Verfügbarkeit: Handbuch Vakuumtechnik

Handbuch Vakuumtechnik:

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Bibliographische Detailangaben
Vorheriger Titel:	Wutz Handbuch Vakuumtechnik
Weitere Verfasser:	Jousten, Karl 1960- (HerausgeberIn)
Format:	Buch
Sprache:	German
Veröffentlicht:	Wiesbaden Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH [2018]
Ausgabe:	12., neu bearbeitete Auflage
Schriftenreihe:	Springer Reference Technik
Schlagworte:	Vakuumtechnik Vakuumpumpe Absorption Diffusion Gasgesetz Kalibrierung Kondensator Kryopumpen Kryotechnik PHV Mechanical Engineering Engineering Applied and Technical Physics Lehrbuch
Online-Zugang:	Inhaltstext Inhaltsverzeichnis
Beschreibung:	Bis 11. Auflage (2012) unter dem Titel: Jousten, Karl (Hrsg.) : Wutz Handbuch Vakuumtechnik
Beschreibung:	xxxiii, 1129 Seiten Illustrationen, Diagramme 23.5 cm x 15.5 cm
ISBN:	9783658133856 3658133856

Internformat

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Datensatz im Suchindex

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adam_text	INHALTSVERZEICHNIS 1 GESCHICHTE DER VAKUUMTECHNIK ........................................................... 1 KARL JOUSTEN LITERATUR ..................................................................................................... 17 2 ANWENDUNG UND AUFGABEN DER VAKUUMTECHNIK ............................. 19 KARL JOUSTEN LITERATUR .......................................................................... 30 3 GASGESETZE UND KINETISCHE GASTHEORIE ............................................... 33 KARL JOUSTEN 1 BESCHREIBUNG DES GASZUSTANDES .................................................... 33 1.1 ZUSTANDSGROESSEN ............................................................... 33 1.2 MENGENGROESSEN ................................................................. 39 1.3 ZUSTANDSGLEICHUNG DES IDEALEN GASES ........................... 42 1.4 GEMISCH VERSCHIEDENER GASE ......................................... 44 2 KINETISCHE GASTHEORIE ................................................................... 46 2.1 MODELLVORSTELLUNG .......................................................... 46 2.2 WANDDRUCK ALS FOLGE VON TEILCHENSTOESSEN .................... 47 2.3 GESCHWINDIGKEITSVERTEILUNG VON MAXWELL UND BOLTZMANN ........................................................................ 49 2.4 FLAECHENSTOSSRATE UND EFFUSION ......................................... 52 2.5 GROESSE DER GASTEILCHEN, FREIE WEGLAENGE ......................... 54 LITERATUR ..................................................................................................... 61 4 TRANSPORTEIGENSCHAFTEN VON GASEN ...................................................... 63 KARL JOUSTEN 1 DRUCKABHAENGIGKEIT ........................................................................ 63 2 TRANSPORT VON REIBUNGSKRAEFTEN IN GASEN UND V ISK O SITAET ........... 64 3 WAERMETRANSPORT IN GASEN UND WAERMELEITFAEHIGKEIT .................... 68 4 D IFFU SIO N .......................................................................................... 77 5 REALE GASE UND DAEMPFE ........................................................................ 81 KARL JOUSTEN 1 ZUSTANDSGLEICHUNGEN ...................................................................... 81 2 EIGENSCHAFTEN DER GASTEILCHEN UND VERHALTEN DES GASES ............. 85 3 SAETTIGUNGSDAMPFDRUCK .................................................................... 92 4 VERDAMPFUNGSRATE ........................................................................... 97 LITERATUR ...................................................................................................... 107 6 STROEM UNG VON GASEN ............................................................................... 109 KARL JOUSTEN 1 STROEMUNGSARTEN, BEGRIFFSDEFINITIONEN ........................................... 109 1.1 CHARAKTERISIERUNG VON STROEMUNGEN, KNUDSENZAHL, REYNOLDSZAHL .................................................................... 109 1.2 EFFEKTIVES SAUGVERMOEGEN EINER VAKUUMPUMPE ............ 118 2 MESSUNG VON STROEMUNGSLEITWERTEN ............................................. 120 2.1 NOTWENDIGKEIT DER MESSUNG ........................................... 120 2.2 MESSUNG DES CHARAKTERISTISCHEN LEITWERTS (EIGENLEITWERT) .................................................................. 120 2.3 BERECHNUNG DES REDUZIERTEN LEITWERTS (EINBAULEITWERT) ............................................................... 122 2.4 MESSUNG DES REDUZIERTEN LEITWERTS ................................ 122 7 VISKOSE STROEMUNG VERDUENNTER GASE .................................................... 125 KARL JOUSTEN 1 REIBUNGSFFEIE VISKOSE STROEMUNG, G ASDYNAM IK ........................... 125 1.1 ERHALTUNGSSAETZE ............................................................... 125 1.2 ALLMAEHLICHE QUERSCHNITTSAENDERUNG: ISENTROPE ZUSTANDSAENDERUNG ........................................................... 127 1.3 KRITISCHE STROEMUNG ......................................................... 130 1.4 VERBLOCKUNG BEI KLEINEM AUSLASSDRUCK ......................... 132 1.5 KONTRAKTION BEI EINSTROEMUNG IN BLENDE UND ROHR ................................................................................. 134 1.6 BEISPIELE ZUR DUESENSTROEMUNG ......................................... 135 1.7 GERADER UND SCHRAEGER VERDICHTUNGSSTOSS ........................ 139 1.8 LAVALDUESE, AUSSTROEMUNG BEI GEGENDRUCK .................... 141 1.9 STROEMUNG UM EINE ECKE (PRANDTL-MEYER) .................... 145 2 REIBUNGSBEHAFTETE VISKOSE LEITUNGSSTROEMUNG ........................... 148 2.1 LAMINARE UND TURBULENTE STROEMUNG DURCH EINE LEITUNG ............................................................................. 148 2.2 LEITUNGSSTROEMUNG VON L U F T ............................................. 154 2.3 LUFTEINSTROEMUNG IN EINEN KESSEL, BEISPIELE .................. 156 2.4 ROHR IN DER ANSAUGLEITUNG EINER PUMPE, BEISPIELE . . . 162 2.5 STROEMUNG DURCH LEITUNGEN MIT NICHT- KREISFORMIGEMQUERSCHNITT ............................................... 165 2.6 GASARTABHAENGIGKEIT DER STROEMUNG .................................. 167 LITERATUR ...................................................................................................... 168 8 M OLEKULARE STROEMUNG VON GASEN ......................................................... 171 KARL JOUSTEN 1 STROEMUNGSFORM, BEGRIFFE, DURCHLAUFWAHRSCHEINLICHKEIT ........... 171 2 MOLEKULARE STROEMUNG DURCH EINE BLENDE .................................... 175 3 MOLEKULARE STROEMUNG DURCH LEITUNG GLEICHBLEIBENDEN QUERSCHNITTS ................................................................................... 177 4 MOLEKULARE STROEMUNG DURCH KREISROHR ......................................... 180 5 MOLEKULARE STROEMUNG DURCH LEITUNGEN EINFACHEN QUERSCHNITTS ................................................................................... 