Ultrapräzisionsverfahren zur Erhöhung der Güte abbildender Beugungsgitter:
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Format: | Abschlussarbeit Buch |
Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
Stuttgart
Fraunhofer Verlag
2018
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Schriftenreihe: | Berichte aus dem Produktionstechnischen Zentrum Berlin
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Schlagworte: | |
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topic | Gütekriterium (DE-588)4267650-2 gnd Beugungsgitter (DE-588)4122915-0 gnd Nanostruktur (DE-588)4204530-7 gnd Diffraktives optisches Element (DE-588)4603135-2 gnd Mikrobearbeitung (DE-588)4582923-8 gnd Formtoleranz (DE-588)4139856-7 gnd Echellegitter (DE-588)4306123-0 gnd Optische Spektroskopie (DE-588)4043680-9 gnd Oberflächenfeingestalt (DE-588)4201597-2 gnd Ultrapräzisionsbearbeitung (DE-588)4582643-2 gnd |
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