Chabal, Y. J. (2001). Fundamental Aspects of Silicon Oxidation. Springer Berlin Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-56711-7
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Chabal, Yves J. Fundamental Aspects of Silicon Oxidation. Berlin, Heidelberg: Springer Berlin Heidelberg, 2001. https://doi.org/10.1007/978-3-642-56711-7.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Chabal, Yves J. Fundamental Aspects of Silicon Oxidation. Springer Berlin Heidelberg, 2001. https://doi.org/10.1007/978-3-642-56711-7.
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