181 6 ROHRBOGEN UND ROHRKNIE ............................................................. 183 7 HINTEREINANDERSCHALTUNG VON ROHR UND BLENDE ............... 186 8 HINTEREINANDERSCHALTUNG VON BAUELEMENTEN ................................ 187 9 MOLEKULARSTROEMUNG DURCH KONISCHES KREISROHR (TRICHTER) ......... 190 10 BAUELEMENT IN DER ANSAUGLEITUNG EINER PUMPE ......................... 191 LITERATUR ........... 192 9 GRUNDLAGEN DER EXAKTEN BERECHNUNG VON STATIONAEREN FLUESSEN VERDUENNTER GASE ..................................................................................... 195 KARL JOUSTEN UND FELIX SHARIPOV 1 GRUNDKONZEPT ................................................................................. 195 1.1 DIE PARAMETER KNUDSENZAHL UND GASVERDUENNUNG .... 195 1.2 MAKROSKOPISCHE GROESSEN .................................................. 196 1.3 FUNKTION DER GESCHWINDIGKEITSVERTEILUNG .................... 197 1.4 GLOBALES GLEICHGEWICHT .................................................. 198 1.5 LOKALES GLEICHGEWICHT .................................................... 199 1.6 KINETISCHE BOLTZMANNGLEICHUNG .................................... 199 1.7 TRANSPORTKOEFFIZIENTEN .......................................... 201 1.8 MODELLGLEICHUNGEN .......................................................... 203 1.9 WECHSELWIRKUNG ZWISCHEN GAS UND OBERFLAECHE ........... 205 2 BERECHNUNGSMETHODEN VON GASSTROEMEN ...................................... 207 2.1 ALLGEMEINE BEMERKUNGEN ............................................. 207 2.2 DIE DETERMINISTISCHE METHODE ........................................ 208 2.3 WAHRSCHEINLICHKEITSMETHODEN ......................................... 209 3 GESCHWINDIGKEITSSCHLUPF UND TEMPERATURSPRUNG ....................... 211 3.1 VISKOSER SCHLUPFKOEFFIZIENT ........................................... 212 3.2 DER KOEFFIZIENT DES THERMISCHEN SCHLUPFS .................... 213 3.3 DER KOEFFIZIENT FUER DEN TEMPERATURSPRUNG .................. 214 4 IMPULS-UND WAERMETRANSPORT DURCH VERDUENNTE GASE .................. 215 4.1 EBENE COUETTE-STROEMUNG ............................................... 215 4.2 ZYLINDRISCHE COUETTE-STROEMUNG .................................... 219 4.3 WAERMETRANSPORT ZWISCHEN ZWEI PLATTEN ......................... 224 4.4 WAERMESTROM ZWISCHEN ZWEI KOAXIALEN ZYLINDERN .......................................................................... 225 LITERATUR ..................................................................................................... 230 10 STROEMUNG VON GASEN DURCH ROHRE UND BLENDEN .............................. 233 KARL JOUSTEN UND FELIX SHARIPOV 1 GASSTROEME DURCH LANGE ROHRE ......................................................... 233 1.1 BEGRIFFE ................................................................................. 233 1.2 MOLEKULARER STROEMUNGSBEREICH ........................................... 235 1.3 SCHLUPFSTROEMUNG .................................................................. 236 1.4 STROEMUNG IM UEBERGANGSGEBIET ........................................... 237 1.5 STROEMUNG BEI BELIEBIGEN DRUCK- UND TEMPERATURDIFFERENZEN ......................................................... 244 1.6 VARIABLE QUERSCHNITTE ........................................................... 249 1.7 THERMOMOLEKULARES DRUCKVERHAELTNIS .................................. 251 2 DURCHFLUSS DURCH BLENDEN ............................................................... 254 3 MODELLIERUNG EINER HOLWECKPUMPE ................................................ 257 4 STROEMUNG IM GESAMTEN DRUCKBEREICH ........................................... 259 4.1 KENNZEICHNUNG DER STROEMUNG ............................................. 259 4.2 STROEMUNG DURCH DUENNE KREISBLENDE .................................. 259 4.3 STROEMUNG DURCH LANGES KREISROHR ....................................... 262 LITERATUR ...................................................................................................... 263 11 SORPTION UND DIFFUSION ........................................................................... 265 KARL JOUSTEN 1 SORPTIONSPHAENOMENE UND DEREN BEDEUTUNG - BEGRIFFE UND TERMINOLOGIE ...................................................................................... 265 2 ADSORPTIONS- UND DESORPTIONSKINETIK ............................................. 270 2.1 ADSORPTIONSRATE .................................................................... 270 2.2 DESORPTIONSRATE .................................................................... 271 2.3 HOBSONS MODELL EINER AUSPUMPKURVE ............................. 274 2.4 MONO-SCHICHT-ADSORPTIONSISOTHERMEN ............................. 278 2.5 MEHRSCHICHT-ADSORPTION UND BRUNAUER-EMMETT- TELLER-(BET-)LSOTHERME ......................................................... 280 2.6 MONO-ZEIT ............................................................................. 282 2.7 ABSORPTION, DIFFUSION UND AUSGASUNG ............................. 283 3 PERMEATION ........................................................................................ 290 LITERATUR ...................................................................................................... 293 12 ALLGEMEINE EINTEILUNG DER VAKUUMPUMPEN UND GRUNDLAGEN DER VERDRAENGERVAKUUM PUM PEN ........................................................... 295 KARL JOUSTEN 1 ALLGEMEINE EINTEILUNG DER VAKUUMPUMPEN .................................. 295 2 UEBERSICHT UEBER DIE VERDRAENGERPUMPEN ........................................... 298 3 GRUNDLAGEN VERDRAENGERPUMPEN ...................................................... 302 3.1 LEISTUNGSBEDARF .................................................................... 302 3.2 ABPUMPEN VON DAEMPFEN UND GASBALLAST ......................... 306 LITERATUR ...................................................................................................... 311 13 OSZILLATIONSVERDRAENGERPUMPEN ........... 313 KARL JOUSTEN UND JUERGEN DIRSCHERL 1 EINLEITUNG .......................................................................................... 313 2 KOLBENPUMPEN ................................................................................. 314 3 MEMBRANPUMPEN ............................................................................. 316 3.1 AUFBAU UND FUNKTIONSWEISE ............................................... 316 3.2 SAUGVERMOEGEN UND ENDVAKUUM ........................................... 318 3.3 GASBALLAST ............................................................................. 320 3.4 ANTRIEBSKONZEPTE ................................................................. 320 3.5 GASARTABHAENGIGKEIT DES SAUGVERMOEGENS UND DES ENDVAKUUMS ........................................................................ 321 3.6 DREHZAHLABHAENGIGKEIT DES ENDVAKUUMS ........................... 