indexdate	2025-02-20T06:57:25Z
institution	BVB
isbn	9783658234447
language	German
oai_aleph_id	oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-030775518
oclc_num	1083952984
open_access_boolean
owner	DE-706 DE-898 DE-BY-UBR DE-1050 DE-858 DE-860 DE-91 DE-BY-TUM DE-19 DE-BY-UBM DE-83 DE-1046 DE-1043 DE-B768 DE-Aug4 DE-861 DE-523 DE-1049 DE-859 DE-29 DE-863 DE-BY-FWS DE-20 DE-1051 DE-862 DE-BY-FWS DE-92 DE-2070s DE-522 DE-573 DE-M347 DE-703 DE-1102 DE-634 DE-526 DE-1028 DE-11
owner_facet	DE-706 DE-898 DE-BY-UBR DE-1050 DE-858 DE-860 DE-91 DE-BY-TUM DE-19 DE-BY-UBM DE-83 DE-1046 DE-1043 DE-B768 DE-Aug4 DE-861 DE-523 DE-1049 DE-859 DE-29 DE-863 DE-BY-FWS DE-20 DE-1051 DE-862 DE-BY-FWS DE-92 DE-2070s DE-522 DE-573 DE-M347 DE-703 DE-1102 DE-634 DE-526 DE-1028 DE-11
physical	1 Online-Ressource (XI, 275 Seiten) Diagramme
psigel	ZDB-2-STI ZDB-2-STI_2019
publishDate	2019
publishDateSearch	2019
publishDateSort	2019
publisher	Springer Vieweg
record_format	marc
series2	Lehrbuch
spellingShingle	Hilleringmann, Ulrich Silizium-Halbleitertechnologie Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik Electronics and Microelectronics, Instrumentation Circuits and Systems Electronic Circuits and Devices Semiconductors Electronics Systems engineering Halbleitertechnologie (DE-588)4158814-9 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Siliciumhalbleiter (DE-588)4274465-9 gnd
subject_GND	(DE-588)4158814-9 (DE-588)4077445-4 (DE-588)4274465-9 (DE-588)4123623-3
title	Silizium-Halbleitertechnologie Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik
title_auth	Silizium-Halbleitertechnologie Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik
title_exact_search	Silizium-Halbleitertechnologie Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik
title_full	Silizium-Halbleitertechnologie Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik Ulrich Hilleringmann
title_fullStr	Silizium-Halbleitertechnologie Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik Ulrich Hilleringmann
title_full_unstemmed	Silizium-Halbleitertechnologie Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik Ulrich Hilleringmann
title_short	Silizium-Halbleitertechnologie
title_sort	silizium halbleitertechnologie grundlagen mikroelektronischer integrationstechnik
title_sub	Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik
topic	Electronics and Microelectronics, Instrumentation Circuits and Systems Electronic Circuits and Devices Semiconductors Electronics Systems engineering Halbleitertechnologie (DE-588)4158814-9 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Siliciumhalbleiter (DE-588)4274465-9 gnd
topic_facet	Electronics and Microelectronics, Instrumentation Circuits and Systems Electronic Circuits and Devices Semiconductors Electronics Systems engineering Halbleitertechnologie Silicium Siliciumhalbleiter Lehrbuch
url	https://doi.org/10.1007/978-3-658-23444-7
work_keys_str_mv	AT hilleringmannulrich siliziumhalbleitertechnologiegrundlagenmikroelektronischerintegrationstechnik

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