Micro and Nano Fabrication Technology:
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Bibliographische Detailangaben
Format: Elektronisch E-Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Singapore Springer Singapore 2018
Schriftenreihe:Micro/Nano Technologies
Schlagworte:
Online-Zugang:BTU01
FAW01
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FWS01
FWS02
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TUM01
UBY01
URL des Erstveröffentlichers
Beschreibung:1 Online-Ressource (817 illus., 549 illus. in color. eReference)
ISBN:9789811300981
ISSN:2522-5065
DOI:10.1007/978-981-13-0098-1