Milek, J. T. (1971). Silicon nitride for microelectronic applications: Part 1 Preparation and Properties. Springer US. https://doi.org/10.1007/978-1-4684-6162-6
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Milek, John Theopil. Silicon Nitride for Microelectronic Applications: Part 1 Preparation and Properties. Boston, MA: Springer US, 1971. https://doi.org/10.1007/978-1-4684-6162-6.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Milek, John Theopil. Silicon Nitride for Microelectronic Applications: Part 1 Preparation and Properties. Springer US, 1971. https://doi.org/10.1007/978-1-4684-6162-6.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.