322 3.7 KONSTRUKTIONSPRINZIPIEN ...................................................... 322 3.8 ANWENDUNG VON MEMBRANPUMPEN IM C HEM IELABOR .......................................................................... 325 3.9 MEMBRANPUMPEN ALS VORPUMPEN FUER TURBOMOLEKULARPUMPEN ...................................................... 326 3.10 MEMBRANPUMPEN IN KOMBINATION MIT ANDEREN VAKUUMPUMPEN .................................................................... 330 LITERATUR ..................................................................................................... 331 14 EINWELLIGE ROTATIONSVERDRAENGERPUMPEN ........................................... 333 KARL JOUSTEN, ALFONS JUENEMANN UND BORIS KOSSEK 1 FLUESSIGKEITSRING-VAKUUMPUMPEN .................................................... 333 1.1 AUFBAU UND FUNKTIONSWEISE ............................................... 334 1.2 BETRIEBSEIGENSCHAFTEN UND AUSLEGUNG ................................ 335 1.3 BAUARTEN ............................................................................... 339 1.4 PUMPSTAENDE MIT FLUESSIGKEITSRING- VAKUUMPUMPEN ................................................................... 340 1.5 HINWEISE FUER DEN WIRTSCHAFTLICHEN BETRIEB ......................... 342 2 DREHSCHIEBERPUM PE.......................................................................... 345 2.1 WIRKUNGSWEISE UND AUFBAU ............................................... 345 2.2 TROCKENLAUFENDE DREHSCHIEBERPUMPE ................................ 348 2.3 OELGESCHMIERTE DREHSCHIEBERPUMPEN .................................. 349 2.4 FRISCHOELGESCHMIERTE DREHSCHIEBERPUMPE ......................... 351 2.5 BETRIEBSVERHALTEN UND HINWEISE ......................................... 352 2.6 KENNLINIEN, KENNDATEN ........................................................ 355 3 SPERRSCHIEBERPUMPEN ...................................................................... 356 3.1 WIRKUNGSWEISE UND TECHNISCHER AUFBAU ........................... 356 3.2 VERGLEICH ZWISCHEN DREH- UND SPERRSCHIEBERPUMPEN ........................................................... 360 4 TROCHOIDENPUMPEN .......................................................................... 361 5 SCROLL-PUMPEN (SPIRALPUMPEN) ...................................................... 362 5.1 DAS VERDICHTUNGSPRINZIP ...................................................... 363 5.2 A U FB A U ................................................................................... 364 5.3 ANWENDUNGEN UND VORTEILE ............................................... 365 LITERATUR ..................................................................................................... 366 15 ZWEIWELLIGE ROTATIONSVERDRAENGERPUMPEN .......................................... 369 KARL JOUSTEN, UWE FRIEDRICHSEN UND ERIK LIPPELT 1 SCHRAUBENPUMPEN ............................................................................. 369 1.1 WIRKUNGSWEISE UND TECHNISCHER AUFBAU ........................... 370 1.2 WAERMEVERHALTEN UND TECHNISCHE HINWEISE ....................... 376 2 KLAUEN- ODER DREHZAHNPUMPEN ...................................................... 378 2.1 VERDICHTUNGSPRINZIP ............................................................. 379 2.2 VERGLEICH MIT WAELZKOLBENPUMPEN .................................... 381 2.3 MEHRSTUFIGE KLAUENPUMPEN UND PUMPKOM BINATIONEN............................................................. 382 2.4 DREHZAHLREGELUNG .................................................................. 383 2.5 ANWENDUNGSGEBIETE ............................................................. 384 3 WAELZKOLBENPUMPEN (ROOTS-PUMPEN) ............................................. 384 3.1 WIRKUNGSWEISE ...................................................................... 385 3.2 TECHNISCHER AUFBAU ............................................................. 386 3.3 THEORETISCHE GRUNDLAGEN .................................................... 388 3.4 DER EFFEKTIVE GASSTROM ......................................................... 388 3.5 KOMPRESSIONSVERHAELTNIS K BEI NULLDURCHSATZ BEI NULLDURCHSATZ ........................................................................ 389 3.6 EFFEKTIVES KOMPRESSIONSVERHAELTNIS UND VOLUMETRISCHER WIRKUNGSGRAD [16] 390 3.7 ABSTUFUNG DES SAUGVERMOEGENS VORPUMPE/ WAELZKOLBENPUMPE ............................................................... 392 3.8 SAUGVERMOEGEN UND ENDDRUCK ............................................. 394 3.9 INSTALLATION UND BETRIEBSHINWEISE ...................................... 397 LITERATUR ...................................................................................................... 397 16 BETRIEB VON VERDAENGERPUM PEN ............................................................. 399 KARL JOUSTEN UND UWE FRIEDRICHSEN 1 SPEZIFISCHE EIGENSCHAFTEN OELGEDICHTETER VERDRAENGERPUMPEN ........................................................................... 399 1.1 SAUGVERMOEGEN UND ERREICHBARER ENDDRUCK ........................ 399 1.2 OELRUECKSTROEMUNG .................................................................... 404 2 BETRIEBS- UND SICHERHEITSHINWEISE .................................................. 405 2.1 AUFSTELLUNG .......................................................................... 405 2.2 AN- UND ABSTELLEN, SAUGSTUTZENVENTILE ............................. 405 2.3 AUSWAHL DER PUMPEN UND ARBEITSHINWEISE ....................... 407 2.4 SICHERHEITSTECHNISCHE HINWEISE ......................................... 408 3 SPEZIFISCHES ZUBEHOER FUER VERDRAENGERPUMPEN ................................ 410 3.1 SORPTIONSFALLEN ...................................................................... 410 3.2 SICHERHEITSVENTILE ................................................................. 410 3.3 OELFILTER UND OELREINIGUNG ........................................................ 411 3.4 AUSPUFF-FILTER (OELNEBELABSCHEIDER) .................................... 413 3.5 STAUBFILTER ............................................................................. 415 LITERATUR ...................................................................................................... 416 17 KONDENSATOREN ........................................................................................ 419 HARALD GRAVE 1 KONDENSATIONSVORGAENGE IM VAKUUM ............................................. 419 1.1 GRUNDLAGEN ............................................................................ 419 1.2 KONDENSATION REINER DAEMPFE ............................................. 421 1.3 KONDENSATION VON GAS-DAMPF-GEMISCHEN ....................... 425 1.4 KUEHLMITTEL ............................................................................. 429 2 BAUARTEN VON KONDENSATOREN ........................................................... 429 2.1 OBERFLAECHENKONDENSATOREN FUER FLUESSIGKEITSKONDENSATION .................................................... 