Gettering and defect engineering in semiconductor technology XV: selected papers from the 15th Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology Conference (GADEST 2013), September 22-27, 2013, Oxford, UK
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology Conference < 2013, Oxford, England> (VerfasserIn)
Format: Elektronisch E-Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Durnten-Zurich, Switzerland Trans Tech Publications [2014]
Schriftenreihe:Solid state phenomena 205-206
Schlagworte:
Beschreibung:Description based on online resource; title from PDF title page (ebrary, viewed December 9, 2013)
Beschreibung:1 online resource (513 pages) illustrations
ISBN:9783038262053

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