Tobisch, A. (2017). Telezentrische Deflektometrie zur Nanotopographiemessung von Halbleiterscheiben.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Tobisch, Alexander. Telezentrische Deflektometrie Zur Nanotopographiemessung Von Halbleiterscheiben. Erlangen ; Nürnberg, 2017.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Tobisch, Alexander. Telezentrische Deflektometrie Zur Nanotopographiemessung Von Halbleiterscheiben. 2017.
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