429 2.2 MISCHKONDENSATOREN ............................................................. 432 2.3 KONDENSATAUSTRAG ................................................................. 434 2.4 OBERFLAECHENKONDENSATOREN FUER FESTSTOFFKONDENSATION ........................................................... 436 3 INTEGRATION VON KONDENSATOREN IN VAKUUMSYSTEME ............................................................................... 436 3.1 KONDENSATOREN IN KOMBINATION MIT VAKUUMPUMPEN .................................................................... 436 3.2 REGELUNG ............................................................................... 440 4 BERECHNUNGSBEISPIELE ...................................................................... 441 LITERATUR ..................................................................................................... 443 18 TREIBMITTELPUMPEN ................................................................................. 445 KARL JOUSTEN UND KLAUS GALDA 1 EINLEITUNG, UE B E RSICH T........................................................................ 445 2 FLUESSIGKEITSSTRAHLPUMPEN ............................................................... 447 3 DAMPFSTRAHL-VAKUUMPUMPEN ....................................................... 449 3.1 AUFBAU UND WIRKUNGSWEISE ............................................... 450 3.2 LEISTUNGSDATEN, BETRIEBSVERHALTEN UND REGELUNG ............................................................................... 452 3.3 MEHRSTUFIGE DAMPFSTRAHL-VAKUUMPUMPEN ...................... 456 3.4 ORGANISCHE DAEMPFE ALS TREIBMEDIUM ................................ 459 4 DIFFUSIONSPUMPEN ............................................................................ 461 4.1 AUFBAU UND ARBEITSWEISE .................................................... 461 4.2 TREIBMITTEL ............................................................................ 465 4.3 DAMPFSPERREN (BAFFLES) UND FALLEN .................................... 468 4.4 FRAKTIONIEREN, ENTGASEN ...................................................... 469 4.5 BETRIEBSHINWEISE ................................................................. 471 4.6 SAUGVERMOEGEN, VORVAKUUMBESTAENDIGKEIT, HYBRIDPUMPEN ...................................................................... 471 4.7 BERECHNUNG DER FUNKTIONSGROESSEN VON DIFFUSIONS UND DAMPFSTRAHLPUMPEN ANHAND EINES EINFACHEN PUMPENMODELLS ................................................................... 474 5 VERGLEICH DIFFUSIONSPUMPEN - DAMPFSTRAHLPUM PEN ..................... 482 LITERATUR ..................................................................................................... 485 19 MOLEKULAR- UND TURBOMOLEKULARPUMPEN ........................................... 487 KARL JOUSTEN 1 EINLEITUNG ........................................................................................... 487 2 MOLEKULARPUMPEN ............................................................................. 490 2.1 GAEDEPUMPSTUFE .................................................................. 492 2.2 HOLWECKSTUFE ........................................................................ 496 2.3 SIEGBAHNSTUFE ........................................................................ 498 3 KOMBINATION VON MOLEKULAR- UND SEITENKANALPUMPSTUFEN ......... 498 3.1 DER REGENERATIVE ODER SEITENKANAL- PUMPMECHANISMUS ............................................................... 499 3.2 PUMPKONSTRUKTION UND ANWENDUNGEN ............................. 500 4 PHYSIKALISCHE GRUNDLAGEN DER TURBOMOLEKULARPUMPSTUFEN ......... 501 4.1 PUMPMECHANISMUS ............................................................... 502 4.2 SAUGVERMOEGEN UND KOMPRESSIONSVERHAELTNIS .................... 502 4.3 STATISTISCHE UND GAEDESCHE BETRACHTUNG DES PUMPEFFEKTS . . . 504 4.4 STATISTISCHE BETRACHTUNG ...................................................... 506 4.5 WAERMEHAUSHALT .................................................................... 508 5 TECHNIK VON TURBOMOLEKULARPUMPEN ............................................. 511 5.1 AUFBAU UND WIRKUNGSWEISE ................................................. 512 5.2 TURBOMOLEKULARPUMPENROTOREN ........................................... 513 5.3 SICHERHEITSANFORDERUNGEN .................................................... 514 5.4 LAGERUNG VON TURBOMOLEKULARPUMPENROTOREN.................... 516 5.5 ANTRIEBE UND BEDIENUNG ...................................................... 519 5.6 HEIZUNG UND KUEHLUNG ......................................................... 520 5.7 SONDERAUSFUEHRUNGEN ............................................................. 521 6 LEISTUNGSDATEN VON TURBOMOLEKULARPUMPEN ................................ 523 6.1 SAUGVERMOEGEN ...................................................................... 523 6.2 KOMPRESSIONSVERHAELTNIS, ENDDRUCK UND BASISDRUCK ............................................................................. 524 6.3 AUSPUMPZEITEN VON BEHAELTERN ........................................... 524 6.4 PUMPEN HOHER GASLASTEN .................................................... 526 7 BETRIEB UND WARTUNG VON TURBOMOLEKULARPUMPEN ....................... 528 7.1 WAHL DER VORPUMPE ............................................................. 528 7.2 ALLGEMEINE HINWEISE ........................................................... 528 7.3 EINSCHALTEN ........................................................................... 528 7.4 ERREICHEN DES B ASISDRUCKES.................................................. 529 7.5 BETRIEB IN MAGNETFELDERN .................................................... 529 7.6 BELUEFTEN ................................................................................. 529 7.7 WARTUNG ................................................................................. 529 8 ANWENDUNGEN .................................................................................... 530 LITERATUR ...................................................................................................... 532 20 PASSIVE SORPTIONSPUMPEN ...................................................................... 535 KARL JOUSTEN UND PAOLO MANINI 1 EINLEITUNG .......................................................................................... 535 2 ADSORPTIONSPUMPEN ........................................................................ 536 2.1 WIRKUNGSWEISE ...................................................................... 536 2.2 A U FB A U .................................................................................... 538 2.3 ENDVAKUUM UND SAUGVERMOEGEN ......................................... 539 2.4 ARBEITS- UND BETRIEBSHINWEISE ........................................... 543 3 GETTER .................................................................................................. 544 3.1 WIRKUNGSWEISE UND GETTERARTEN ......................................... 