Silicon science and advanced micro-device engineering I: selected, peer reviewed papers from the 5th International Symposium on Silicon Science and the 1st International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (ISSS & AMDE 2009), was held by the International Education and Research Center for Silicon Science and the Advanced Technology Research Center (ATEC), Gunma University on 10 and 11 December 2009 in Kiryu, Japan
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: International Symposium on Silicon Science < 2009, Kiryu-shi, Japan> (VerfasserIn)
Format: Elektronisch E-Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Stafa-Zurich Trans Tech Publications 2011
Schlagworte:
Beschreibung:Paralleltitel: ISSS 2009
Beschreibung:xii, 282 p.
ISBN:9780878492176
9783038134817

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