Optimierung der Mikrostruktur und der Messparameter eines photostimulierten Ozonsensors auf der Basis von Indiumoxid:
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Veröffentlicht: |
Stuttgart
Fraunhofer Verlag
[2017]
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33 |
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spelling | Mischo, Markus Verfasser (DE-588)1136138854 aut Optimierung der Mikrostruktur und der Messparameter eines photostimulierten Ozonsensors auf der Basis von Indiumoxid Markus Mischo Stuttgart Fraunhofer Verlag [2017] i, 117 Seiten Diagramme 21 cm txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Science for systems 33 Dissertation Albert-Ludwigs-Universität Freiburg im Breisgau 2016 Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd rswk-swf Empfindlichkeit (DE-588)4127339-4 gnd rswk-swf Indiumoxide (DE-588)4161533-5 gnd rswk-swf Halbleitersensor (DE-588)4140390-3 gnd rswk-swf Ozon (DE-588)4173038-0 gnd rswk-swf Mikrostruktur (DE-588)4131028-7 gnd rswk-swf MOCVD-Verfahren (DE-588)4314628-4 gnd rswk-swf Photostimulation (DE-588)4740635-5 gnd rswk-swf Gassensor (DE-588)4156050-4 gnd rswk-swf Wärmebehandlung (DE-588)4064180-6 gnd rswk-swf TQD Gassensor Halbleiter Indiumoxid Luftfeuchte Stabilität Mikrosystemtechniker Physiker (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Gassensor (DE-588)4156050-4 s Ozon (DE-588)4173038-0 s Halbleitersensor (DE-588)4140390-3 s Indiumoxide (DE-588)4161533-5 s Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 s MOCVD-Verfahren (DE-588)4314628-4 s Wärmebehandlung (DE-588)4064180-6 s Mikrostruktur (DE-588)4131028-7 s Empfindlichkeit (DE-588)4127339-4 s Photostimulation (DE-588)4740635-5 s DE-604 Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik (DE-588)2077665-2 edt Fraunhofer IRB-Verlag (DE-588)4786605-6 pbl Science for systems 33 (DE-604)BV042534020 33 X:MVB text/html http://deposit.dnb.de/cgi-bin/dokserv?id=61020759659745c29ad9d1e880ef9aa2&prov=M&dok_var=1&dok_ext=htm Inhaltstext B:DE-101 application/pdf http://d-nb.info/1135974837/04 Inhaltsverzeichnis |
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