544 3.2 NEG-PUMPEN ........................................................................ 546 3.3 VERDAMPFERPUMPEN ............................................................. 561 LITERATUR ..................................................................................................... 573 21 AKTIVE SORPTIONSPUMPEN ........................................................................ 575 KARL JOUSTEN 1 EINLEITUNG .......................................................................................... 575 2 IONENZERSTAEUBERPUMPEN .................................................................... 576 2.1 WIRKUNGSWEISE ...................................................................... 576 2.2 TECHNISCHER AUFBAU (DIODENTYP) ...................................... 580 2.3 SAUGVERMOEGEN ...................................................................... 581 2.4 DIE DIFFERENZIELLE DIODENPUMPE ......................................... 584 2.5 DIE TRIODENPUMPE ............................................................... 585 2.6 LINEARE ZERSTAEUBERPUMPEN (DISTRIBUTED ION PUMP) ................................................................................... 586 2.7 RESTGASSPEKTRUM ................................................................. 587 2.8 ARBEITSTECHNIK ...................................................................... 589 3 DIE ORBITRONPUMPE .......................................................................... 591 LITERATUR ..................................................................................................... 592 22 KRYOTECHNIK UND KRYOPUMPEN .............. 595 CHRISTIAN DAY 1 EINLEITUNG .......................................................................................... 595 2 KUEHLVERFAHREN ................................................................................... 596 2.1 GASKAELTEVERFAHREN ................................................................. 597 2.2 KRYOSTATE MIT FLUESSIGEN KAELTEMITTELN .................................. 604 2.3 MESSUNG TIEFER TEMPERATUREN ............................................. 606 3 ARBEITSPRINZIPIEN VON KRYOPUMPEN ............................................... 606 3.1 GASKONDENSATION ................................................................. 608 3.2 KRYOSORPTION ........................................................................ 611 4 AUSLEGUNG VON KRYOPUMPEN ........................................................... 617 4.1 KRYOTECHNISCH KONSTRUKTIVE MERKMALE ............................. 617 4.2 VAKUUMTECHNISCH KONSTRUKTIVE MERKMALE ......................... 625 4.3 KONSTRUKTIONSPRINZIPIEN ...................................................... 627 LITERATUR ..................................................................................................... 633 23 KENNGROESSEN UND ANWENDUNGEN VON KRYOPUMPEN ......................... 635 CHRISTIAN DAY 1 EINLEITUNG .......................................................................................... 635 2 STARTDRUCK .......................................................................................... 636 3 ENDDRUCK .......................................................................................... 637 4 SAUGVERMOEGEN ................................................................................. 638 5 STANDZEIT ............................................................................................. 639 6 KAPAZITAET (MAXIMALE GASAUFHAHME) ................................................ 641 7 CROSS-OVER-WERT ............................................................................... 641 8 MAXIMAL ZULAESSIGER P ^DURCHFLUSS ................................................ 641 9 BESTAENDIGKEIT GEGEN THERMISCHE STRAHLUNG .................................... 641 10 REGENERATION ...................................................................................... 642 11 LEISTUNGSVERGLEICH ............................................................................ 643 12 ANWENDUNGSBEISPIELE ...................................................................... 644 12.1 DIE REFRIGERATOR-KRYOPUMPE ............................................. 645 12.2 KRYOPUMPEN MIT ZWANGSKUEHLUNG DURCH SUPERKRITISCHES HELIUM ......................................................... 645 12.3 KOMBINIERTE REFHGERATOR/FLUESSIG-KRYOPUMPEN ................ 647 12.4 KRYOPUMPEN MIT ZWANGSGEFUHRTER FLUESSIGKUEHLUNG ......... 648 12.5 KRYOPUMPEN IN GROSSFORSCHUNGSANWENDUNGEN ................ 650 12.6 KRYOPUMPEN IN INDUSTRIELLEN ANLAGEN ................................ 651 12.7 ENTWICKLUNGSTENDENZEN FUER DIE KRYOPUMPE .................... 651 LITERATUR ...................................................................................................... 652 24 VAKUUMMESSGERAETE VOM GROB- BIS HOCHVAKUUM ........................... 655 KARL JOUSTEN 1 EINLEITUNG .......................................................................................... 655 2 MECHANISCHE VAKUUMMETER ............................................................. 658 2.1 PRINZIP UND EINTEILUNG ......................................................... 658 2.2 PLATTENFEDERVAKUUMMETER .................................................... 659 2.3 KAPSELFEDERVAKUUMMETER .................................................... 659 2.4 ROEHRENFEDERVAKUUMMETER.................................................... 661 2.5 MEMBRANVAKUUMMETER ......................................................... 663 2.6 DRUCKSCHALTER UND DRUCKREGLER ........................................... 674 3 GASREIBUNGSVAKUUMMETER (SPINNING ROTOR GAUGE) .................... 675 3.1 MESSANORDNUNG UND MESSPRINZIP ........................................ 676 3.2 BREMSUNG DURCH G ASREIBUNG................................................ 678 3.3 DURCHFUEHRUNG DER MESSUNG ............................................... 683 3.4 ERWEITERUNG DES MESSBEREICHS ZU HOEHEREN DRUECKEN ................................................................................. 684 3.5 MESSUNSICHERHEIT ................................................................. 685 4 DIREKTE ELEKTRISCHE DRUCKMESSUMFORMER ...................................... 686 5 WAERMELEITUNGSVAKUUMMETER ........................................................... 686 5.1 PRINZIP .................................................................................... 686 5.2 WAERMELEITUNGSVAKUUMMETER MIT KONSTANTER DRAHTTEMPERATUR .................................................................... 690 5.3 WAERMELEITUNGSVAKUUMMETER MIT KONSTANTER HEIZUNG ................................................................................. 694 5.4 GEPULSTE WAERMELEITUNGSVAKUUMMETER ............................. 696 5.5 THERMOELEMENTVAKUUMMETER (THERMOCOUPLE) ................ 697 5.6 THERMISTOREN ........................................................................ 697 5.7 HINWEISE ZUR VERWENDUNG VON WAERMELEITUNGSVAKUUMMETEM ............................................. 698 6 GASFLUSSMESSGERAETE ........................................................................... 700 LITERATUR ..................................................................................................... 702 25 IONISATIONSVAKUUMMETER ........................................................................ 705 KARL JOUSTEN 1 PRINZIP UND E IN TEILU N G ...................................................................... 705 2 GESCHICHTLICHE ENTWICKLUNG DER IONISATIONSVAKUUMMETER ......... 706 3 IONISATIONSVAKUUMMETER MIT EMISSIONSKATHODE ........................... 708 3.1 MESSPRINZIP .......................................................................... 708 3.2 AUFBAU DER EMISSIONSKATHODEN- IONISATIONSVAKUUMMETER ...................................................... 712 3.3 KONZENTRISCHE TRIODE ........................................................... 712 3.4 FEINVAKUUM-IONISATIONSVAKUUMMETER ................................ 713 3.5 IONISATIONSVAKUUMMETER NACH BAYARD UND ALPERT ................................................................................... 715 3.6 EXTRAKTOR-IONISATIONSVAKUUMMETER .................................... 719 3.7 ANDERE GLUEHKATHODEN-IONISATIONSVAKUUMMETER .............. 723 3.8 BETRIEBSHINWEISE FUER EMISSIONSKATHODEN- IONISATIONSVAKUUMMETER ...................................................... 724 4 IONISATIONSVAKUUMMETER MIT GEKREUZTEN ELEKTROMAGNETISCHEN FELDERN .......................................................... 725 4.1 PENNING-VAKUUMMETER ........................................................ 725 5 VERGLEICHENDE BETRACHTUNG ZWISCHEN DEN BEIDEN ARTEN VON IONISATIONSVAKUUMMETERN ............................................................... 732 6 ALLGEMEINE HINWEISE ...................................................................... 734 7 KOMBINATIONSMESSGERAETE ................................................................. 739 LITERATUR ..................................................................................................... 740 26 PARTIALDRUCKM ESSUNG ............................................................................ 743 KARL JOUSTEN UND ROBERT ELLEFSON 1 EINLEITUNG .......................................................................................... 743 2 PARTIALDRUCKMESSGERAETE (MASSENSPEKTROMETER) ............................. 744 2.1 IONENQUELLEN ........................................................................ 749 2.2 HEIZFADEN-MATERIALIEN ........................................................ 754 2.3 IONENQUELLENBEDINGTE ARTEFAKTE IM MASSENSPEKTRUM .... 755 2.4 MASSEN-ANALYSATOREN .......................................................... 757 2.5 IONENFALLEN-MASSENSPEKTROMETER ........................................ 767 2.6 IONENDETEKTOREN ................................................................... 769 2.7 STEUERSOFTWARE FUER MASSENSPEKTROMETER ........................... 774 2.8 WEITERE EINSATZMOEGLICHKEITEN VON MASSENSPEKTROMETERN .......................................................... 776 3 PARTIALDRUCKMESSUNG MIT OPTISCHEN METHODEN ............................. 777 LITERATUR ..................................................................................................... 779 27 LECKDETEKTOREN ........................................................................................... 783 WERNER GROSSE-BLEY 1 GRUNDPRINZIPIEN UND GESCHICHTLICHE E NTW ICKLUNG ......................... 783 2 LECKDETEKTOREN FUER DRUCKANSTIEGSMETHODE .................................... 784 2.1 ALLGEMEINES ........................................................................... 784 2.2 DRUCKANSTIEGSLECKDETEKTOR MIT FOLIENKAMMER .................. 784 3 HELIUMLECKDETEKTOREN ...................................................................... 785 3.1 ALLGEMEINES ........................................................................... 785 3.2 ANFORDERUNGEN UND GRUNDFUNKTION BEI DER VAKUUMLECKSUCHE.................................................................. 785 3.3 HELIUMSEKTORFELDMASSENSPEKTROMETER ................................ 786 3.4 EINLASSDRUCK VON HELIUMLECKDETEKTOREN ........................... 788 3.5 ZEITVERHALTEN VON HELIUMLECKDETEKTOREN ........................... 788 3.6 ARBEITSPRINZIPIEN VON HELIUMLECKDETEKTOREN .................... 789 3.7 SCHNUEFFELEINRICHTUNGEN FUER HELIUMLECKDETEKTOREN ........... 795 3.8 ANWENDUNGSFELDER DER MASSENSPEKTROMETRISCHEN HELIUMLECKDETEKTOREN ........................................................... 795 4 KAELTEMITTELLECKDETEKTOREN ............................................................... 796 4.1 AUFBAU UND FUNKTION ........................................................... 796 4.2 ANWENDUNGSFELDER ............................................................... 797 5 PRUEFLECKS ............................................................................................. 799 5.1 PERMEATIONSLECKS .................................................................. 799 5.2 LEITWERTLECKS ........................................................................ 800 5.3 PRAKTISCHE AUSFUEHRUNGEN VON PRUEFLECKS ........................... 800 6 MESSEIGENSCHAFTEN UND KALIBRIERUNG/JUSTIERUNG VON LECKDETEKTOREN ................................................................................. 801 6.1 LECKDETEKTOREN ALS PRUEFMITTEL IM SINNE DER DIN/EN/ISO 9001 ............................................................... 801 6.2 UNSICHERHEIT DER KALIBRIERUNG/JUSTIERUNG ......................... 802 7 LECKDETEKTOREN MIT ANDEREN SENSORPRINZIPIEN ............................. 803 7.1 HELIUMSCHNUEFFLER MIT QUARZGLASMEMBRANE . . . .................. 803 7.2 HALOGENLECKDETEKTOREN MIT ALKALI-IONEN- SENSOR .................................................................................... 803 7.3 HALOGENLECKDETEKTOREN MIT INFRAROT-SENSOR ....................... 804 LITERATUR ...................................................................................................... 805 28 PRIM AERNORM ALE FUER DAS V A K U U M ........................................................... 807 KARL JOUSTEN 1 DAS INTERNATIONALE EINHEITENSYSTEM ............................................... 807 2 PRIMAERNORMALE FUER VAKUUM: UEBERBLICK ......................................... 808 3 FLUESSIGKEITSMANOMETER .................................................................... 811 4 KOMPRESSIONSMANOMETER NACH M C L E O D ......................................... 814 5 DREHKOLBENMANOMETER UND DRUCKWAAGEN .................................... 817 6 STATISCHES EXPANSIONSVERFAHREN ...................................................... 819 7 KONTINUIERLICHES EXPANSIONSVERFAHREN ........................................... 826 8 SONSTIGE PRIMAEMORMALE ................................................................... 833 LITERATUR ..................................................................................................... 835 29 KALIBRIERUNG VON VAKUUMMESSGERAETEN ............................................. 839 KARL JOUSTEN 1 EINLEITUNG .......................................................................................... 839 2 DAS VERGLEICHSMESSVERFAHREN ........................................................ 841 2.1 KAPAZITAETSVAKUUMMETER ...................................................... 842 2.2 GASREIBUNGSVAKUUMMETER.................................................... 847 2.3 IONISATIONSVAKUUMMETER ...................................................... 850 3 KALIBRIERUNGEN VON PARTIALDRUCKMESSGERAETEN ................................ 852 4 KALIBRIERUNGEN VON STANDARDLECKS .................................................. 854 LITERATUR ..................................................................................................... 858 30 NORMEN DER VAKUUM TECHNIK ................................................................. 861 KARL JOUSTEN 1 NORMEN FUER BEZEICHNUNGEN ............................................................. 861 2 GEOMETRISCHE NORMEN ...................................................................... 861 3 NORMEN FUER VAKUUMPUMPEN ........................................................... 862 4 NORMEN DER VAKUUMMESSUNG ........................................................ 872 5 TABELLE DER N O RM E N .......................................................................... 872 LITERATUR ..................................................................................................... 872 31 WERKSTOFFE IN DER VAKUUMTECHNIK ...................................................... 873 KARL JOUSTEN 1 ANFORDERUNGEN UND UEBERBLICK UEBER DIE WERKSTOFFE .................... 873 2 WERKSTOFFE DER VAKUUMTECHNIK ...................................................... 874 2.1 METALLE ................................................................................. 874 2.2 TECHNISCHE GLAESER ............................................................... 881 2.3 KERAMISCHE W ERKSTOFFE ........................................................ 885 2.4 KUNSTSTOFFE .......................................................................... 887 2.5 VAKUUMFETTE .......................................................................... 889 2.6 OELE ........................................................................................ 890 2.7 KUEHLMITTEL ............................................................................. 890 3 GASDURCHLAESSIGKEIT UND GASABGABE VON WERKSTOFFEN .................. 890 3.1 ALLGEMEINES .......................................................................... 890 3.2 GASDURCHLAESSIGKEIT ............................................................... 891 3.3 GASABGABE ............................................................................. 897 LITERATUR ..................................................................................................... 906 32 VERBINDUNGEN DER VAKUUMTECHNIK ...................................................... 909 UTE BERGNER 1 EINLEITUNG .......................................................................................... 909 2 VERBINDUNGSTECHNOLOGIEN IN DER VAKUUMTECHNIK ......................... 910 2.1 UNLOESBARE VERBINDUNGEN .................................................... 910 2.2 LOESBARE VERBINDUNGEN ........................................................ 924 LITERATUR ..................................................................................................... 939 33 BAUELEMENTE DER VAKUUMTECHNIK ......................................................... 941 UTE BERGNER 1 EINLEITUNG ........................................................................................... 941 2 VAKUUMHYGIENE ............................................................................... 942 3 KOMPONENTEN .................................................................................... 947 3.1 STANDARDKOMPONENTEN UND KAMMERN ................................ 947 3.2 MECHANISCHE DURCHFUEHRUNGEN ........................................... 956 3.3 VENTILE .................................................................................... 958 4 ELEKTRISCHE DURCHFUEHRUNGEN ........................................................... 965 4.1 ISOLIERWERKSTOFFE .................................................................. 966 4.2 ELEKTRISCHE DURCHFUEHRUNGEN MIT ALUMINIUMOXIDKERAMIK ...................................................... 966 4.3 ELEKTRISCHE DURCHFUEHRUNGEN MIT GLAS ODER GLASKERAMIK ........................................................................... 967 4.4 ELEKTRISCHE DURCHFUEHRUNGEN ............................................... 968 4.5 ELEKTRISCHE PARAMETER UND IHR EINFLUSS AUF DIE BAUART VON DURCHFUEHRUNGEN ................................................ 969 5 OPTISCHE DURCHFUEHRUNGEN [25] 972 5.1 SCHAUGLAESER ........................................................................... 973 5.2 OPTISCHE FASERDURCHFUEHRUNGEN (OFD) ............................. 974 6 WAERMEZU- UND -ABLEITUNG ............................................................... 976 6.1 TEMPERATURMESSUNG IM VAKUUM ......................................... 976 6.2 PROZESSWAERME ZUFUEHREN UND ABFUEHREN ................................ 977 6.3 KONDITIONIERUNG VON VAKUUMANLAGEN UND SCHUTZ VOR A BLAGERUNGEN ................................................................. 978 LITERATUR ...................................................................................................... 982 34 BERECHNUNG UND REGELUNG VON VAKUUMSYSTEMEN ........................... 985 KARL JOUSTEN UND UWE MEISSNER 1 ELEKTRONISCHE ANBINDUNG VON VAKUUMSYSTEMEN ......................... 985 1.1 UEBERWACHUNG DURCH PROZESSSENSOREN UND AUTOMATISIERTE DATENAUSWERTUNG ......................................... 985 1.2 INTEGRATIONSLOESUNGEN ........................................................... 988 2 BERECHNUNG VON VAKUUMSYSTEMEN ............................................... 995 2.1 ANALYTISCHE UND NUMERISCHE BERECHNUNG .......................... 995 2.2 BERECHNUNG MIT NETZWERKEN ............................................... 996 2.3 END- UND ARBEITSDRUCK IN VAKUUMSYSTEMEN .................... 999 3 DRUCKREGELUNG ................................................................................. 1004 LITERATUR ...................................................................................................... 1005 35 ARBEITSTECHNIK IM GROB- UND F E IN V A K U U M ......................................... 1007 KARL JOUSTEN 1 UEBERBLICK .......................................................................................... 1007 2 AUFBAU EINER GROBVAKUUMANLAGE ODER -APPARATUR ....................... 1009 3 PUMPEN, ART UND SAUGVERMOEGEN .................................................... 1010 4 PUMPSTAENDE FUER GROBVAKUUM ........................................................ 1011 5 DICHTUNGEN ........................................................................................ 1012 6 DRUCKMESSUNG IM GROBVAKUUM .................................................... 1013 7 DRUCK UND AUSPUMPZEIT IM GROBVAKUUM .................................... 1013 8 BELUEFTEN ............................................................................................ 1018 9 ARBEITSTECHNIK IM FEINVAKUUM ...................................................... 1019 9.1 UEBERBLICK ............................................................................... 1019 9.2 AUFBAU EINER FEINVAKUUM-APPARATUR ................................ 1020 9.3 PUMPEN: ART UND SAUGVERMOEGEN ...................................... 1020 9.4 DRUCKMESSUNG ...................................................................... 1021 9.5 AUSPUMPZEIT UND ENDDRUCK ............................................... 1021 9.6 BELUEFTEN ................................................................................. 1025 9.7 FEINVAKUUMPUMPSTAENDE ...................................................... 1026 36 ARBEITSTECHNIK IM HOCHVAKUUM ........................................................... 1031 KARL JOUSTEN 1 PUMPEN: ART UND SAUGVERMOEGEN .................................................... 1031 2 REINIGUNG DER VAKUUMMETER ........................................................... 1032 3 HOCHVAKUUMPUMPSTAENDE ............................................................... 1033 3.1 HOCHVAKUUMPUMPSTAND MIT DIFFUSIONSPUMPE ................................................................. 1034 3.2 HOCHVAKUUMPUMPSTAND MIT TURBOMOLEKULARPUMPE ........................................................ 1041 3.3 DER VOLLAUTOMATISCHE HOCHVAKUUMPUMPSTAND ................ 1045 4 AUSPUMPZEIT ..................................................................................... 1046 37 ARBEITSTECHNIK IM ULTRAHOCHVAKUUM .................................................. 1049 KARL JOUSTEN 1 UEBERBLICK .......................................................................................... 1049 2 UHV-PUMPEN: BETRIEBSHINWEISE .................................................... 1050 2.1 ADSORPTIONSPUMPEN ............................................................. 1051 2.2 IONENZERSTAEUBERPUMPEN ...................................................... 1051 2.3 TITANVERDAMPFERPUMPEN ...................................................... 1052 2.4 TURBOMOLEKULARPUMPEN ...................................................... 1053 2.5 KRYOPUMPEN ........................................................................ 1053 2.6 VOLUMENGETTER-(NEG-)PUMPEN ........................................... 1054 3 DICHTUNGEN ........................................................................................ 1054 4 DRUCKMESSUNG ................................................................................. 1054 5 AUSPUMPZEIT, ENDDRUCK UND EVAKUIERUNGSTECHNIK....................... 1055 6 BELUEFTEN ............................................................................................ 1056 7 ULTRAHOCHVAKUUM-SYSTEME ............................................................. 1056 8 ULTRAHOCHVAKUUM-(UHV-)BAUELEMENTE ......................................... 1056 9 ULTRAHOCHVAKUUM-(UHV-)PUMPSTAENDE........................................... 1056 9.1 ULTRAHOCHVAKUUM-(UHV-)GROSSANLAGEN .............................. 1060 LITERATUR ..................................................................................................... 1063 38 LECKSUCHTECHNIKEN ................................................................................. 1065 WERNER GROSSE-BLEY 1 UEBERBLICK ........................................................................................... 1065 1.1 VAKUUMLECKSUCHE.................................................................. 1066 1.2 UEBERDRUCKLECKSUCHE ............................................................. 1067 1.3 PRUEFGASVERTEILUNG VOR EINEM LECK IN DER ATMOSPHAERE ........................................................................... 1068 1.4 MESSERGEBNISSE MIT DER SCHNUEFFELMETHODE ....................... 1069 1.5 PRUEFGASE ................................................................................. 1071 2 EIGENSCHAFTEN VON LECKS .................................................................. 1072 2.1 LECKAGERATE, EINHEITEN ......................................................... 1072 2.2 LECKARTEN ............................................................................... 1073 2.3 EIGENSCHAFTEN VON PORENLECKS ........................................... 1074 3 UEBERBLICK UEBER DIE LECKSUCHVERFAHREN (SIEHE AUCH DIN EN 1779) .......................................................................................... 1080 3.1 ALLGEMEINE HINWEISE ZUR DICHTHEITSPRUEFIMG ..................... 1080 3.2 VERFAHREN OHNE PRUEFGAS (DRUCKPRUEFUNGEN) ....................... 1081 3.3 VERFAHREN MIT PRUEFGAS ........................................................... 1085 4 LECKSUCHVERFAHREN MIT HELIUMLECKDETEKTOREN ............................. 1088 4.1 EIGENSCHAFTEN DES HELIUMLECKDETEKTORS ........................... 1088 4.2 PRUEFUNG VON KOMPONENTEN .................................................. 1089 4.3 PRUEFUNG VON VAKUUMANLAGEN ............................................. 1093 4.4 UEBERDRUCK-(SCHNUEFFEL-)LECKSUCHE MIT DEM HELIUMLECKDETEKTOR ............................................................. 1098 5 LECKSUCHVERFAHREN MIT ANDEREN PRUEFGASEN ALS HELIUM ................ 1100 5.1 ALLGEMEINES ........................................................................... 1100 5.2 SCHNUEFFELLECKSUCHE AN KAELTE-/KLIMAANLAGEN .................... 1100 6 INDUSTRIELLE DICHTHEITSPRUEFUNG VON BAUTEILEN IN DER SERIENFERTIGUNG ................................................................................. 1101 6.1 ALLGEMEINES ........................................................................... 1101 6.2 INDUSTRIELLE PRUEFUNG VON SERIENBAUTEILEN ........................... 1102 6.3 PRUEFUNG VON HERMETISCH VERSCHLOSSENEN KOMPONENTEN DURCH DRUCKLAGERUNG (,3OM BING*, METHODE B5 IN DIN EN 1779) ........................................... 1104 6.4 PRUEFUNG VON LEBENSMITTELVERPACKUNGEN IN DER FOLIENPRUEFKAMMER ............................................................... 1105 LITERATUR ...................................................................................................... 1106 PRODUKTMATRIX ................................................................................................. 1107 SACHVERZEICHNIS ................................................................................................. 1115
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